---

проводять ремонт і налагодження установок у разі виходу їх з ладу; провадять профілактичні роботи; . слідкують за роботою витяжної вентиляції.

3.3 Під час роботи необхідно бути уважним, не відволікатися від роботи та не відвертати увагу інших.

3.4 При очищенні робочої камери реактора необхідно дотримуватися таких вимог:

відключити установку від мережі електроживлення;

відкрити вентиль напуску азоту в реактор та зрівняти тиск у реакторі з атмосферним;

звільнити кришку камери від зажимів та повільно підняти її;

надягти гумові рукавички та захисні окуляри (за необхідності -респіратор або протигаз марки „М");

очистити робочу камеру за допомогою пилососу, використовуючи стиснене повітря для видалення механічних частинок з-під електрода;

очистити верхній і нижній електроди і стінки камери бязевою серветкою, змоченою у теплій воді;

* Зазначені журнали розробляються підприємствами

протерти очищені деталі та гумові ущільнювачі батистовою серветкою, змоченою в етиловому спирті.

3.5 Перед ремонтом або заміною деталі чи вузла газової системи належить продути її азотом протягом ЗО хвилин. При попаданні в газову систему рідини продувку збільшують до 2-х годин.

3.6 Під час проведення ремонтних і профілактичних робіт для захисту очей від попадання бризок рідини необхідно користуватися захисними окулярами. Під час заміни балонів і в разі аварії необхідно користуватися протигазом з коробкою марки „М".

3.7 При заміні балонів необхідно дотримуватись певних вимог.

3.7.1 Перед тим, як приєднати редуктор до вентиля балона, необхідно візуально перевірити справність манометрів, накидної гайки редуктора:

на накидній гайці редуктора не повинно бути тріщин;

різьбова нарізка на накидній гайці та редукторі повинна бути без механічних пошкоджень (не зірвана);

манометр повинен бути з такою шкалою, щоб межа робочого тиску знаходилася в другій третині шкали.

3.7.2 Не допускається застосування манометрів у таких випадках: відсутня пломба або клеймо;

закінчився термін перевірки;

стрілка манометра при відсутності тиску не повертається на нульову відмітку шкали;

не позначено червоною лінією робочий тиск манометра;

розбите скло або інші пошкодження, які впливають на правильність його показань.

3.7.3 Під час напускання газу в камеру редуктора вентиль балона треба відкривати вручну, плавно, щоб різко не зростав тиск у камері редуктора. Якщо вентиль відкривається важко, необхідно користуватися спеціальним ключем (не допускається застосування молотка, зубила, гаєчного ключа).

3.7.4 Після заміни балона з технологічним газом необхідно перевірити методом обмилення герметичність з'єднання балона з газовою системою установки та відрегулювати потрібний тиск за манометром.

3.7.5 При доставці балонів до місця установки застосовувати спеціальні візки, ноші й інші пристрої з приладдям для закріплення балонів, щоб запобігти їх сповзанню та падінню. Горловина балона з вентилем має бути закрита герметично металевим запобіжним ковпаком.

3.7.6 Вертикальне транспортування балонів з газами або газовими сумішами необхідно виконувати тільки у вантажному ліфті.

3.7.7 Переносити балони на плечах або в руках не допускається. Переміщення балонів на невелику відстань у межах робочого місця

дозволяється робити шляхом перекочування у злегка нахиленому положенні.

3.8 Установки плазмо-хімічного витравлювання потрібно вмикати, дотримуючись такого порядку:

3.8.1 Підготувати установку згідно з технічним описом.

3.8.2 Відкрити вентилі магістралей робочих газів і холодної води.

3.8.3 Установити в магістралях тиск робочих газів: кисню, азоту, хладону (0,3-0,6) 10⁵Па.

3.8.4 Натиснути на панелі вмикання установки кнопку „сеть" (повинна засвітитися сигнальна лампочка „сеть").

3.8.5 Натиснути кнопки на блоках РРГ-6 (регулятор расхода газов) і БУЗ (блок управлення загрузчика) „сеть" та ввімкнути вакуумметр ВД-1.

3.8.6 Ввімкнути та підготувати до роботи блок управління БУ-ЗЛ згідно з технічним описом дЕМЗ.859.117 ТО. На екрані дисплея повинен з'явитися напис:

„Установка плазмо-химического травлення"

08ПХТ-100/10-006

СІ- ПУСК

СТР- СТОП

СБР- СБРОС

ПРМ- ПРОГРАММИРОВАНИЕ

3.8.7 Прогріти ввімкнені блоки протягом ЗО хвилин.

3.8.8 Виконати настройку індикаторів тиску установки.

3.8.9 Вставити датчик вакуумметра ВД-1 в гніздо.

3.8.10 Переконатися, що установка знаходиться в робочому стані (переходи 3.8.1-3.8.5 виконані).

3.8.11 Ввімкнути та підготувати до роботи вакуумметр ВД-1.

3.8.12 Ввімкнути вакуумні насоси, відтиснувши клавішу „НАСОСЬІ".

