р..~ .М подл.

Полп. и дата

Влам. huh. Nt

Инн. /А лубд.

Полп. и лата

12.. с'

23.U.9O




Продолжение Т^бЛ. 2


Наименование технологическо­го процесса (операции)


Выполпяомио работы по данному технологическому процессу (операции)


Наименование принадлежностей


Обозначение документа г


Норма выдачи


перча­ток, пар ’


напаль-


шт.


Формирование


базового среза


и разрезка


слитков на


пластины


Тлифование


пластин


Подготовка оборудования


приготовление клеющего состава


приклеивание слитков ;


формирование базового среза


монокристаллов;


разрезка слитков на пластины


контроль пластин после разрезки


Притирка шлифовальных кругов;


притирка столиков;


приклеивание пластин


шлифование пластин ;


контроль


Перчатки резиновые


ГОСТ 20010-74-


технические


Изделия трикотажные


ГОСТ 5007-87


перчаточные


Перчатки хирургичес-


ГОСТ 3-88


12


кие или


напалъчики резиновые


Перчатки хирургичес-


кие или


напалъчики резиновые


ТУ38-І06567-88


1500


ГОСТ 3-88


ТУ38-106567-88


12


1500


СО

со со СП


СИ

































' • • • ’



Няв. * вода.' Подпись ■ дата Вдам. яма. Л

ИИж, & Хуба, J Подавсь ■ дата



1

_< ■ ’ ■ ;

'j

. ■ ~ — • ь - •«'

. ; дродотекяе табл. 2 '

--•■■■*-- • .: — —4—- . - — . ——

, yvy — —-—

< ф • *Г” 1 J‘" OCT 92-9356-30; . Дист59 ’

* »


*

‘у •

' Бакмевованге

го процесса (операции)

Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операция) •

*•

«т *г

і .

Г «

Наименование * *' * / 1 • •

J;..-'’ <■ ’ ' - ь

Обозначение

документа

Норма выдачи “ в ГОД (Ну)

* перча- ТОХ, пар

напальч икков, шт

Полирование пластин -

Дотирование;

приклеивание;

маркирование;

Перча

W/eCt


ГОСТ

т*хсу? т^гУрг—РН

12

9

f ' -•*

1500 »

ч

уе или*’* . v. •

* * ’ 1



Хлміжо-механк- ческое полиро­вание

Подготовка суспензий^

химико-механическое полирование

*•

Перчатки хирургические или

напальчники резиновые ♦

ГОСТ-а-95-Л-^’


1500


о

g

e о

-о К

G0

Окисление - ♦

f -

<

а

Подготовка диффузионной системы к окислению;

настройка тепловой зоны;

окисление;

Напальчники резиновые

'или '

, . і .

перчатки хирургические


г

12

’ *

J ■'

1500 <

•м « •

f » ь.

ГОСТ-Э=?5-/-Я£

»

опоелаление толіш

ны окисла на

контрольной пластине

Диффузия

Загрузка даффузанта;

подготовка диффузионной и газовой системы;

Перча тки ^дірургические напальчники резиновые

ГОСТ ■

24

■ ▼

1

———L.

1500

- - - - -

IJfe «одл. Подпись ■ длтд Влд ж. иив Jft - Ика. Jfe дуАл. ' Подпись а дата




.1


Выполняемые работы по/данному


Обозначение


Норма выдачи в-год (Ну)


пркнадлёіНосте й


перча-


го процесса (операции)


Диффузия


Вкигание


Ионное легиро-


ваши


(операции)


доку/лента


напалъч

ннхов.


настройка тепловой зоны


Перчатки хирургические или

напальчники резиновые


пар


определение глубины залеганий р-п перехода;

измерение поверхностного сопротив-


Ленин диффузионного слоя


Подготовка оборудования к работе настройка тепловой зоны; вяигание;


контроль качества вшсганля


Подготовка’оборудования к работе легііровашіэ;

* * >

смена контейнера


. 24


ТУЗЗ- /(76S3 7 S8


1500


1500


порчатки хирургические


Напальчники резиновые


1500


'S3Х'/06 S3 7-.


Напальчники резиновые или


OCT

о

ге


і.


