Подп. н дата

Взам. шш. АА

Имя. АУ лубд.

Подп. к дата

(^с/гз.Н.ю

• ц .*•

Инн, АУ подл.


Наименование

Выполняемые работы по данному

Наименование

Обозначение

Норма в год

зыдачи

технологическо­го процесса (операции)

технологическому процессу (операции)

і • і ■ ~ '. < , > . -

принадлежностей

документа

*

перча­ток, пар

напальч­ников, шт.

Прецизионная фо-

- -Т,*" ;т ". к

снятие фоторезиста ;

Напальчники рези-

ТУ 38-106567-8(


1500

толитография

контроль

новые или





А

пррчатки хирурги-

ГОСТ 3-88

12

••

rw.. Z


ческие




Химическая обработка

Приготовление растворов травителе?, очистка диффузионных труб, оснаст-

Перчатки резиновые технические

ГОСТ 20010-74

6


полупроводниковых

ки, посуда, тары .

Перчатки хирурги-

ГОСТ 3-88

24

•—

материалов—>

. - -

ческие

*




<

Изделия трикотаж-

ГОСТ 5007-87

24

«к


11 ,ГЖ

ные перчаточные




Снятие воска ;

Напальчники рези-

ГУ 38-10656?-8с


1500

%

а

• * , *

’очистка пластин в серной кислоте, изопропиловом спирте, ацетоне,

новые или перчатки резиновые техничес

- ГОСТ 20010Л/

12

••

перекисно-аМмиачном растворе;

кие




&2.Г. 2.

гидромеханическая отмывка

7SW > . л.



Формат 11


Продолжение табл. 2


IO


сл


‘V

18

18


































Пня. № подл.


(loan, и дата


23.Н.9О


Наименование технологическо-

* го процесса
(операции)


Направленное


. химическое

•у


травление пІ-»?/4.

лупроводниковых

■ материалов


Взам. мн». Ле


Ина. № дуба.


Подл, н дата


Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операции)


— у-

Приготовление растворов травителей


V


Защита нерабочей стороны лаком ХС;


анизотропное травление кремния; снятие пленки ХС:


контроль качества и глубины


травления;


Наименование принадлежностей


Продолжение табл. 2


Перчатки резиновые


технические

Издёлия трикотаж


ные перчаточные

Перчатки хирурги-


ческие


Перчатки резиновые


технические


• или


;ачи


Обозначение документа


ГОСТ 20010-74


ГОСТ 5007-87


ГОСТ 3-88


ГОСТ 20010-74


Фориїт И


изотропное травление


гїерча- ток, пар


12


12


12


напальчники резино--ТУ 38-106567-88


вне


напальч­ников, шт.


1500


ОСТ 92-9356-80 Лист 66
































tfauu * впал. Подпись ■ дата Ваам. ди*. №.

И**. Л дубл.

Подпись ■ дала


І





«одяекие тъбл. 2

Наимекование

Выполняемые работы по даяноцу

Ввииеноваижв

<

ty I ’

Обозначение

Норма выдачи в год <Н«р


перча-

напальч

технологически

.го процесса (операции)

тежолагическсму процессу (операции)


документа

ток, пер

киков, ят

-


Подготовка оборудования; ;


ТШ- -Ю6Ж7-ЯХ


1500


Плазмо-химичео

Напальчники резиновые

ФіҐУУГ ТЛГ.ЯТ—ни


С 7



кая обработка

установка в камеры образцов


-



НиЬкотемпера-

Подготовка оборудования и образцов

Напальчники резиновые ' . или



1500

J - •


с.

турное осавде-

* ■

перчатки хирургичес-

< . J




ние диэлектри­

ческих и метал

*•

• ,

<

кие

Л .

ГОСТ

/ ’■

'U, 1

7

12

*

z.

S

S I

-3

Разделение

Наклеивание пластин на ленту-

Напальчники резиновые или



1500


Ї?J J- }o£sb

СО ГО

пластид на , кристаллы

спутник;

установка пластин на предметный

перчатки хирургические

ГОСТ -8=75 з •«


?'•

Z

1

<*•

г

столик;

• ' с»

ґЛрС/^0/77ОЖ-

^ССТ 1108^


і

О !


раз ре зка, >

перчатки



%

снятие пластин с лентой-спутником


.v




на—тріжотаяного полот'


• ■


я


TTCV

*—!ZXtX

*1

- - —


J

о

Подпись к дата


Л>. <Z<f/ !


Нпь. J> дубл.' Подпись ■ джт*


j Наймемованее технолагическа

го процесса (операции)


X

Обозначение документа

Норма ВДаЧ» ‘ » гад <нрг

Внпаталемые^работы по даяно^У телголагичеакому процессу (операции) я , /

’•,7 • ' -< V

Ввлменоваяжв пркяаддепюсте!

перча­ток, парт,

пападьч ккков,

ШТ •

. Установка < кристалла на носитель

Нанесение клея на носитель; установка кристалла на носитель; снятие носителя с кристаллом; укладка носителя с кристаллом в сушильный шкаф

Напальчники резиновые


с

4

1500

or •

• »**

л ' ' *

• ■ ■ ' * к» '

> ■* г

Сварка пере­мычек

. ■; ’ . . і

••

' I

Установка носителя' с кристаллом на отолик сварочной установки; разборка перемычек;

снятие носителя с кристаллом со - столика . ■ * * . - .

Напальчники резиновые

• А* с-

r' '1 f

,4

Г

>

ГОЛТ ТЛА.ЯТ—пп •

1

1500

1 VOX

• • z

. «..ч

Заливка герме­тизирующего • докрытая

■»

Установка носителя с кристаллом на предметный столик микроскопа; заливка кристалла компаундом; снятие носителя с кристаллом; укладка носителя с кристаллом в сушильный шкаф

Напальчники резиновые ь

" е

*•’ ■ • я t

г •**

■ ...


1

. ’ |Г

1500

TlvUi lflUOl-4JU

'І •.

е. : •. • « • •

і

л


W сл


Ў>


. Форма,


































Обозначение ъ


перчв-


кххов.


го процесса


.< сборочногмонтажное производство


24 '


плат


обрезка в размер;


и материалов


1500


Подготовка к сборке и мон-


Раскойсервация комплектование


Приготовление моющих растворов; очистка


таду

шкомплекту- ющих элементов

рихтовка;

формовка;

укладка в тару


Выполняемые рароты по данному технологическому процессу (ОПЄ


Норма выдачи

КУД (Ну)


Трезмабб/е Перчатки хлрургпчосдйе TttHUWMt или напальчники резиновые..


документа


Перчатки хирургические

. . V-, > **•


Порта^и^. ио тршютодпого полот- 7Є/) ^/77^/26/е


/7Y'737?/77-<f/


ОСТ 92- 9356-80 ЯВ0Т69