ГОСТ 8.367-79 сторінка 2 з 14
-
Отсчитанное по барометру значение атмосферного давления необходимо привести к температуре 0 °С, географической широте 45° и к уровню моря.
Поправки для прив'едения показаний барометра к температуре 0 °С приведены в табл. 1, к уровню моря — в табл. 2, к широте 45° — в табл. 3 обязательного приложения 13.
Для условий измерения поправки вычисляют, интерполируя данные таблиц обязательного приложения 13 (см. пример 1 обязательного приложения 15).
Для каждой поверочной лаборатории (для данной географической широты и высоты над уровнем моря) необходимо составить сводную таблицу поправок.
-
Влажность воздуха е в мм рт. ст. вычисляют по показаниям сухого tc и влажного івл термометров аспирационного психрометра по ГОСТ 6353‘—52 по формуле:
е 0,5(4— 4л). (1)
где ех—давление насыщенных паров воды в мм рт. ст. при температуре 4л, °С.
Давление насыщенных паров воды при температурах от 8 до
30 °С приведено в обязательном приложении 14.
Пример вычисления влажности воздуха приведен в обязательном приложении 15 (пример 2).
-
Перед проведением поверки концевых мер длины должны быть выполнены следующие подготовительные работы.
-
После транспортирования концевые меры необходимо выдержать в помещении в их упаковке не менее 18 ч, после чего каждая мера должна быть распакована, освобождена от смазки, тщательно промыта авиационным бензином по ГОСТ 1012—72 и вытерта чистой сухой салфеткой из хлопчатобумажной ткани.
-
Вспомогательные пластины должны быть подготовлены, как указано в п. 2.2.1.
-
Металлические пластины должны быть промыты авиационным бензином, стеклянные и кварцевые — этиловым спиртом по ГОСТ 18300—72.
-
-
Подготовительные работы необходимо проводить в специальном помещении, имеющем вытяжной шкаф.
-
-
ПРОВЕДЕНИЕ ПОВЕРКИ
-
Внешний осмотр
-
При проведении внешнего осмотра должно быть установлено соответствие концевых мер требованиям ГОСТ 9038—73 на комплектность наборов, маркировку мер и футляров.
-
На нерабочих поверхностях образцовых мер не должно быть следов коррозии.
-
На измерительных поверхностях концевых мер, находящихся в эксплуатации или выпускаемых из ремонта, допускается наличие незначительных дефектов, не влияющих на притираемость мер.
-
-
Проверка притираемости
-
Проверке на притираемость подвергают обе измерительные поверхности каждой концевой меры не ранее чем через 20—30 мин для мер длиной до 100 мм и через 1—2 ч для мер длиной св. 100 мм после подготовки мер и вспомогательных пластин к поверке.
-
-
Проверку усилия сдвига при притирании мер друг к другу производят в соответствии с требованиями ГОСТ 8.166—75.
-
Непосредственно перед притиранием измерительная поверхность концевой меры и рабочая поверхность вспомогательной пластины должны быть протерты чистой сухой салфеткой.
Рукой в тонкой перчатке или закрытой салфеткой концевую меру необходимо приложить поверяемой измерительной поверхностью к рабочей поверхности вспомогательной пластины, находящейся в другой руке.
Наблюдая поверхность концевой меры через пластину, слегка прижимают меру к пластине или пластину к мере, чтобы появились интерференционные полосы, расширяющиеся при дальнейшем сдавливании, и, наконец, исчезающие. При этом поверхности концевой меры и вспомогательной пластины должны прочно сцепиться между собой.
-
Если расширения и исчезновения полос не происходит или после сцепления поверхностей наблюдаются цветные или белые пятна, необходимо повторить очистку поверхностей более тщательно. С помощью лупы проводят внешний осмотр измерительных поверхностей, особенно в местах появления пятен, „и при отсутствии заметных дефектов снова притирают меру к пластине.
Можно также сдвинуть меру на соседний участок поверхности пластины или притереть меру к другой пластине.
-
Притираемость образцовых концевых мер должна соответствовать требованиям ГОСТ 8.166—75, рабочих концевых мер — требованиям ГОСТ 9038—73 или ГОСТ 13581—68.
-
Перед определением срединной длины и отклонения от плоскопараллельности абсолютным интерференционным методом каждая концевая мера должна быть притерта посредине вспомогательной пластины.
При поверке методом сличения обе меры — поверяемая и образцовая (или эталонная) —должны быть притерты в середине пластины рядом, так, чтобы длинные ребра измерительных поверхностей мер были параллельны друг другу.