3.8.13 Відкачати повітря в камері до граничного вакууму, відкривши вакуумний клапан камери, натиснувши кнопку „ОТКАЧКА". На мнімосхемі, повинна засвітитися сигнальна лампочка.

3.8.14 Перевірити граничний залишковий тиск у камері. Через три хвилини після натиснення кнопки „ОТКАЧКА" тиск в камері повинен бути не вище 6,7 Па.

3.8.15 Записати значення граничного залишкового тиску в журнал.

3.8.16 Перевірити наявність натікання у вакуумній системі. 3.8.16.1 Відтиснути кнопку „ОТКАЧКА" на мнімосхемі, після чого

повинна погаснути сигнальна лампочка.

3.8.16.2 Відключити насоси, для чого необхідно зняти щиток живлення та вимкнути автоматичні вимикачі „НАСОС 1", „НАСОС 2". Сигнальна лампочка „НАСОСЬІ" на мнімосхемі повинна погаснути.

3.8.16.3 Заміряти час закриття вакуумного клапана „ОТКАЧКА" секундоміром.

3.8.16.4 Заміряти залишковий тиск вакуумметром через 5 хвилин. Ще раз через 5 хвилин провести відлік тиску та розрахувати натікання В за формулою:

УдР

В= --------- (м³Па/с)

лі

де V - об'єм відкачування, рівний 60 л (6-Ю"² м³); АІ - час, за який

відбулася зміна тиску, с; АР - зміна тиску, Па.

Величина натікання В не повинна бути вищою, ніж 1-Ю"³ м³Па/с.

3.8.16.5 Записати величину натікання в робочий журнал.

3.8.17 Виконати настройку індикатора тиску установки.

3.8.17.1 Встановити тиск у камері 30 Па, відкривши 5-й клапан газової магістралі натиском кнопки на мнімосхемі та виконати необхідне регулювання тиску газу в 5-й магістралі відповідним задатчиком у газовому блоці. Тиск контролювати вакуумметром ВД-1.

3.8.17.2 Встановити відповідність показань індикатора тиску установки показанням вакуумметра ВД-1.

3.8.17.3 Зрівняти показання тиску на дисплеї з показанями вакуумметра ВД-1. При невідповідності показань зняти задню кришку шафи живлення й обертаням ручки резистора 1„ індикатора тиску домогтися відповідності показань на дисплеї та вакуумметра ВД-1.

3.8.17.4 Переходи 3.8.17.1-3.8.17.3 виконати тричі.

3.8.18 Провести настройку плати стабілізації потужності й узгодження потужності генератора високої частоти (ГВЧ) з потужностю високочастотного розряду згідно з дЕм 3.240.084 ТО. Цю операцію виконувати тільки після ремонту ГВЧ та заміни генераторної лампи.

3.8.19 Провести перевірку проходження команд у режимі ДС -дискретні сигнали.

3.8.19.1 Перевести клавішу „ПРОГРАММА/ПУЛЬТ" на панелі управління ЕОМ у положення „ПУЛЬТ" і знову повернути її в положення „ПРОГРАМУ! А". Клавішу „ТАЙМЕР" перевести у положення „ВЬІКЛ".

На екрані дисплея повинні з'явитися букви д або Ю. Якщо на екрані буква Ю, то необхідно натиснути на клавішу „ЛАТ", тоді з'явиться буква д.

3.8.19.2 Набрати за допомогою клавіатури дисплея команду 100 000С, на екрані з'являться написи:

1. ДИСКРЕТНЬІЕ СИГНАЛИ

2. АНАЛОГОВЬІЕ СИГНАЛЬІ

3.8.19.3 Натиснути клавішу 1, на екрані дисплея з'явиться таблиця дискретних сигналів ігреків ¥і.

3.8.19.4 Виконати перевірку роботи установки в режимі ДС згідно з дЕМЗ.240.084 ТО.

3.8.19.5 Провести перевірку проходження команд у режимі АС -аналогові сигнали.

3.8.19.6 Натиснути клавішу і , на екрані з'являться написи:

1. ДИСКРЕТНЬІЕ СИГНАЛЬІ

2. АНАЛОГОВЬІЕ СИГНАЛЬІ

3.8.19.7 Натиснути клавішу 2, з'явиться на екрані таблиця аналогових сигналів ¥і-¥₈.

3.8.19.8 Провести перевірку роботи установки в режимі АС згідно з дЕМЗ.240.084 ТО.

3.9 Під час роботи на установці плазмо-хімічного витравлювання оператору необхідно знаходитися на діелектричному килимку і використовувати відповідні засоби індивідуального захисту (рукавички гумові та діелектричні, окуляри захисні ОРЗ-5, протигаз із коробкою фільтруючою марки „М" ).

Технологічні процеси на відповідному обладнанні проводять згідно з технологічними інструкціями й операційними технологічними картами тільки технологи або оператори, з котрими проведено відповідне навчання та спеціальний інструктаж.

