1.12.6.2 Кремній чотирифтористий або фторид кремнію (8іР4) -
безбарвний газ з різким ядучим запахом, густиною 4,6 г/л, термічно стійкий. У водних розчинах гідролізується з утворенням фтороводню НР і кремнефтористоводневої кислоти Н28іР6.
За силою кремнефтористоводнева кислота наближається до сірчаної, її солі - кремнефториди або фторосилікати здебільшого розчиняються у воді. Сама кислота та всі фторосилікати отруйні.
Кремній чотирифтористий у вологому повітрі створює густу хмарку, в присутності вологи хімічна активність аналогічна фтористому водню. В екологічному відношенні дуже небезпечний через високу токсичність і створення в атмосфері фтористоводневої кислоти. Ознакою витікання газу є характерний запах і створення білої димної хмарки. Він подразнює
верхні дихальні шляхи, слизові оболонки очей і носа, вражає серцево-судинну систему, легені, печінку, руйнує зуби.
ГДК у повітрі робочої зони 0,1 мг/м3.
Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.
1.12.6.3 Фторфосген (карбоніл фтористий) СО¥2 - безбарвний газ з густиною 1,139 г/л, у зрідженому стані розчинний у воді, в етанолі з розкладенням. Токсичний, спричиняє подразнення слизових оболонок очей і носа, верхніх дихальних шляхів і легенів.
ГДК у повітрі робочої зони 0,5 мг/ м . Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.
1.12.6.4 Оксид або окис вуглецю (СО) - безбарвний, дуже отруйний газ. Особливо небезпечний тим, що не має запаху, отруєння ним може статися непомітно. Отруйна дія оксиду вуглецю відома під назвою чаду. Він добре горить голубуватим полум'ям з виділенням великої кількості тепла, перетворюючись в СОг- На сонячному світлі або за наявності активованого вугілля (каталізатор) оксид вуглецю безпосередньо сполучається з хлором, утворюючи небезпечний газ - фосген (СОСЬ ).
Оксид вуглецю конденсується в рідину лише при мінус 192°С і твердне при мінус 205° С. У воді він розчиняється мало та не вступає з нею в хімічну взаємодію.
Отруйна дія оксиду вуглецю пояснюється тим, що він легко сполучається з гемоглобіном крові та робить його нездатним переносити кисень від легень до тканин. СО викликає відчуття тяжкості та сильний головний біль, запаморочення, шум у вухах, почервоніння обличчя, лихоманку, відчуття слабкості та страху, нудоту. При тривалій дії -сонливість, заціпеніння, а також уражає центральну нервову систему.
ГДК у повітрі робочої зони 20 мг/м3.
Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.
1.12.6.5 Двоокис вуглецю (СО?) - безбарвний газ з кислуватим присмаком і запахом, густиною 2 г/л, хімічно інертний газ, інтенсивно реагує тільки з сильними основами. При високих температурах може відновлюватися до СО деякими металами та вугіллям. Цей газ має наркотичну дію та подразнює шкіру і слизові оболонки. У малих концентраціях збуджує дихальний центр, а в дуже великих - пригнічує, спричиняє центральну судиннозвужуючу та місцеву судиннорозширюючу дію, впливає на обмін речовин.
С02 при концентрації в повітрі від 2,5 % до 5 % спричиняє головний біль, подразнення верхніх дихальних шляхів, а при 7 % концентрації - шум у вухах, серцебиття, пітливість, запаморочення, блювоту, порушення зору, ураження головного та спинного мозку. При концентрації 20 % і більше -
через кілька секунд припиняється дихання. С02 - малотоксичний газ. Ознакою витікання С02 є кислий запах.
ГДК у робочій зоні 9000 мг/м3.
Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.
1.12.6.6 Діоксид або двоокис азоту (N0^ - бурий отруйний газ з ядучим запахом, густиною 3,3 г/ л, взаємодіє з водою, утворюючи суміші азотної та азотистої кислот. Він легко згущується в червонувату рідину (температура кипіння +21 ° С), яка при охолодженні поступово світлішає, а при температурі мінус 11,2°С - замерзає, утворюючи безбарвну кристалічну масу. При нагріванні газоподібного діоксиду азоту його забарвлення, навпаки, посилюється, а при 140°С - стає майже чорним.
Пари И02 отруйні. Вдихання їх спричиняє сильне подразнення дихальних шляхів, набряк легенів і може призвести до отруєння. Цей газ в екологічному відношенні небезпечний.
ГДК у робочій зоні 2 мг/ м3'.
Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.
1.13 Всі приміщення, де проводяться роботи з отруйними, вибухо- та пожежонебезпечними газовими сумішами, газами і рідинами повинні бути обладнані приладами автоматичного вимірювання концентрації газів і сигналізацією, які сповіщають про порушення припливно-витяжної вентиляційної системи, забезпечені засобами пожежогасіння, а також мати телефоний зв'язок з пожежною охороною та медпунктом.
