Ч

Примечание. В случае применения других метрологические характеристики должны быть не хуже указанных в табл. 3.

/—осветитель; 2—нейтральный светофильтр; 3— мира; 4~ первый объекив; 5—второй объектив;

6—ЭОП; 7—микроскоп

Схема установки для измерения электронно-оптического увеличения

ерт. 2

Наименование аппаратуры

Нормативно-техническая харак­теристика

Значение

Осветитель (типа

ОИ-19)

Нейтральные свето­

фильтры

Мира

Потребляемая мощность, Вт

Апертура конденсатора

См. справочное прило­

жение 2

По ГОСТ 15114—78

20

0,67

Объективы (типа

«Гелиос-44—2»)

Фокусное расстояние, мм Пределы фокусировки, мм

Угловое поле зрения

58,6+0,59

0,5— оо 40°28'

Микроскоп (типа

МИР-2)

Пределы измерения, мм Увеличение

0,015—6

19х—33х

Таблица 3


средств измерений их


Подготовка к измерениямЭОП устанавливают в держатель и подключают к ис­точникам питания.Для времяанализирующих ЭОП затворные, компенсирующие и отклоняющие пластины заземляют.
    1. Подают на ЭОП номинальные напряжения, указанные в НТД на ЭОП конкретного типа.

    2. Устанавливают миру в фокальной плоскости первого объектива и освещают ее осветителем, обеспечивая оптимальную для глаза яркость изображения на экране ЭОП с помощью ней­тральных светофильтров.

    3. При помощи второго объектива фокусируют изображе­ния миры на фотокатод ЭОП. При этом изображение миры пере­носится на фотокатод в масштабе 1:1.

    4. На ЭОП устанавливают оптимальное значение подфо- кусирующего напряжения.

  1. Проведение измерений

    1. Микроскопом измеряют изображение базы миры на эк­ране ЭОП. Измерение повторяют 5 раз.

  2. Обработка результатов

    1. Электронно-оптическое увеличение для г-го измерения вычисляют по формуле

(безразмерный), (6)

где bt —значение базы изображения миры при 1-м измерении, мм;

Ьо база миры, мм.

  1. Среднее значение электронно-оптического увеличения определяют по формуле

1 5

г = 4- s Г/ (7)

  1. Среднеквадратическое отклонение результата 5 изме­рений электронно-оптического увеличения определяют по формуле

! / 2 (Г—Tz)2

= у W

    1. Границу погрешности результата (без учета знака) вычисляют по формуле, аналогичной (4), в которой необходимо учесть неисключенную систематическую погрешность определе­ния параметров миры и фокусных расстояний объективов.

  1. Измерение пространственного разреше­ния

    1. Аппаратура

Пространственное разрешение в динамическом режиме изме­ряют в соответствии со схемой, приведенной на черт. 3. Рекомен­дуемая аппаратура, входящая в схему, приведена в табл. 4.

Таблица'

Наименование аппаратуры

Нормативно-техническая харак­теристика

Значение

Лазер

Нейтральные свето­фильтры

Пластина из молоч-

См. справочное приложе­ние 3

См. справочное приложе­ние 2

Толщина пластины, мм

2—3

ного стекла (MG12)

Цветной светофильтр (типа ИКС5, СЗС26, КО15)

Микроскоп (типа

МИР-2)

Осветитель (типа

ОИ-19)

Мира

Коллиматор (из ком-

По ГОСТ 9411—75

ИКС5 (толщиной 2 мм — при работе с излучением на длине волны 1,06 мкм);

СЗС26 (толщиной 2 мм) и КС15 (толщиной 5 мм) —при длине волны 0,69 мкм

См. табл. 3

См. табл. 3

По ГОСТ 15114—78

Диаметр объектива, мм

100

плекта оптической

Фокусное расстояние, мм

1000’

скамьи ОСК-3)

Объектив (типа 0-2)

Предел разрешения объек­тива, с

Фокусное расстояние, мм

1,44

600

Фотоприставка

Разрешающая способность, им-1

По НТД на ЭОП конкретно­го типа

28



Примечания:

  1. При обработке данных, полученных при фотографировании с экрана ЭОП, используют:

  1. микрофотометр (типа ИФО-461): измеряемая относительная плотность D 0—2,5 отн. ед., погрешность измерения оптической плотности ... 0,01 отн. ед.?

