ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР
ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ
ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ
ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
Издание официальное
10 руб. БЗ 6—92
ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ
Москв
а
УДК 531.715:006.354 Группа П41
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
П
ГОСТ
9847—79
РИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИТипы и основные параметры
Optical instruments for surface roughness
parameters measuring. Basis parameters
and types
ОКП 44 3160
Дата введения 01,01,81
Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы (далее — приборы), действие которых основано на принципе одно- временного преобразования профиля поверхности, предназначенные для измерения параметров Rmax, Rz и S по ГОСТ 2789—73, а также устанавливает типы и основные параметры оптических приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости при помощи отсчетного устройства.
Требования к величине линейного поля зрения (табл. 4, 5 и 6), а также требования пп. 2.1, 2.2.1—2.2.3, 2.4.1—2.4.3, 2.7 и 2.8 настоящего стандарта являются обязательными, другие требования — рекомендуемыми.
(Измененная редакция, Изм. № 2).
ТИПЫ
Типы приборов устанавливаются следующие:
ПТС — прибор теневого сечения;
ГІСС — прибор светового сечения;
ААИИ — микроскоп интерференционный измерительный, действие которого основано на двулучевой интерференции света;
МПИ — микроскоп-профилометр интерференционный, действие которого основано на интерференции света с образованием волос равного хроматического порядка.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
П
Издание официальное
ерепечатка воспрещена(<5 Издательство стандартов, 1979 (С'> Издательство стандартов, 1993 Переиздание с изменениямиОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
Диапазон измерений параметров шероховатости приборами должен соответствовать или находиться внутри пределов измерений, указанных в табл. 1.
Таблица 1
|
Тип прибора |
Параметр шероховатости |
Пределы измерений |
|
ПТС |
|
4І0—320 мкм |
|
S |
0,2—1,6 мм |
|
|
ПСС |
Rz, Rmax |
0,5—40 мкм |
|
s |
0,QQ2,—0,5 мм |
|
|
МИИ |
Rz, R m a x |
0,05—0,8 мкм |
|
s |
0,002—0,05 мм |
|
|
мпи |
Rz, R ж a x |
0,0&—0,8 мкм |
Примечание. Допускается изготовлять приборы специального назначения с диапазоном измерения, выходящим за пределы, указанные в табл. 1.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Основные параметры приборов типов ПТС и ПСС должны соответствовать указанным в табл. 2 и в пп. 2.2.1—2.2.3.
Термины, используемые в стандарте, и их определения указаны в приложении 2.
[Таблица 2
|
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax, мкм |
Линейное поле зрения, мм, не менее |
Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее |
Апертура объектива |
Общее 'увеличение микроскопа, крат, не более |
|
От 40 до 3'20 |
8 |
1 |
0,03 |
32 |
|
|
|
|
OJ05 |
32 |
|
От 10 до 40 |
2.5 |
4 |
0,1 |
80 |
|
|
|
|
0,12 |
60 |
|
|
|
|
10,15 |
60 |
|
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax, мкм |
Линейное поле зрения, мм, не менее |
Увеличение объектива с дополнительной линзой, крат, не менее |
‘Апертура юбъектива |
Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
|
От 4 до ГО |
0,8 |
1'0 |
0.2 0,3 |
200 ІІ60 |
|
От 1,6 до 4 |
0,8 |
12,5 |
0,4 0,46 |
260 200 |
|
От 0,5 до 1,6 |
0,25 |
за |
0,5 0.6 |
750' 620 |
Номинальные значения характеристик объективов в приборах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе наблюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона измерений.
Номинальное значение угла между оптическими осями микроскопов должно быть 90°.
Отклонение, от прямолинейности изображения края тени или щели в пределах линейного поля зрения не должно превышать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.
2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).
Основные параметры приборов типа МИИ должны соответствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1—2.4.3.
Таблица б
|
Диапазон измерения параметров Rz и Rmax, мкм |
Линейное поле зрения, мм, не менее |
Апертура объектива |
Общее увеличение микроскопа, крат, не более |
|
От 0,1 до 0,8 |
0,25 |
0,3 |
400 |
|
0,5; 0,65 |
670 |
||
|
От 0,06 до 0,4 |
0,25 |
0,85; 0,915 |
1Г2Ю |
|
От 0,05 до 0,1 |
0,08 |
0,95; 1,05 |
250® |
Искривление интерференционных полос в иоле зрения В направлении измерения не должно быть более 0,1 полосы для диапазона измерения от 0,1 до 0,8 мкм и 0,05 полосы для диапазона, измерения от 0,05 до 0,1 мкм.
Смещение интерференционных полос в поле зрения не должно быть более чем на одну полосу в течение 15 мин через 1 ч после включения прибора.
Предел допускаемой погрешности аттестации эффективной длины волны источника монохроматического излучения — 2 нм.
Основные параметры приборов типа МПИ должны соответствовать указанным в табл. 6.