Витяжні системи місцевих відсосів, які видаляють відпрацьовані технологічні гази, токсичні домішки продуктів згоряння і виключають попадання токсичних газів у робочу зону виробничих приміщень, повинні мати блокування з пусковими пристроями технологічного обладнання (установок) для того, щоб воно не могло працювати при несправній витяжній системі місцевих відсосів.
1.14 Інтенсивність елекромагнітних полів на робочому місці не повинна перевищувати:
для електричної складової в діапазоні частот 100 кГц-30 МГц - 20В/м; для магнітної складової в діапазоні частот 100 кГц-30 МГц - 5 А/м.
1.15 Вимірювання інтенсивності електромагнітних полів на робочих місцях у зоні обслуговування ВЧ установок необхідно проводити:
а) при введенні в експлуатацію нових установок;
б) періодично, не рідше одного разу в 6 місяців, при експлуатуванні;
в) при реконструкції діючих установок, а також після ремонтних робіт;
г) при кожній зміні умов праці під час проведення дослідних робіт.
Вимірювання повинні проводитися при максимально використовуваній у технологічних процесах потужності установки.
1.16 Вимірювання напруженності електромагнітних полів повинні проводитися спеціалістами, з котрими проведено навчання і котрих призначенено керівництвом підприємства.
Забезпечення роботи обладнання в режимах, які відповідають максимально використаним у технологічних процесах, покладається на керівників підрозділів.
1.17 Вимірювання напруженості ВЧ полів рекомендується проводити приладами ВЕМП-1 згідно з інструкцією з експлуатації приладу та методикою, наведеною в Санітарних нормах і правилах № 848-70.
Результати вимірювань необхідно заносити в Журнал вимірювань електромагнітних та іонізуючих випромінювань і доводити до відома керівництво, службу охорони праці та профспілки.
На введені в експлуатацію нові установки або ті, які пройшли модернізацію, складається протокол.
1.18 Елементи установок, які є джерелом ВЧ випромінювання, повині бути екрановані.
1.19 Викиди форвакуумних насосів повинні бути виведені за межі виробничого приміщення. На виході в атмосферу повинні бути поставлені фільтри для очистки видалених газів від небезпечних домішок.
1.20 Все електрообладнання повинно бути надійно заземленим.
1.21 Балони з газами необхідно встановлювати в спеціальних шафах для балонів з постійно діючою витяжною вентиляцією, обладнаних пристроями для кріплення балонів, а також приладами для управління та контролю тиску газів. Шафи з балонами повинні бути забезпечені:
триразовим обміном повітря; аварійною витяжною вентиляцією.
Аварійна вентиляція разом із системою основної вентиляції повинна забезпечувати щонайменше восьмиразовий обмін повітря.
1.22 Розміщення балонів під тиском або з вибухонебезпечними газами в середині установок або поряд з ними безпосередньо у виробничих приміщеннях не дозволяється.
1.23 Використовувати балони з газами треба до залишкового тиску не нижчого, ніж 0,5-2 атм., щоб запобігти попаданню повітря та вологи в балон.
1.24 Згідно зі ст.44 Закону за порушення законів та інших правових актів з охорони праці, створення перешкод у діяльності посадових осіб органів держнагляду за охороною праці, а також представників профспілок, їх організацій та об'єднань винні особи притягуються до
дисциплінарної, адміністративної, матеріальної та кримінальної відповідальності.
2 ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПЕРЕД ПОЧАТКОМ РОБОТИ
Перед початком роботи необхідно:
2.1 Перевірити належний стан і надягти необхідні засоби індивідуального захисту.
2.2 Включити загальнообмінну та витяжну вентиляції установок за ЗО хвилин до початку роботи.
2.3 Перевірити справність приладів та обладнання, їх герметичність.
2.4. Зробити зовнішній огляд обладнання та впевнитися у відсутності видимих пошкоджень.
2.5. Перевірити роботу пристроїв блокування та сигналізації на панелях установок.
2.6 Перевірити надійність приєднання балонів з технологічними газами до газової системи установок.
2.6.1 Герметичність приєднання балона до газової системи перевірити шляхом обмилювання різьбових з'єднань балона з редуктором і редуктора з газовою системою 3-5 % розчином мила.
2.6.2 Герметичність газової системи технологічної установки перевірити шляхом опресування інертним газом.