Меры, притертые к пластине, должны быть выдержаны вблизи интерферометра, а затем внутри его, на измерительном столике, в течение времени, указанного в табл. 2 и 3.
-
.При поверке концевых мер длиной свыше 100 мм на горизонтальном интерферометре ВНИИМ (см. обязательное приложение 10) к ним должны, притираться стальные вспомогательные пластины.
К концевым мерам, длина которых не кратна 100 мм, должны быть притерты вспомогательные меры известной длины, чтобы длина блока была кратна 100 мм.
-
О п р е д е л е н и е отклонения от плоскостности концевых мер в свободном состоянии.
-
Определение отклонения от плоскостности измерительных поверхностей концевых мер длиной св. 0,6 до 3 мм включительно в свободном состоянии должно проводиться на интерферометре Кестерса (см. обязательное приложение 1).
-
Концевую меру располагают на стеклянной пластине, установленной на предметном столике '18 (см. черт. 1 или 2 обязательного приложения 1) так, чтобы она была видна в середине поля зрения интерферометра и длинное ребро измерительной поверхности было параллельно горизонтальной нити перекрестия зрительной трубы. Далее необходимо найти интерференционные полосы на поверхности концевой меры (см. пп. 2 и 3 обязательного приложения 1).
-
Сначала полосы располагают в вертикальном направлении (черт. 1, а) и производят отсчет максимальной стрелы прогиба полос в долях расстояния между ними (ДА]). Затем полосы располагают в горизонтальном направлении (черт. 1, б) и производят отсчет максимальной стрелы прогиба полос (ДА2).
Отклонение от измерительной поверхности концевой меры ДА подсчитывают по формуле
ДА = ДА • 7/2, (2)
где А — длина волны используемого света;
ДА — наибольший из отсчетов (ДА] или ДА2).
-
Наличие разнонаправленной кривизны (извернутости) обнаруживается либо по появлению точек перегиба на интерференционных полосах (черт. 2), либо по появлению не менее двух линий или точек, в которые полосы стягиваются или из которых они расходятся при легком нажиме на зрительную трубу интерферометра (направление движения полос на черт. 2 показано стрелками).
-
Отклонение от плоскостности поверхности в случае ее извернутости должно определяться по максимальному отклонению от плоскостности в той части меры, где кривизна поверхности односторонняя (см. черт. 2).
-
Отклонение от плоскостности измерительной поверхности меры в свободном состоянии не должно превышать значений, указанных в ГОСТ 9038—73.
1,0
л
3.4. Определение
отклонения от плоскопарал
ельност и, срединной длины и отклонения длины от номинальной образцовых концевых мер 1-го разряда и рабочих мер класса точности 00 длиной до 100 мм.-
Притертую к вспомогательной пластине и выдержанную согласно требованиям табл. 2 концевую меру устанавливают на предметный столик 18 интерферометра Кестерса (черт. 1 и 2 обязательного приложения 1). Указатель 10 устанавливают посредине меры (черт. 1 обязательного приложения 1) или на номинальное значение ее длины по шкале А (черт. 2 обязательного приложения 1).
К мерам длиной 10 мм и более присоединяют рабочий спай термопары.
-
С помощью регулировочных винтов необходимо добиться, чтобы направление интерференционных полос на поверхности пластины было вертикальным и чтобы на поверхности концевой меры было видно 3 или 5 полос.
Черт. 2
Кроме того, добиваются, чтобы при легком нажатии рукой на зрительную трубу вниз или при движении вверх столика 9 (черт. 1 и 2 обязательного приложения 1) интерференционные полосы в поле зрения перемещались слева направо. В этом случае порядок интерференции в направлении слева направо для полос, наблюдаемых на пластине, увеличивается, а для полос на концевой мере — уменьшается (черт. 3, а).
-
Для меры с незначительным отклонением от плоскопараллельное™ интерференционные полосы на поверхности меры параллельны полосам на поверхности пластины и имеют такую же ширину (черт. 3, б).
Для мер с отклонением от плоскопараллельности интерференционные полосы на поверхности меры по сравнению с полосами на поверхности пластины либо имеют различную ширину, либо наклонены к ним, либо искривлены. В общем случае наблюдаются различные сочетания, (черт. 3, в и 4), например, на черт. 4, г полосы на мере искривлены и шире полос на пластине. Отклонение от плоскопараллельности 6/ определяется суммой отклонения от плоскопараллельности меры вдоль длинного д/[ и вдоль короткого ребра б/г по формуле
8/ = о/! -І- 8/2. (3)
-
Для опре- лД/ N' N-1 деления отклонения от плоскопараллель- црсти вдоль длинного ребра концевой меры d/i находят разность бД^ числа одновременно наблюдаемых полос между точками Ь и d на поверхности меры и пластины (черт. 4, а) и определяют по формуле
= 8Л • Х/2, (4)
где X — длина волны используемого света.
