—
р..~ .М подл. |
Полп. и дата |
Влам. huh. Nt |
Инн. /А лубд. |
Полп. и лата |
№12.. с' |
23.U.9O |
|
|
|
Продолжение Т^бЛ. 2
Наименование технологического процесса (операции)
Выполпяомио работы по данному технологическому процессу (операции)
Наименование принадлежностей
Обозначение документа г
Норма выдачи
перчаток, пар ’
напаль-
шт.
Формирование
базового среза
и разрезка
слитков на
пластины
Тлифование
пластин
Подготовка оборудования
приготовление клеющего состава
приклеивание слитков ;
формирование базового среза
монокристаллов;
разрезка слитков на пластины
контроль пластин после разрезки
Притирка шлифовальных кругов;
притирка столиков;
приклеивание пластин
шлифование пластин ;
контроль
Перчатки резиновые
ГОСТ 20010-74-
технические
Изделия трикотажные
ГОСТ 5007-87
перчаточные
Перчатки хирургичес-
ГОСТ 3-88
12
кие или
напалъчики резиновые
Перчатки хирургичес-
кие или
напалъчики резиновые
ТУ38-І06567-88
1500
ГОСТ 3-88
ТУ38-106567-88
12
1500
СО
со со СП
СИ
|
' • • • ’ |
|
||||||||
|
Няв. * вода.' Подпись ■ дата Вдам. яма. Л |
ИИж, & Хуба, J Подавсь ■ дата |
|
|||||||
|
1 |
_< ■ ’ ■ ; • |
'j |
|||||||
. ■ ~ — • ь - •«' . ; дродотекяе табл. 2 ' --•■■■*-- • .: — —4—- . - — . —— |
, yvy — —-— < ф • *Г” 1 J‘" OCT 92-9356-30; . Дист59 ’ * » |
|
||||||||
* ‘у • ' Бакмевованге го процесса (операции) |
Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операция) • *• |
«т *г і . Г « Наименование * *' * / 1 • • J;..-'’ <■ ’ ' - ь |
Обозначение документа |
Норма выдачи “ в ГОД (Ну) |
||||||
* перча- ТОХ, пар |
напальч икков, шт |
|||||||||
Полирование пластин - |
Дотирование; приклеивание; маркирование; |
Перча W/eCt |
|
ГОСТ т*хсу? т^гУрг—РН |
12 9 |
f ' -•* 1500 » ► ч |
||||
уе или*’* . v. • |
||||||||||
* * ’ 1 |
|
|
||||||||
Хлміжо-механк- ческое полирование |
Подготовка суспензий^ химико-механическое полирование *• |
Перчатки хирургические или напальчники резиновые ♦ |
ГОСТ-а-95-Л-^’ |
|
1500 |
|||||
|
о g e о -о К G0 |
|||||||||
Окисление - ♦ f - < а |
Подготовка диффузионной системы к окислению; настройка тепловой зоны; окисление; |
Напальчники резиновые 'или ' , . і . перчатки хирургические |
|
г 12 ’ * J ■' |
1500 < • |
|||||
• •м « • f » ь. ГОСТ-Э=?5-/-Я£ » |
||||||||||
опоелаление толіш |
ны окисла на |
|||||||||
контрольной пластине |
||||||||||
Диффузия |
Загрузка даффузанта; подготовка диффузионной и газовой системы; |
Перча тки ^дірургические напальчники резиновые |
ГОСТ ■ |
24 ■ ▼ • 1 ———L. |
1500 |
|||||
- - - - - |
IJfe «одл. Подпись ■ длтд Влд ж. иив Jft - Ика. Jfe дуАл. ' Подпись а дата .1 Выполняемые работы по/данному Обозначение Норма выдачи в-год (Ну) пркнадлёіНосте й перча- го процесса (операции) Диффузия Вкигание Ионное легиро- ваши (операции) доку/лента напалъч ннхов. настройка тепловой зоны Перчатки хирургические или напальчники резиновые пар определение глубины залеганий р-п перехода; измерение поверхностного сопротив- Ленин диффузионного слоя Подготовка оборудования к работе настройка тепловой зоны; вяигание; контроль качества вшсганля Подготовка’оборудования к работе легііровашіэ; * * > смена контейнера . 24 ТУЗЗ- /(76S3 7 S8 1500 1500 порчатки хирургические Напальчники резиновые 1500 'S3Х'/06 S3 7-. Напальчники резиновые или OCT |
о |
ге |
|
і. |
|
і |
|
|
|
8 |
• |
io |
о о |
Oy/- |
t"0 |
(s |
|
|
|
|
ex |
Ы |
|
M |
|
о |
|
8
Наз. Jfe подл. Подпись ■ дата
Вдам, имв.^й Яна! Л»ду<л. ' Подпись в лита
*■
Продолжение табл. 2
Наименование техно логического процесса
Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операции)
Наименование принадлехностеИ
Обозначение1
документа
Очистка
подло
Очистка кассет.Подложек
Перчатки •'Міолетсца
жек
лочоотогпиге ~
/770U*(?S77O&C-
-Перчатпп по трикотажного полотна Перчатки хирургичес7 кие
или
напалъчшлси резиновые
і '
Подготовка сушильного шкафа к ра- і
Перчатки хирургичес-
киеч
Норма выдачи в год (Ну)
4 перча-
ток,
пар
яапальч пиков.