2.7 Необхідно перевірити:
наявність та справність заземлення установки (установок) та надійність його кріплення;
відсутність оголених дротів і відкритих струмовідних частин;
наявність захисних обшивок та екранів установок;
наявність технологічних газів;
наявність засобів пожежогасіння;
склад медичної аптечки та наявність засобів для надання першої (долікарської) допомоги;
роботу установок обезпилення;
терміни атестації вимірювальних приладів;
заміну фільтруючих матеріалів в утримувачах фільтру магістралей робочих газів (із записом у журналі);
роботу вакуумного насоса;
наявність освітлення на робочому місці.
готовність обладнання до роботи, про що зробити відповідний запис у журналі підготовки обладнання;
2.8 Підготувати робоче місце, інструмент, оснащення.
2.9 Протерти перед початком роботи зовнішню поверхню установки бязевою серветкою, змоченою у воді.
2.10 Протерти пристрій перевантаження пластин та блок пилезахисту батистовою серветкою, змоченою в етиловому спирті.
2.11* При двозмінній роботі та безперервному технологічному процесі працююче технологічне обладнання передавати зі зміни в зміну за журналом підготовки обладнання та журналом проведення технологічних процесів із відповідним записом.
2.12 У разі відсутності якогось із засобів індивідуального захисту, виявлення несправностей або інших недоліків на робочому місці, сповістити керівника роботи (відповідального за проведення даної роботи). До роботи стати тільки після усунення всіх несправностей і недоліків.
З ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПІД ЧАС ВИКОНАННЯ РОБОТИ
3.1 Операторами виконуються такі роботи: очищення робочої камери; включення та виключення установок; виставлення тиску робочих газів; включення та відключення вакуумної системи; проведення технологічних процесів
3.2 Налагоджувальники, котрі обслуговують установки плазмо-хімічного витравлювання, виконують такі роботи:
приєднують (від'єднують) балони з газами до газової магістралі установок;
проводять ремонт і налагодження установок у разі виходу їх з ладу; провадять профілактичні роботи; . слідкують за роботою витяжної вентиляції.
3.3 Під час роботи необхідно бути уважним, не відволікатися від роботи та не відвертати увагу інших.
3.4 При очищенні робочої камери реактора необхідно дотримуватися таких вимог:
відключити установку від мережі електроживлення;
відкрити вентиль напуску азоту в реактор та зрівняти тиск у реакторі з атмосферним;
звільнити кришку камери від зажимів та повільно підняти її;
надягти гумові рукавички та захисні окуляри (за необхідності -респіратор або протигаз марки „М");
очистити робочу камеру за допомогою пилососу, використовуючи стиснене повітря для видалення механічних частинок з-під електрода;
очистити верхній і нижній електроди і стінки камери бязевою серветкою, змоченою у теплій воді;
* Зазначені журнали розробляються підприємствами
протерти очищені деталі та гумові ущільнювачі батистовою серветкою, змоченою в етиловому спирті.
3.5 Перед ремонтом або заміною деталі чи вузла газової системи належить продути її азотом протягом ЗО хвилин. При попаданні в газову систему рідини продувку збільшують до 2-х годин.
3.6 Під час проведення ремонтних і профілактичних робіт для захисту очей від попадання бризок рідини необхідно користуватися захисними окулярами. Під час заміни балонів і в разі аварії необхідно користуватися протигазом з коробкою марки „М".
3.7 При заміні балонів необхідно дотримуватись певних вимог.
3.7.1 Перед тим, як приєднати редуктор до вентиля балона, необхідно візуально перевірити справність манометрів, накидної гайки редуктора:
на накидній гайці редуктора не повинно бути тріщин;
різьбова нарізка на накидній гайці та редукторі повинна бути без механічних пошкоджень (не зірвана);
манометр повинен бути з такою шкалою, щоб межа робочого тиску знаходилася в другій третині шкали.
3.7.2 Не допускається застосування манометрів у таких випадках: відсутня пломба або клеймо;
закінчився термін перевірки;
стрілка манометра при відсутності тиску не повертається на нульову відмітку шкали;
не позначено червоною лінією робочий тиск манометра;
розбите скло або інші пошкодження, які впливають на правильність його показань.
3.7.3 Під час напускання газу в камеру редуктора вентиль балона треба відкривати вручну, плавно, щоб різко не зростав тиск у камері редуктора. Якщо вентиль відкривається важко, необхідно користуватися спеціальним ключем (не допускається застосування молотка, зубила, гаєчного ключа).
3.7.4 Після заміни балона з технологічним газом необхідно перевірити методом обмилення герметичність з'єднання балона з газовою системою установки та відрегулювати потрібний тиск за манометром.
3.7.5 При доставці балонів до місця установки застосовувати спеціальні візки, ноші й інші пристрої з приладдям для закріплення балонів, щоб запобігти їх сповзанню та падінню. Горловина балона з вентилем має бути закрита герметично металевим запобіжним ковпаком.