3.10 При раптовому відключенні витяжної вентиляції, припиненні подачі води для охолодження робочої камери слід негайно припинити подачу технологічних газів, відключити установку, „стравити" рештки робочих газів на байпас та продути робочу камеру азотом протягом 10 хвилин.

3.11 При виконанні робіт необхідно дотримуватися вимог пожежної безпеки.

3.12 Для проведення ремонтних робіт, які вимагають відключення напруги, слід вжити в указаному порядку таких технічних заходів:

здійснити необхідні відключення та вжити заходів, що перешкоджають помилковому або самочинному ввімкненню комутаційної апаратури;

вивісити плакати із забороною (Не вмикати! Працюють люди!) на приводах ручного та ключах дистанційного керування комутаційною апаратурою;

перевірити покажчиком напруги заводського виготовлення відсутність напруги на струмовідних частинах, які слід заземлити для захисту працюючих від ураження електричним струмом;

зняти ручним розрядником залишковий заряд з конденсаторів;

встановити заземлення (ввімкнути заземлювальні ножі чи встановити переносні заземлення);

обгородити, за необхідності, робочі місця або струмовідні частини, що залишилися під напругою, і вивісити на огородженнях плакати безпеки (залежно від конкретних умов струмовідні частини обгородити до чи після їх заземлення (ДНАОП 0.00-1.21-98 „Правила безпечної експлуатації електроустановок споживачів").

У всіх випадках при проведенні профілактичних або ремонтних робіт високочастотну напругу повинно бути відключено.

3.13 Кожна дільниця, де для проведення технологічних процесів використовуються небезпечні гази або виділяються в процесі хімічних реакцій отруйні гази та пари отруйних і токсичних речовин, має бути забезпечена аварійним запасом протигазів відповідних розмірів і коробками марки „М" у кількості не менше 3-х комплектів.

3.14 При раптовому захворюванні чи різкому погіршенні стану здоров'я працюючого необхідно повідомити керівника робіт, у медпункт і надати першу (долікарську) допомогу.

3.15 Повідомлення про нещасний випадок проводиться в установленому порядку.

3.15.1 Про кожен нещасний випадок свідок чи працівник, котрий його виявив, або сам потерпілий зобов'язаний терміново повідомити безпосередньго керівника робіт чи іншу посадову особу та вжити заходів щодо надання необхідної допомоги.

3.15.2 До прибуття комісії з розслідування нещасного випадку необхідно зберігати обстановку на робочому місці й устаткування в такому стані, в якому вони були на момент події (якщо це не загрожує життю та здоров'ю інших працівників та не призведе до тяжчих наслідків). Вжити заходів щодо усунення подібних випадків.

3.16 При виявленні недоліків у роботі обладнання чи в засобах колективного або індивідуального захисту негайно повідомити безпосереднього керівника робіт чи посадову особу.

4 ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПІСЛЯ ЗАКІНЧЕННЯ РОБОТИ

4.1 Закрити вентилі балонів з технологічними газами, а також вентилі магістральних газів, крім магістралі азоту та вентиль подачі холодної води.

4.2 „Стравити" рештки технологічних газів на байпас.

4.3 Продути лінії подачі технологічних газів азотом протягом 10 хвилин.

4.4 Закрити вентиль магістралі азоту.

4.5 Відключити подачу води для охолодження робочої камери.

4.6 Прибрати з робочого місця оснащення, спирт, бязь та інструменти.

4.7 Виключити обладнання відповідно до інструкції з експлуатації або передати його працівнику, котрий заступає на зміну. При двозмінній роботі та безперервному технологічному процесі працююче обладнання передавати по журналу підготовки обладнання та журналу проведення технологічних процесів з відповідними записами.

4.8 Відключити витяжну вентиляцію установки через ЗО хвилин після закінчення роботи.

4.9 Виключити освітлення робочого місця та загальнообмінну вентиляцію.

4.10 Зняти спецодяг та засоби індивідуального захисту, покласти у відведене для цього місце.

4.11 Вимити руки теплою водою з милом, прополоскати ротову порожнину питною водою, в разі необхідності прийняти душ.

4.12 При виявленні недоліків у роботі обладнання чи в засобах колективного чи індивідуального захисту повідомити безпосереднього керівника робіт чи іншу посадову особу та зробити запис у журналі підготовки обладнання.

5 ВИМОГИ БЕЗПЕКИ В АВАРІЙНИХ СИТУАЦЯХ

5.1 До аварійних ситуацій відносяться:

1) несанкціоноване (аварійне) вимкнення напруги в силовій мережі;

2) руйнування або раптове відключення витяжної вентиляції, установок;

3) руйнування водопровідної мережі та припинення подачі води для охолодження робочої камери;

4) розгерметизація газової магістралі;

5) ураження електричним струмом

6) ядуха від витоку газів;

7) термічні опіки від нагрітих деталей робочої камери;

8) пожежа.

5.2 У всіх випадках виникнення аварійних ситуацій робітникам, котрі виконують роботи на установках плазмо-хімічного витравлювання, потрібно вжити термінових заходів для ліквідації наслідків і причин їх виникнення: