Микросборки толстопленочные. Типовые технологические процессы очистки керамических кассет и подложек

Таблица 2 - Типовой технологический процесс очистки подложек

ОСТ 92-4674-2000

: Номер операции

Номер перехода

Наименование и содержание операции, перехода

Технологический режим

Оборудование (тип, наиме­нование).

Приспособление инструмент(тип наименование).

Материал (наименование)

4

Поместить кассету с подложками

Кружка фарфо-

в моющий раствор ниже его уров-

ровая

ня. на 5-Ю. мм у>/

• >: ' '' »’ - V "

Перчатки хи-

Объем раствора I л на 20 под-

. .к-

рургические

ложек УУ^;-<У

резиновые

5

Кипятить раствор .

Время ...

Плитка элект-

Часы сигнальные

(16+5) мин

рическая.

механические

<<'< Л У

ГР2.8ІІ.0І7

6

Извлечь кассету с подложками

Перчатки хи-

■у- ^: ■■■ -

из кружки фарфоровой с раство-

рургические

ром . ■■■

резиновые ;

' ■' У

• .

■■■■■ Х+Л .

л.'; '■ ■■■

Номер операции

Номер перехода

Наименование и содержание операции, перехода

Технологический режим

Оборудование (тип, наимено­вание)

Приспособление, инструмент(тип, наименование)

Материал (наименование)

7

8

Промыть кассету с подложками Кратность обмена воды 2-3 обьема/мин

Промыть кассету с подложками Кратность обмена воды 2-3 обьема/мин

Время (6+2) мин Температура во­ды (45+5) °С

Время (3+1) -мин

•

Кружка фарфоро­вая

Часы сигналь-.

ные механичес­кие

ГР2.8ІІ.0І7 Термометр ртут­ный стеклянный

Кружка фарфо­ровая

Часы сигналь­ные механичес­кие

ГР2.8ІІ.0І7

Вода водопро­водная проточ­ная

Вода водопро­водная про­точная

Номер операции

1 Номер перехода

Наименование и содержание операции, перехода

Т ех ноло гич е ский режим

Оборудование (тип, наимено­вание) ...

Приспособление, инструмент(тип, наименование)

Материал (наименование)

■ -< ; ■

Термометр

ртутный стек-

лянный

9

Промыть кассету с подложками ;

Время (2+1) мин

Кружка фарфо-

Вода дистил-

Л

- - •

Переход выполнить дважды в раз-

Температура

ровая

лпрованная

личных емкостях

•? • >"• ' '' " ,'• ••' . ' .• '' • ч

воды (20+5) °С

Часы сигналь­

ные механичес-

- ■'

кие

ГР2.8ІІ.0І7

Термометр <

і

ртутный стек-

лянный

■

10

Извлечь подложки из кассеты и уложить в тару ■

Пинцет .

92.7814-1254

Тара техноло­гическая 1

•_ -г • • ..

ОСТ 92-4674-2000

ли:

Наименование и содержание

Технологический

Оборудование

Приспособление,

Материал

Номе операц

CD О S И О о « РЦ

CD ft

операции, перехода

режим

(тип, наимено­вание)

инструмент(тип, наименование)

(наименование)

II

Произнести сплошной визуальный

Кружка фарфоро-

Вода дистилли-

контроль чистоты поверхности

вая

рованная '

подложи на соответствие п.3.5

1

Пинцет

В случае несоответствия поверх­ности подложки п.3.5 повторить переходы I—II

t

92.7814-1254

12

Сушить подложки на воздухе

Время (35+5) мин

Часы сигнальные

. —

механические

-

Л

ГР2.8ІІ.0І7

010

Термическая обработка

Злектропечь

CK-I0/I6.6-5

I

Включить печь и установить

Температура

режим

(830+20) °С

1

ч

Номер операции

; Номер перехода

■ Наименование и содержание . : операции, перехода

Технологический режим

Оборудование (тип, найме- .

нование)

Приспособление, инструмент(тип, наименование)

• *

Материал (наименование)

4

Уложить кассеты с подложками

Пинцет 92.7814-1254

Пинцет

; ■ 4 •

на конвейерную ленту печи и

92.7814-1254

5

произвести их термическую об­работку

Снять керамические кассеты с

Пинцет

■ : • : ". ■ . г ■ , - ■

6

подложками с конвейерной ленты Произвести сплошной визуальный

92.7814-1254

Микроскоп

./ _Р ■■ ... ■

контроль поверхности подложек на соответствие п.3.3

</■ ч" ^;Ч '-'

МЕС-9 с уве­личением 16^х

*- ■ ■ : ■ ■’ ■ '

В случае несоответствия п.3.3

подложка считается бракованной

' ' О-'¹

■' ' ■ , ' . \ ’ • - .. . z

Наименование

Обозначение

Вода водопроводная проточная

ГОСТ Р 51232

Вода дистиллированная

ГОСТ 6709

Средство моющее "Лотос" .

ГОСТ 25644

Наименование

і Z

Обозначение

Плитка электрическая Шкаф сушильный 2В-І5І Электропечь СК-10/16.6-5

ГОСТ І49І9

ТУ 64-І-І4П

ДЕМ3.0І3.00І

. t

у. Наименование .у-у-Х<-. ХУ

Обозначение ' ХХ

. Карандаш свинцовый ХуХУХ-И;.?

'. Кассета керамическая для подложек

. Кассета УХ/Х' ф у'XуXX

■ Кружка фарфоровая ХХХХххУХХх

■■■.■ Микроскоп стереоскопический МБС-9 х. Перчатки хирургические резиновые . Пинцет 92.7814-1254 ;уХ-ХХХ-ХХл

Тара технологическая Ух-ХХ-Х- Х'У

Ху- Термометр ртутный стеклянный ■ Часы сигнальные механические •

■ ГР2.8ХІ.0І7 <?Х-ХХ ХІ7

И 66X757 ' ' ' ■

ИВ-І345А

2999-4929-01 ;.^ХЙХ^?,

X ГОСТ 9147. ХХ-ХХ

ТУ 3-3.12X0 ;

. . ГОСТ 3 X-; '

ОСТ 92-3890 Х::'ХХХ'Х

'• цеховая ■ -ХХХХХ.

гост 13646 ■ x-хЬх.;<Х_ч

X ТУ 25-07-1268 - <

//Х'ххххх