---

Разделы 1—3 изложить в новой редакции:

«1. Аппаратура и материалы

Структурная схема измерительной установки приведена на чертеже.

1 — четырехзондовая из­мерительная головка: 2 — источник постоянного тока; 3 — прибор для измерения электрическо­го напряжения; 4 — об­разец

(Продолжение см. с. 98)

9

7

Измерительная установка должна быть аттестована на погрешность изме­рения удельного электрического сопротивления, не превышающую б %.

ложенными

зондами

из

карбида

вольфрама должна

с оответствов а ть

требова­

0,159 0,130 •,075

0,50—2,00

ее

цепи электрического .тока изменяемой полярности,

должен соответствовать тре-

бованияім, приведенным в табл. 2.

Таблица 2

Верхний предел
измеряемого удель-
ного электрического
сопротивления
р, Ом*см

Верхний предел
электрического ток а

Верхний предел
измеряемого элект-
рического напряже-
ния V^й, в

Входное электричес­кое .сопротивление из­мерительного прибора 7? . Ом, не менее

вх

1-Ю-³ 1-Ю-² 1-ю-¹ 1-Ю* 1-Ю¹

1 • 1 о² 1-Ю³ 1-Ю*

1,0-Ю-¹ 1,0-1 о-¹

1,0-Ю-¹ 8,2-10-2 8,2-10-³ 8,2-10—⁴

8,2-10-⁵ 8.2-10-⁶

2,1-Ю-⁴ 2,1-Ю"³ 2,1-Ю-³ 1,0-Ю-¹ 1,0-Ю-¹ 1,0-1 о-¹ 1,0-1 о-¹ 1,0-Ю-¹

1-Ю³ 1-Ю⁴ 1-Ю⁴ 1-Ю⁶ 1-Ю⁷ 1-Ю⁸ 2-10⁸

1-Ю’

ниям, приведенным в табл. 1.

Таблица 1

Номинальное зна­чение межзондового расстояния l_9i см

Допустимое откло­нение межзондового расстояния, %

Сила прижима зонда

Линейный размер ра­бочей площадки зонда, мкм, не более

Термометр с погрешностью измерения не более 0,5 °С.

Материалы абразивные по ГОСТ 3647—80.

Инструменты алмазные с применением алмазных порошков по ГОСТ 9206—80.

Порошки алмазные.

Бумага фильтровальная по ГОСТ 12026—76.

Бумага промокательная.

Бязь отбеленная по ГОСТ 14680—76.

Материал обтирочный — упаковочный, ткань арт. 6313 или 6304.

Вода литьевая по ГОСТ 2874—82.

Спирт этиловый по ГОСТ 18300—87.

Допускается использование инструментов и материалов, не уступающих вы­шеуказанным по своим¹ характеристикам и качеству.

2. Подготовка образцов и условия проведения измерений

   1. И

      в диапазоне (20

      40) мкм.

      змерения проводят на плоских поверхностях, имеющих параметр ше­роховатости R_a по ГОСТ 2789—73 не более 2,5 мкм. Измерение удельного электрического сопротивления кремния p-типа электропроводности с р более 10’ Ом-см проводят на плоских поверхностях с параметром шероховатости

      1. Для обеспечения требуемой шероховатости поверхности образцы шли фуют абразивными материалами либо инструментами алмазными с примене­нием алмазных порошков.

      2. После шлифовки образцы промывают проточной питьевой или очищен­ной технической водой, сушат фильтровальной (промокательной) бумагой или другими материалами и обезжиривают спиртом.

   2. При проведении измерений расстояние между краем (границей плоско-

с

номи-

ти) и ближайшим к нему зондом должно быть не .менее 4 • /₀, нальное значение межзондового расстояния.

2. 3. При измерении удельного электрического сопротивления по образующей слитка ширина измерительной дорожки должна быть не менее 6-/₀-

   4. Измерения выполняют при фиксированной температуре (23 ± 2) °С. Контролируемые образцы доводят до температуры, при которой проводят из­мерения. Допускается проведение измерений при фиксированной с погрешностью ±0,5 °С температуре в диапазоне (23±5) °С, выполняя температурную кор­рекцию результатов измерений в соответствии с приложением.

   5. Измерение удельного электрического сопротивления германия с р более 45 Ом-см и кремния с р более 200 Ом-см выполняют при затемнении образца. Для остальных диапазонов удельного электрического сопротивления допускает­ся освещенность образцов рассеянным светом не более 500 лк.

3. Проведение измерений и обработка результатов

   1. На поверхность образца, установленного в держатель, плавно опускают зонды измерительной головки перпендикулярно поверхности.

   2. Через образец пропускают электрической ток 7 и измеряют значение разности потенциалов между внутренними потенциальными зондами при двух полярностях электрического тока. За результат измерения разности потенциа­лов U принимают среднее арифметическое полученных значений. Значение элект­рического тока устанавливают в соответствии с требованиями табл. 2.

(Продолжение см. с. 100)

О- — .2/ р— J -^*эфф>

где U — значение разности потенциалов, В;

1—'значение электрического тока, при котором проводили измерения, А;

/

(2)

_Эфф—эффективное значение межзондового расстояния, вычисляемое по фор­муле (2)

^Эфф— у £

где О, І2, ІЗ — расстояния между .первым и вторым, вторым и третьим, третьим в четвертым зондами соответственно.

При использовании четырехзондовой головки, у которой отклонение меж­зондового расстояния от номинального значения /о не превышает ±1 %, в фор­мулу (2) подставляют значение I == /₀.

■Станд ар т допол н и ть р аз делом — 4:

«4. Представление результатов измерений и нормы на показатели точности

Приложение. Первый абзац изложить в новой редакции: «Результат изме­рения удельного электрического сопротивления приводят к температуре to = =23 °С по формуле

(3)

где Р/ — удельное электрическое сопротивление, ОМ’СМ;

С — температурный коэффициент (табл. 1, 2);

t—номинальная температура в диапазоне (23 ±5) °С;

р f — удельное электрическое сопротивление при 23 °С.

Результат измерения удельного электрического сопротивления может быть приведен к любой номинальной температуре в пределах диапазона (23±5) °С».

Таблица 1. Головка. Заменить значение: 10,0—1000 на 10.0—ІООіОО.

(ИУС № 10 1990 г.)Редактор И. В. Виноградская
Технический редактор В. Н. Прусакова

Корректор Л. Г, Старостин

Сдано в наб. 08.10.80 Подп. к печ. 28.11.80 0,5 п. л. 0,31

уч.-изд. л. Тир.

120

Цена 3

коп.

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123557, Москва, Новопресненский пер., 3.
Калужская типография стандартов, ул. Московская, 256. Зак. 2956