ДЕРЖАВНИЙ КОМІТЕТ ПРОМИСЛОВОЇ ПОЛІТИКИ УКРАЇНИ
ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ
З ОХОРОНИ ПРАЦІ
ПРИ ОБСЛУГОВУВАННІ УСТАНОВОК ГАЗОТРАНСПОРТНОГО ОСАДЖУВАННЯ КРЕМНІЮ
КИЇВ
УЗГОДЖЕНО Національний науіюво-дослідний інститут охорони праці Лист № 158 від "23 " червня 2001р. |
ЗАТВЕРДЖЕНО Державний комітет промислової політики України Наказ № 255 від" 26" 06 2001р. |
ПРИМІРНА ІНСТРУКЦІЯ
З ОХОРОНИ ПРАЦІ ПРИ ОБСЛУГОВУВАННІ УСТАНОВОК ГАЗОТРАНСПОРТНОГО ОСАДЖУВАННЯ КРЕМНІЮ
Київ
1. ЗАГАЛЬНІ ПОЛОЖЕННЯ
30.11.1993 р. №123.
1.3.Згідно з Законом України "Про охорону праці" (далі Законом) до самостійного виконання робіт допускаються особи:
-які пройшли інструктаж на робочому місці з записом в журналіінструктажу.
1.4. Персонал, який виконує роботи на установках газотранспортного осаджування кремнію та його сполук, зобов'язаний:
а)вчасно починати та закінчувати роботу, дотримуватись встановленого часу технологічної та обідньої перерв;
б)не виконувати роботи, не передбачені змінним завданням;
в)не знаходитись на роботі у позаробочий час без відповідногодозволу керівника;
а)фізичні:
б)хімічі:
1.8.Для робіт зі шкідливими та небезпечними умовами праці персоналу видасться за встановленими нормами спеціальний одяг,спеціальне взуття та інші засоби індивідуального захисту:
За встановленими нормами також видається мило.
1.9.Персонал, який здійснює підготовку та обслуговування установок піролітичного осаджування плівок, зобов'язаний дотримуватисьвимог санітарних норм та особистої гігієни:
1.11.1.Суміш газова моносилану з аргоном або воднем(ТУ6-02-1228-82)- безбарвний токсичний газ. Властивості газовоїсуміші визначаються властивостями компонентів, з яких вона складається.
Моносилан (SiН4)
За нормальних умов - це безбарвний токсичний газ з неприємним ядучим запахом, що нагадує сірководень.
Температура кипіння - мінус 112°С,
густина газу -1,45 кг/м3.
Моносилан хімічно активний, на повітрі самозаймистий, в присутності кисню окислюється зі спалахом навіть при низьких температурах. Пожежонебезпека моносилану виявляється при наявності кисню більше ніж 0,7 % об'єму. Моносилан у суміші з інертним газом або воднем при концентраціях до 4% об. не є вибухонебезпечним.
Водою або розбавленими лугами моносилан розкладається з утворенням кремнієвої кислоти (або силікатів) та водню. Враховуючи, що при контакті моносилану з повітрям, відбувається миттєве окислення з самозайманням, оцінка його токсичності визначається по продукту згоряння - діоксиду кремнію. Гранично допустима концентрація (ГДК) двоокису кремнію в повітрі - 1,0 мг/м3, 3 клас небезпеки (ГОСТ 12.1.005-88).
Продукт згоряння моносилану - двоокис кремнію справляє токсичну дію на організм людини, яка спричиняє головний біль, запаморочення, нудоту, жар, непритомний стан.
1.11.2.Дихлоретан (SіH2Cl2) ДХС-120 (ТУ48-0513-027.0-89)- рідина з температурою кипіння 8,3°С. Балони, які заповнені рідкимдихлорсиланом, при кімнатній температурі мають надлишковийтиск ~ 0,5 атм.
За нормальних умов дихлорсилан - це безбарвний газ, при взаємодії з повітрям "димить"внаслідок реакції з вологою повітря з утворенням парів НС1, має характерний різкий запах соляної кислоти. Дихлорсилан самозаймається на повітрі, утворює вибухонебезпечні суміші.
Температура спалаху у відкритому тиглі 51 °С.
Температура самозаймання:
Нижня концентраційна межа займистості (2,5±0,2) %
Верхня концентраційна межа займистості (98,8±0,6) %
Нижня температурна межа займистості (-59°С)
Категорія вибухонебезпечної суміші II С.
ГДК дихлореилану у повітрі-1,0 мг/м3, 2 клас небезпеки -(ГОСТ 12.1.007-76).
Дихлорсилан є токсичним. Уражає слизові оболонки органів дихання, очі, нервову систему. Може спричинити виразки на шкірі.
Продукт згоряння дихлореилану - двоокис кремнію спрвляє токсичну дію на організм людини. Симптоми отруєння дихлорєиланом:
подразнення слизових оболонок очей, ротової порожнини, горла, носа, легенів, головний біль, запаморочення, жар, нудота, непритомний стан.
1.11.3. Суміш газова фосфіну з аргоном (ТУ301-07-26-90) або воднем (ТУ6-02-590-84) - безбарвний токсичний газ.
Небезпека газової суміші обумовлюється наявністю в суміші фосфіну і залежить від його процентного вмісту.
Фосфін (РНз) - безбарвний токсичний газ без запаху. Повітря зі слідами фосфіну має запах гнилої риби.
Температура кипіння фосфіну - мінус 87,4°С
Густина газу- 1,53 кг/м3.
Суміші фосфіну з повітрям нестійкі, вибухонебезпечні.