ШЇ
12
12
1500
12
Гостгоо/я-*/
ТЫ 8-
■Р
ОСТ I4S8I -8(!Г0С7ЯЮ7-?7-&г
-ГОСТ тгоо^
ОСТ 92-9356-80 лист 61
Инн. .V подл. |
Подп, н дата |
Вмм. мнп. № |
linn. № дубл. |
Подл, и дата |
95872 „6* |
|
|
|
|
Найменована©, технологического процесса (операции) Очистка подложек ^Подготовка навесок Очистка испа- рителей Выполняемые_работы по данному технологическому процессу.' (операции) Сушка контроль Прнготовление растворов обезжиривание ; <4 . • травление ; осветление промывка ; сушка Приготовление растворов обезжиривание ; ' *; ■ ґ~, «• - С .. Продолжение табл. 2 V Наименование - принадлежностей |
Обозначение документа |
|
|
перчаток, пар
Напальчники резино
ТУ 38-106567-88 -
вне
Перчатки резиновые
технические
Изделия трикотажные
перчаточные
Перчаки хирургичес-
кие
Перчатки резиновые
технические
ГОСТ 20010-74
ГОСТ 5007-87
ГОСТ 3-88
ГОСТ 20010-74
24
напаль-
чников,
шт.
1500
Формат II
травление
промывка
Изделия трикотажные
ГОСТ 5007-87
перчаточные
ОСТ форма З
• OCT 92-9356-80' Лист62
Подпись ■ джда
J J
(, цродашгеие табл. г
Выполняемые работы по далноцу
Обозначенье^, документа
Норма выдачи в год (Н^)
( операции)
Очистка испарителей .
контроль
Подготовка ва-
куумной каміры
'Механическая очистку
.
Приготовление травящего раствора очистка травлением '/
I —
Промывка в нейтрализующем растворе; •
промывка-водой ; сушка
Перчатки хирургические
ГОС?-9502-60- ГостгооЮ'іч
Перчатки хлрургичес кие
Перчатки к»
лоче стойки^-
Н6/Є
-трпкотожгюго полотна Перчатки хирургические 1
-Г00ТП06-54
Перчатки хирургические
перча-
12
24
6
12
12
12
иапальч ялхов, шт
|
Нжж. Jb иодл.' Подпись ■ ДДТ» Вдлы.амр. Ина. J6 дуб л. ’ Подпись и длтд <55<Ў7Д Ї /Z7.V.J/ ’ |
|
|||||||
ЦРОДОЛХЄЕЯЄ Твбл. 2 |
|
||||||||
Найме яо ванне технологического процесса (операцйи) |
• 1 Выполняемые работы по данному технологическому процессу (операции!, - 1 , |
Наименование лр^адлехяостей |
Обозначение документа |
Норма вцдачп в ГОД (Яу) |
■■ ■ ■■ ■; ■'$ t$- Є — ОСТ 92 -9356-S0 лиг» 64 —л : ! ! |
||||
перчаток» * пар |
палальч RXXOB, шт |
||||||||
Вакуумное напылоіпіе / |
Установка и загрузка испарителей; установка подложек; снятие подложкодержателей « |
Напальчники резиновые |
ГОСТ I4G8I 80- ТУ38' Т0вУб7-88 |
і |
1500 |
||||
Прецизионная фотолитография • » f • • • W |
- F ■ Приготовление растворов травителей / » • • • • • « |
Перчатки ^£S^TSfe^ -ЛОЧООФОИКИО Перчатки ' *0/7700^6/8 -из—трикотажного /770 УМб/е полотна- Перчатки хирургичес кие |
-Р6ЄТ 9502-60' ГОСТ гоото-/£/ Р9СТ П08^тГ~ U •• • ГОСТ -^^3-83 |
6 12 24 |
|
||||
Подготовка оборудования; нанесение фоторезиста; э депонирование; проявление; травление окисла и диэлектричос- TfiTY плрнпк |
Напальчники резиновые или перчатки хирургичес- • кие % |
ГОСТ ^€3-38 |
12 1 |
1500 |