і




8

io

о о

Oy/-

t"0

(s





ex

Ы


M


о


8


































Наз. Jfe подл. Подпись ■ дата


Вдам, имв.^й Яна! Л»ду<л. ' Подпись в лита


*■


Продолжение табл. 2


Наименование техно логическо­го процесса


Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операции)


Наименование принадлехностеИ


Обозначение1


документа


Очистка


подло­


Очистка кассет.Подложек


Перчатки •'Міолетсца


жек


лочоотогпиге ~

/770U*(?S77O&C-

-Перчатпп по трикотажного полотна Перчатки хирургичес7 кие


или


напалъчшлси резиновые


і '

Подготовка сушильного шкафа к ра- і


Перчатки хирургичес-


киеч


Норма выдачи в год (Ну)


4 перча-
ток,
пар


яапальч пиков.

ШЇ


12


12


1500


12


Гостгоо/я-*/


ТЫ 8-

■Р

ОСТ I4S8I -8(!

Г0С7ЯЮ7-?7-&г

-ГОСТ тгоо^


ОСТ 92-9356-80 лист 61



































Инн. .V подл.

Подп, н дата

Вмм. мнп. №

linn. № дубл.

Подл, и дата

95872 „6*





Найменована©, технологическо­го процесса (операции)


Очистка подложек


^Подготовка


навесок


Очистка испа-


рителей


Выполняемые_работы по данному технологическому процессу.' (операции)


Сушка


контроль


Прнготовление растворов обезжиривание ;

<4 . •

травление ;


осветление


промывка ;


сушка


Приготовление растворов


обезжиривание ;


' *; ■ ґ~, «• - С ..

Продолжение табл. 2


V Наименование

- принадлежностей

Обозначение

документа



перча­ток, пар


Напальчники резино


ТУ 38-106567-88 -


вне


Перчатки резиновые


технические


Изделия трикотажные


перчаточные

Перчаки хирургичес-


кие


Перчатки резиновые


технические


ГОСТ 20010-74


ГОСТ 5007-87


ГОСТ 3-88


ГОСТ 20010-74


24


напаль-
чников,
шт.


1500


Формат II


травление


промывка


Изделия трикотажные


ГОСТ 5007-87


перчаточные


ОСТ форма З
• OCT 92-9356-80' Лист62
































Подпись ■ джда

J J


(, цродашгеие табл. г


Выполняемые работы по далноцу


Обозначенье^, документа


Норма выдачи в год (Н^)


( операции)


Очистка испа­рителей .


контроль


Подготовка ва-
куумной каміры


'Механическая очистку

.


Приготовление травящего раствора очистка травлением '/

I —


Промывка в нейтрализующем раст­воре; •

промывка-водой ; сушка


Перчатки хирургические


ГОС?-9502-60- ГостгооЮ'іч


Перчатки хлрургичес кие


Перчатки к»


/77£ Є

лоче стойки^-

Н6/Є

-трпкотожгюго полотна Перчатки хирургичес­кие 1

-Г00ТП06-54


Перчатки хирургичес­кие


перча-


12


24


6


12


12


12


иапальч ялхов, шт



































Нжж. Jb иодл.' Подпись ■ ДДТ» Вдлы.амр. Ина. J6 дуб л. ’ Подпись и длтд

<55<Ў7Д Ї /Z7.V.J/ ’


ЦРОДОЛХЄЕЯЄ Твбл. 2


Найме яо ванне технологическо­го процесса (операцйи)

1

Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операции!, - 1 ,

Наименование

лр^адлехяостей

Обозначение

документа

Норма вцдачп в ГОД (Яу)

■■ ■ ■■ ■; ■'$ t$- Є —

ОСТ 92 -9356-S0 лиг» 64

—л : ! !

перча­ток» * пар

палальч

RXXOB, шт

Вакуумное

напылоіпіе

/

Установка и загрузка испарителей;

установка подложек;

снятие подложкодержателей «

Напальчники резиновые

ГОСТ I4G8I 80- ТУ38' Т0вУб7-88

і

1500

Прецизионная фотолитогра­фия • » f • •

W

- F ■

Приготовление растворов травите­лей / » • • • • • «

Перчатки ^£S^TSfe^

-ЛОЧООФОИКИО

Перчатки '

*0/7700^6/8

-из—трикотажного

/770 УМб/е полотна-

Перчатки хирургичес­

кие

-Р6ЄТ 9502-60'

ГОСТ гоото-/£/

Р9СТ П08^тГ~

U

•• •

ГОСТ -^^3-83

6

12

24


Подготовка оборудования;

нанесение фоторезиста;

э депонирование;

проявление;

травление окисла и диэлектричос-

TfiTY плрнпк

Напальчники резиновые или перчатки хирургичес-

• кие

%

ГОСТ ^€3-38

12

1

1500