  2. сенситометр (типа ФСР-41): цветовая температура Гцв ... (2Э6О±2О) К* константа ступенчатого клина ... (0,15±0,005) отн. ед.;

  3. фотопленку (типа РФ-3) чувствительностью не менее 900 обр. рентген,, коэффициент контрастности у ... не более 1,8.

  1. В случае применения других средств измерений их метрологические ха­рактеристики должны быть не хуже указанных в табл. 4.Подготовка к измерениям

    1. Испытуемый ЭОП устанавливают в измерительную ус­тановку (черт. 3) и подключают к источникам питания.

Схема установки для измерения пространственного

разрешения в динамическом режиме

/—•лазер; 2—пластина из молочного стекла; 3—нейтральный светофильтр; 4—цветной светофильтр; 5—мира; 6—коллиматор;

7—объектив; 8—ЭОП; 9— микроскоп; 10—осветитель



Черт. 3

    1. На ЭОП подают номинальное напряжение, указанное в НТД на ЭОП конкретного типа, освещают миру осветителем и настраивают ЭОП в статическом режиме.

    2. Расстояние от пластины из молочного стекла до миры выбирают не менее 150 мм с таким расчетом, чтобы обеспечить равномерное освещение поля в плоскости миры диаметром 30 мм.

    3. Штриховую миру располагают в фокальной плоскости коллиматора. Подстраивают режим фокусировки и пропускание нейтральных светофильтров ЭОП, добиваясь разрешения в цент­ре экрана ЭОП элемента миры с наибольшей частотой штрихов.

    4. При измерениях в спектральной области с А менее 0,4 мкм требования к мире и оптике указывают в НТД на ЭОП конкретного типа.

  1. Проведение измерений

    1. Включают лазер и фотографируют изображение миры.

    2. Фотографирование производят не менее 5 раз.

При помощи сенситометра (см. примечание 1 б к табл. 4) на свободный участок пленки впечатывают сенситометрический клин. Пленку обрабатывают в режиме согласно рекомендуемому приложению 4.

    1. Для усилителей яркости измерение пространственного разрешения на краю экрана проводят путем смещения изображе­ния миры на край фотокатода, а для времяанализирующих ЭОП — путем отклонения указанного изображения на край экрана по­дачей напряжения на отклоняющие пластины.

  1. Обработка результатов

    1. Для каждой из пленок по впечатанному на нее сенси­тометрическому клину строят характеристическую кривую пленки по ГОСТ 2653—80. По характеристической кривой определяют £>min и Dmax значения оптической плотности (безразмерные), соответствующие границе линейного участка характеристической кривой, а также коэффициент контрастности пленки у (безраз­мерный) .

    2. Используя микрофотометр (см. примечание к табл. 4), фотометрируют изображение ряда квадратов штриховой миры, регистрируемых на экране ЭОП и удовлетворяющих следующим условиям:

  1. максимальная плотность изображения элементов миры не должна превышать £>тах пленки;

  2. минимальная плотность изображения в промежутке между соседними штрихами не должна быть меньше Dmin пленки.

Ширина щели микрофотометра, приведенная к пленке, не должна превышать ширины темного или светлого штриха изобра­жения миры.

  1. Для каждого квадрата миры с числом штрихов М- на 1 мм определяют контраст изображения Мы. по формуле

^П'ах“

JV1Nі ■, ■, (безразмерный) , (9)

^ігах-^min

10 ’ +1

где —плотность изображения темного участка изображения миры;

Д 'mir —плотность изображения светлого участка изображения миры.

  1. Проводят измерения Мы . в 5 точках по полю квад­рата.

  2. Проводят усреднение для каждого из измеренных квадратов миры и находят среднее значение контраста Мы.

  3. Строят график зависимости контраста изображения от частоты штрихов миры, соединяя полученные значения Мы плавной кривой.

  4. Определяют число штрихов Л^' на 1 мм, которые ре­гистрируются на пленке с контрастом 0,05 (черт. 4).

  5. Пространственное разрешение Np в динамическом режиме в плоскости фотокатода вычисляют по формуле

<10)

где fKфокусное расстояние коллиматора, см;

/об — фокусное расстояние объектива, см.