-
Для определения отклонения от плоскопараллельное™ вдоль короткого ребра концевой меры б/2 измеряют проекцию 6jV2 интерференционной
S
полосы на мере на длинное ребро ее измерительной поверхности в единицах расстояния между полосами на пластине (черт. 4, б) и
определяют по формуле
/2 = W2 • Х/2. (4')
-
Отклонение от плоскопараллельное™ вдоль длинного ребра измерительной поверхности меры можно также определить, располагая интерференционные полосы на пластине горизонтально, параллельно длинному ребру, и измеряя SAG, как проекцию интерференционной полосы На мере на ее короткое ребро в единицах расстояния между полосами на пластине (черт. 5).
-
Точки a, b, d и е на черт. 4, а должны быть расположены на расстоянии 1,5 мм от меньших боковых (нерабочих) граней и на расстоянии 1 мм — от больших боковых граней меры, точка с — в середине поверхности меры.
Примечание. В поле зрения интерферометра наблюдается зеркальное изображение поверхности меры.
-
Для определения срединной длины меры производят изме-
рение дробных частей порядков интерференции еи для нескольких спектральных линий используемого источника света, температуры меры tM, давления р, температуры t и влажности е воздуха, затем производят сравнение измеренных Єи с вычисленными ев (выписанными из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 для номинальной длины меры) и вводят поправки на условия измерений, отличающиеся от нормальных.
a-61V1-3,75 —3,0=0,75, «ЛГ2-0; б —6УУ, = 0, 6У2 = О,4; -в —
= 0, 6Л'2-0,4; г —6^=3,8 —3,2=0,6, 6W2=0,3.
Черт. 4
-
Одну из темных интерференционных полос на поверхности концевой меры располагают так, чтобы вертикальная линия перекрестия проходила через ее середину и середину измерительной поверхности меры.
Значение Єи в этом случае — расстояние от темной полосы нап
ластине, первой слева от вертикальной линии перекрестия, до середины полосы на мере, выраженное в долях расстояния между соседними полосами на пластине (черт. 3 6, в).
-
Определение єи проводят, например, переходя от красной области спектра к фиолетовой, а затем в обратном направлении— от фиолетовой к красной, и вычисляют среднее значение Ей для каждой линии.
-
Для тех же спектральных линий и номинальной длины поверяемой меры из таблиц обязательных приложений 3, 5, 7 или 9 выписывают дробные части порядков интерференции ев и находят разности бє^Еи—ев и 6є" = єв—еи для каждой линии. Если при этом уменьшаемое меньше вычитаемого, к уменьшаемому надо добавить единицу.
При малом отклонении срединной длины меры от номинального значения (0,3 мкм и менее) числа ряда бе'ь бе'г, бе'з, • • • (или 6е"і, бе"г, де"з,...) возрастают от красной к фиолетовой спектральной линиям, так что произведения де'г-кг/2 (или бе"ї-Хі/2) одинаковы для всех спектральных линий. Допускаются отклонения в пределах ±0,02 мкм от среднего значения этих произведений.
При большем отклонении эти произведения неодинаковы, тогда необходимо подобрать такие целые числа kit чтобы были „одинаковыми С ТОЙ же погрешностью Произведения (/г; + бЄі)Хі/2 (или (&ї + бе" і) Хі/2).
Как правило, &=1; 2 или 3 и редко k — 4; 5 или 6.
Среднее из найденных таким образом (способом совпадения дробных частей порядков интерференции) произведений для нескольких спектральных линий определяет отклонение срединной длины меры в условиях измерения от ее номинальной длины
8Д= -Гу^ + Ц) . х;'2. (5)
ті
Значение 6Li положительно, если совпадение найдено для ряда разностей бе', и отрицательно — для бе".
-
Значение 6LZ можно также определять при помощи специальных линеек*— номограмм, прилагаемых к интерферометру Кестерса. Внешний вид линейки для криптона показан на черт. 6. Линейка имеет движок с визиром, шкалу, всю длину которой условно принимают равной 1 мкм (или 3 мкм), и шкалы для отдельных спектральных линий, показывающие число их полуволн, уклады
-
вающихся в той или иной длине от 0 до 1 мйм (или до 3 мкм). Числа 10, 20, 30 ... на черт. 6, показывают сотые доли числа полуволн.
Побачили розбіжність з офіційним текстом?
Дивіться також
Сборник ГОСТ ЕСКД
Збірник із 154 стандартів