Таблица 6
Пределы измерения параметров Rz и Rmax, мки
Наименование параметра
от .0,1 до 0,8 от 0,05 до 0,5
|
300 |
500 |
|
&0 |
30 |
|
0,35 |
0,2 |
|
5 |
3 |
А
0,5
пертура объектива, не менееЛинейное поле зрения, мм, не менее
Общее увеличение прибора, не менее
Обратная линейная дисперсия диспергирующей системы ДЛЯ А.П, нм/мм, не более
Предел разрешения диспергирующей системы для Хп, нм, не более
Число интерференционных полос равного хроматического порядка в рабочей части поля зрения
Смещение интерференционных полос равного хроматического порядка в поле зрения в течение 15 мин через 1 ч после включения в долях полосы, не более
Увеличение при фотографировании должно обеспечивать фотографирование участка поверхности, соответствующего линейному полю зрения, указанному в табл. 2, 3, 5, 6.
Характеристики относительной погрешности для приборов типов ПТС, ПСС, определяемые по параметру Rmax на поверхности образцовых мер, не должны превышать значений, указанных в табл. 7.Таблица 7
|
Диапазон измерения |
Базовая длина, мм |
Предел допускаемой систематической составляющей погрешности, %, ДЛЯ ТИ11О1. |
Предел донускае- ,мого среднего квадратического отклонения случайной составляющей погрешности, %, для типов |
Предел допускаемой суммарна, погрешности среднего трех измерений, %, для типов |
|||||
|
параметра |
^тах’ мкм |
||||||||
|
ПТС, ПСС |
ПТС, ПСС |
ПТС. ПСС |
|||||||
|
Св. |
160 |
ДО |
320 |
8 |
12, ,0 • |
0,5 |
2,5 |
||
|
Св. |
80 |
ДО |
160 |
8 |
2,5 |
1,0 |
3,5 |
||
|
Св. |
40 |
ДО |
80 |
8 |
3,0 |
1,7 |
5,0 |
||
|
Св. |
30 |
ДО |
00 |
2,5 |
3,2 |
1,7 |
5J5 |
||
|
Св. |
120 |
до |
30 |
2,5 |
3,6 |
2J0 |
6,5 |
||
|
Св. |
.1'0 |
ДО |
20 |
2,5 |
4,0 |
3,5 |
8,5 |
||
|
Св. |
6,3 |
до |
40 |
0,8 |
6,0 |
14,6 |
40,0 |
||
|
Св. |
3,2 |
ДО |
6,3 |
0,8 |
7,0 |
6,6 |
44,0 |
||
|
Св. |
1,6 |
ДО |
3,2 |
0,8 |
9,0 |
8,0 |
30,0 |
||
|
Св. |
'0,63 |
ДО |
1,6 |
0,25 |
1I2J0 |
10,0 |
04,0 |
||
|
Св. |
0,5 |
до |
0,63 |
0,26 |
16,0 |
112,0 |
30,0 |
||
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Характеристики относительной погрешности приборов типов МИИ и МГІИ, определяемые по параметру Rmax, не должны превышать значений, указанных в табл. 8.
Таблица 8
|
Тип прибора |
Диапазон измерения параметров «тах> мкм |
Базовая длина, мм |
Апертура объектива |
Предел допускаемой систематической погрешности, % |
Предел допускаемого среднего квадратического отклонения случайной погрешности, % |
Предел допускаемой суммарной погрешности трех измерений, % |
|
МИИ |
Св. 0,4 до 0,8 |
0,25 |
0,3 |
ЕЮ |
5 |
24 |
|
От 0,5 до О,® |
14 |
5 |
18 |
|||
|
От 0,85 до 0,95 |
10 |
5 |
15 |
|||
|
мпи |
0,5 |
14 |
5 |
18 |
||
|
МИИ |
Св. 10,1 до 0,4 |
0,25 |
От 0,5 до 0,65 |
30 |
40 |
40 |
|
От 0,86 до 1,26 |
00 |
40 |
30 |
|||
|
мпи |
0,5 |
18 |
ПО |
30 |
||
|
МИИ |
Св. 0,05 до 0,1 |
10,08 |
От 0,95 до 1,25 |
30 |
20 |
50 |
|
мпи |
0,5 |
40 |
20 |
35 |
ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (Исключено, Изм. № 1).
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
ТЕРМИНЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В СТАНДАРТЕ, И ИХ ОПРЕДЕЛЕНИЯ
(Исключен, Изм. № 1).
Увеличение объектива с дополнительной линзой для приборов типов ПТС и ПСС-увеличение оптической системы, проектирующей изображение в предметную плоскость окуляра.ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
РАЗРАБОТЧИКИ:
А. Н. Кузнецов, А. А. Кучин
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 29.08.79 № 3261
Срок проверки — 1995 г., периодичность — 5 лет
ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
О
Номер пункта
Вводная часть
бозначение НТД. ни которыйТОСТ (2789—73
Проверен в 1991 г. Ограничение срока действия снято Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 23.04.91 № 551
ПЕРЕИЗДАНИЕ (декабрь 1992 г.) с Изменениями № 1, 2, утвержденными в декабре 1986 г., апреле 1991 г. (ИУС 3—87, 7—91)
Редактор Л. Д. Курочкина
Технический редактор В. Н. Прусакова
Корректор В. М. Смирнова
Сдано в набор. 19.01.95. Поди, в печ. 23.03 93. Уел печ. л. 0.5 Усл. кр <>тг 0.5.
Уч.-изд. л. 0,45. Тир. 1063 эка.'
Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 10/076, Москва. Колодезный п.*р , 14.
Тип. «Московский печатник». Москва. Лялин пер.. 6 Зак 36