Зависимость коэффициента передачи контраста от числа штрихов

М №контраст; /V—число штрихов на 1 мм квадрата миры

Черт. 4



  1. Пространственное разрешение N3K в динамическом ре­жиме на выходном экране (в центре экрана — Л/Эцкентр ; на краю экрана — Л^р ) рассчитывается по формуле

N = -^~ (И)

'*эк р ' ’

    1. Границу погрешности результата измерения (без уче­та знака) пространственного разрешения вычисляют по формуле, аналогичной (4), в которой необходимо учесть среднеквадратичес­кое отклонение результата измерения контраста изображения (п. 3.4.4.3), а также неисключенные систематические погрешности определения параметров миры, фокусных расстояний, микрофото­метра, сенситометра и микроскопа.

  1. И з м е р ен и е рабочего поля фотокатода

    1. Аппаратура

      1. Измерение рабочего поля фотокатода производят по схеме, приведенной на черт. 2, причем мира в этом случае заме­няется масштабной мерной сеткой (см. справочное приложение 5).

      2. В случае, если максимальный диаметр окружности масштабной мерной сетки меньше рабочего поля фотокатода, вто­рой объектив оптической системы заменяют более длиннофокус­ным объективом, фокусное расстояние которого f'2 определяют по формуле

Л < /;(см), (12)

“max

где d'Kразмер рабочего поля фотокатода, указанный в НТД на ЭОП конкретного типа, мм;

dmax—максимальный диаметр окружности на масштабно: мерной сетке, мм;

f —фокусное расстояние первого объектива оптической сис­темы, см.

  1. Проведение измерений

    1. Проецируют масштабную мерную сетку на фотокатод таким образом, чтобы центр сетки совпадал с центром фотокато­да.

    2. Определяют максимальный диаметр окружности масш­табной мерной сетки, видимый на экране ЭОП.

    3. Определяют размер рабочего поля фотокатода di; по формуле

4 = -г (мм)’ О3)

11

где d3 видимый на экране максимальный диаметр окружности масштабной мерной сетки, мм.

    1. Измерения производят 5 раз.

    2. Границу погрешности результата измерения рабочего поля вычисляют по формуле, аналогичной (4), в котоірой необхо­димо учесть неисключенные систематические погрешности опреде­ления параметров электронно-оптического увеличения, фокусных расстояний, мерной сетки и микроскопа.

  1. И з м ер е ни е рабочего поля экрана

    1. Общие положения

      1. Размер рабочего доля экрана ЭОП — усилителей яр­кости, не имеющих отклоняющих пластин, зависит от рабочего поля фотокатода и может быть определен из результатов измере­ния рабочего поля фотокатода (п. 3.5) по формуле

(К)

    1. Размер рабочего поля времяанализирующих ЭОП опре­деляется максимальной величиной, на которую может быть откло­нено изображение при подаче напряжения на систему отклоняю­щих пластин.

  1. Аппаратура

    1. Рабочее поле экрана времяанализирующих ЭОП изме­ряют по схеме, приведенной на черт. 2, в которой вместо миры используют щель (типа УФ-2): ширина 0,1 мм, высота равна раз­меру рабочего поля фотокатода, которую устанавливают в фо­кальной плоскости первого объектива.

  2. Подготовка к измерениям

    1. Испытуемый ЭОП устанавливают в держатель и под­ключают к источникам питания. Затворные и компенсирующие пластины ЭОП заземляют, а отклоняющие пластины подключают к источнику питания, обеспечивающему подачу на них напряже­ния, достаточного для отклонения изображения на край экрана.

    2. Освещают щель источником света, обеспечивая опти­мальную для глаза яркость изображения на экране ЭОП.

  3. Проведение измерений

    1. Отмечают положение изображения щели на экране ЭОП при отсутствии отклоняющего напряжения.

    2. Включают блок отклоняющих напряжений и, постепен­но увеличивая напряжение, смещают изображение на край экра­на так, чтобы высота щели ничем не ограничивалась.

    3. Измеряют величину Ц, мм, на которую отклонено изоб­ражение щели относительно ее начального положения. Измере­ние повторяют 5 раз.

    4. Изменяют полярность отклоняющего напряжения и измеряют величину /2. мм, на которую отклонено изображение щели — относительно ее начального положения — в другом нап­равлении. Измерение повторяют 5 раз.

  4. Обработка результатов

    1. Для і-го измерения размер рабочего поля экрана опре­деляют по формуле