межа займистості у повітрі - (0,5... 100) % об'єму.
При температурі 300°С і понад фосфін розкладається на фосфор та водень. ГДК фосфіну в повітрі - 0,1 мт/м3. Клас небезпеки 2 -(ГОСТ 12.1.007-76).
Фосфін негативно впливає на нервову систему, порушує обмін речовин, уражає кровоносні судини, органи дихання, печінку, нирки.
Симптоми отруєння фосфіном: дере в горлі, кашель, ядуха, головний біль, запаморочення, шум у вухах, потіння, спрага, блювота, непритомність.
1.11.4. Суміш газова диборану з аргоном - безбарвний сильно токсичний газ. Токсичність суміші зумовлена наявністю в суміші диборану.
Диборан (ВгН6) - безбарвний сильно токсичний газ з неприємним запахом, який нагадує запах сірковуглецю і який можна відчути тільки при концентраціях від 2 до 4 мг/м3.
Температура кипіння диборану - мінус 92,52°С.
Густина газу- 1,24 кг/м3.
Диборан - сильний відновник. Він в більшості випадків самозаймається при контакті з повітрям, а у суміші з повітрям в присутності домішок вибухає. Диборан утворює з повітрям вибухонебезпечні суміші в межах від 1,4 до 92 % об. ГДК-0,1; 1 клас небезпеки по ГОСТ 12.1.005-88.
Вдихання невеликої кількості диборану спричиняє головний біль, запаморочення, непритомний стан. Диборан уражає центральну нервову систему, спричиняє подразнення дихальних шляхів, може призвести до еремії легенів, тимчасового ураження нирок та печінки. Контакт зі шкірою може спричинити дерматит.
1.11.5.Суміш газова арсину з аргоном або воднем - безбарвнийтоксичний газ. Токсичність суміші зумовлена арсином, який входить доїї складу.
Арсин (АsН3) - безбарвний токсичний газ з неприємним запахом, який нагадує запах часнику.
Температура кипіння арсину - мінус 62,48°С.
Густина газу- 1,24 кг/м3.
У повітрі арсин легко загоряється блакитнуватим полум'ям. Продуктом згоряння арсину є вода та миш'як (або окис миш'яку). Отруйна дія арсину уповільнена. Спочатку симптоми виявляються слабко, ознаки тяжкого отруєння (остуда, загальна слабкість, головний біль, запаморочення, нудота, блювота, слизові оболонки синіють, сеча набуває кров'янистого кольору) з'являються через деякий час (від 2 до 10 годин). ГДК арсину в повітрі - 0,1 мг/м3. Клас небезпеки 1 -(ГОСТ 12.1.005-88).
1.11.6.Водень хлористий рідкий (ТУ6-01-4689387-42-90).Хлористий водень (НС1) за нормальних умов - безбарвний газ з
ядучим запахом.
Температура кипіння - мінус 85,1 °С.
Густина газу- 1,639 кг/м3.
Хлористий водень добре розчиняється у воді, утворюючи при цьому соляну кислоту. Він сильно "димить" у вологому повітрі через утворення з парами води крапель туману.
Хлористий водень сильно подразнює верхні дихальні шляхи, роз'їдає очі, шкіру, на зволоженій шкірі він спричиняє хімічні опіки.
ГДК хлористого водню в повітрі - 5,0 мг/м3. Клас небезпеки 3 -(ГОСТ 12.1.007-76).
1.11.7.Аміак рідкий (ГОСТ 6221 -90).
Аміак (ИНз) - безбарвний газ з різким запахом нашатирного спирту.
Температура кипіння аміаку - мінус 33,4°С.
Густина газу- 0,77 кг/м3.
Газоподібний аміак відноситься до горючих газів. Повітря, яке має вміст аміаку 16,5...26,8 % об'єму, - вибухонебезпечне. При температурі 650°С аміак самозаймається. Аміак швидко розчиняється у воді. Водний розчин його має сильні лужні властивості. Пари аміаку подразнюють легені, слизові оболонки очей, порожнини рота, горла, носа. Висока концентрація аміаку в повітрі може спричинити ядуху, пошкодження слизових оболонок очей і навіть призвести до втрати зору. Контакт аміаку зі зволоженою шкірою спричиняє сильні опіки.
ГДК аміаку в повітрі - 20 мг/м3. Клас небезпеки 4 -(ГОСТ 12.1.005-88).
Рідкий аміак або струмінь газу при попаданні на шкіру спричиняють сильні опіки.
1.11.8. Кремній чотирихлорстий (SіС14) (ТУ6-09-197-88) за нормальних умов - безбарвна рідина з різким ядучим запахом.
Температура кипіння - 57,6°С.
В присутності вологи в повітрі гідролізується з виділенням хлористого водню.
Чотирихлорстий кремній сильно подразнює слизові оболонки дихальних шляхів, очей. Довготривале вдихання його парів призводить до захворюваннь легенів. Попадання на шкіру чотирихлорстого кремнію спричиняє сильні опіки.
ГДК суміші парів та аерозоля чотирихлорстого кремнію - 1 мг/м3. 2 клас небезпеки-(Г0СТ 12.1.007-76).
1.11.9.Трихлоретилен (С2НСl3) (ГОСТ 9976-94, ТУ6-09-1012-79).
Трихлоретилен - прозора безбарвна летюча рідина, що має густину при 20°С - 1,46 г/см3, погано горить. Температура кипіння 73,б°С. Температура самозаймистості 380°С. Пари трихлоретилену з повітрям утворюють вибухонебезпечну суміш.
Концентраційні межі розповсюдження полум'я: