Цена 15 коп.
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ
ТЕХНИЧЕСКИЕ УСЛОВИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
СПЛАВЫ КРЕМНИЕВЫЕ РЕЗИСТИВНЫЕ
ГОСТТехнические условия
Resistive silicon allons.
Specifications
22025-76*
*
*Взамен
ТОСТ 5.1672—72
ОКП 63 9962
Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР
о
с 01.01.78
до 01.01.88
т 06.03 1976 г. № 1900 срок введения установленПроверен в 1982 г. Постановлением Госстандарта от 27.12.82 № 5109 срок действия продлен
Несоблюдение стандарта преследуется по закону
Настоящий стандарт распространяется на резистивные крем- . ниевые сплавы, предназначенные для изготовления методом вакуумно-термического нанесения термостабильных, тонкопленочных резистивных элементов и различных вспомогательных слоев изделий электронной техники.
МАРКИ
Резистивные кремниевые сплавы выпускают следующих марок: PC-5406, PC-5402, PC-4800, PC-4400, PC-3710, РС-3001, PC-1714, РС-1004.
Химический состав резистивных кремниевых сплавов должен соответствовать указанному в табл. 1.
Издание официальное
Перепечатка воспрещена
* Переиздание август 1983 г. с Изменением № 1, утвержденным в марте 1983 г.
Постановлением № 5110 от 27.12.82 (ИУС № 4—83).
© Издательство стандартов, 198
3Химический состав, % по массе
Основные компоненты
Сплав марки
Хром
Никель
Железо
Вольфрам
Кобальт
РС-5406
PC-5402
PC-4800
PC-4400
47,'0—49,0
РС-:1714
РС-1004
16,5—!18,5
1:3,0—15,0
9,0—42,0
П родолжение
Химический состав, % по массе
Сплав марки
Основные
компо-
ненты
Кремний
т
Примеси, не более
РС-5406
PC-5402
РС-4800
РС-4400
РС-3001
РС-1004
Осталь
ное
То же
б,О2
0,02
0,02
0,003 0,003 0,003 0,003 0,003 0,003 0,005 0,003
0,30
0,30 0,30 0,30 0,30 . 0,30
0,60 0,30
0,06 0,06 0,06 0,06 0,06 0,06
0,06
0,20
0,01
Условное обозначение резистивных кремниевых сплавов при заказе и в технической документации должно состоять из слова сплав, марки (сокращенного обозначения резистивного сплава и четырех цифр: две первые цифры — номинальное содержание одного легирующего компонента, а две последующие — номинальное содержание другого легирующего компонента) номера фракции и обозначения настоящего стандарта.
Пример записи резистивных кремниевых сплавов:
Сплав РС-4800 Фр. 1 ГОСТ 22025—76
1.3. (Измененная редакция, Изм. № 1).
ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ к
Резистивные кремниевые 'сплавы должны изготовляться в соответствии с требованиями настоящего стандарта по технической документации, утвержденной в установленном порядке.
Резистивные кремниевые сплавы выпускают в виде порош-, ков темно-серого или бурого цвета с размерами частиц:
не более 0,040 мм — для фракции 1;
от 0,040 до 0,071 мм — для фракции 2; і
от 0,094 до 0,140 мм (только для марки РС-3710)—для фракции 3.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Количество порошка резистивных кремниевых сплавов (гранулометрический состав) с размерами частиц, выходящими за пределы, указанные в п. 2.2, не должно превышать 5% от массы навески, взятой от средней пробы.
Порошки резистивных кремниевых сплавов не должны содержать посторонних включений.
Время истечения порошка резистивного кремниевого сплава, заключенного между верхней и нижней отметками воронки (черт. 1), не должно превышать:
60 с — для фракции 1;
35 с — для фракции 2;
30 с — для фракции 3.
Время истечения порошка марки РС-4800 1-й фракции не должно превышать 50 с.
Время истечения порошка сплава марки РС-1714 не устанавливают.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Порошок резистивного кремниевого сплава марки РС-1714 должен смачиваться этиловым ректификованным спиртом по ГОСТ 18300—72, образуя однородную суспензию.
Данные о физических и электрических параметрах резистивных кремниевых сплавов в объемном состоянии и в виде пленки приведены в справочном приложении 1.
Область применения и методы нанесения резистивных кремниевых сплавов даны в рекомендуемом приложении 2.
3. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ (
Резистивные кремниевые сплавы предъявляют к- приемке партиями. В партию входит сплав одной марки, полученный от одного или нескольких технологических циклов при одном технологическом режиме.
Масса партии не должна превышать 10 кг.
4. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ
кремниевых сплавов
R15H
Черт. 1
Каждую партию резистивных кремниевых сплавов подвергают приемо-сдаточным испытаниям для проверки соответствия химического состава, сыпучести и смачиваемости требованиям настоящего стандарта.
Содержание кремния определяют только в
случае изменений в технологическом процессе Воронка для определе- их производства. В остальных случаях содер-ния времени истечения жание кремния определяют как разность меж-порошков резистивных
ду 100% химического состава сплава и суммой содержания остальныхопределяёмых компонентов сплава, выраженную в процентах.
Размеры частиц определяют выборочно на одной из пяти партий.
Проверку сплавов на'содержание примесей проводят по требованию предприятия-потребителя.
Все испытания резистивных кремниевых сплавов проводят на средней, пробе от каждой партии.,
При получении неудовлетворительных результатов хотя бы по одному из показателей проводят повторную проверку новой пробы, взятой от той же партии сплава. Результаты повторных испытаний являются окончательными и распространяются на всю партию.
Среднюю пробу отбирают в боксе, исключая загрязнения и потери порошка.
Всю партию порошка высыпают в квадратный противень из нержавеющей стали, который предварительно выстилают полиэтиленовой пленкой по ГОСТ 10354—73, вымытой дистиллированной водой по ГОСТ 6709—72 и протертой этиловым спиртом по ГОСТ 18300—72.
Порошок перемешивают методом «кольцо на конус» стальным хромированным шпателем и распределяют по поверхности противня ровным слоем, после чего делят на 25 равных квадратов и отбирают порошок по всей толщине слоя из 13 квадратов в шахматном порядке примерно одинаковыми порциями.
Масса отобранного порошка должна быть не менее 110 г.
Из отобранного порошка приготовляют следующие пробы: 50 г для проверки гранулометрического состава, 20 г.для определениявремени истечения Порошка, две примерно равные по массе пробы из оставшейся части порошка — одну для химического анализа, другую для хранения в течение гарантийного срока на случай проведения арбитражных испытаний при возникновении разногласий при оценке качества порошка.'
Все пробы засыпают в двойные пакеты из полиэтиленовой пленки, предварительно протертые этиловым спиртом. Последние две пробы заваривают герметичным швом.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Между Пнутренними и наружными пакетами вкладывают этикетку, на которой указывают:
номер цеха-изготовителя;
наименование сплава;
номер партии и пробы;
размер частиц порошка;
массу пробы;
дату отбора пробы (месяц, год). *
Определение гранулометрического состава Испытания проводят на контрольных ситах с металлическими проволочными сетками из: нержавеющей стали 0040К для фракции 1, 0040К и 0071К для фракции 2 (по нормативно-технической документации, утвержденной в-установленном порядке) и 009К (по ГОСТ 3584—73) и 014К для фракции 3,. установленных на вибро- встряхиватель (частота вибрации 1500—3000 колебаний в минуту, амплитуда вибрации 0,1—0,2 см).
Навеску порошка массой (50±0,1) г просеивают в течение 20 мин через сито с сеткой 0040К для сплавов 1-й фракции или через набор сит с сетками 0040К и 0071 К, 009К и 014К для сплавов фракции 2 и 3 соответственно.
Количество порошка, оставшегося на сите с сеткой 0040К для сплава фракции 1, или суммарное количество порошка, оставшегося на сите с сеткой 0071К и прошедшего через сито с'сеткой 0040К для сплавов фракции 2, и оставшегося на сите с сеткой 014К и прошедшего через сито с сеткой 009К для сплавов фракции 3, не должно превышать 2,5 г.
Погрешность взвешивания должна быть не более 0,1 г.
(Измененная редакция, Изм. № 1).
Определение содержания . посторонних включений » ..
Содержание посторонних включений кремниевых сплавов проверяют визуально невооруженным глазом, а также при помощи микроскопа МБС-1 при шестнадцатикратном увеличении. -
О п р е д е л ен ие времени истечения порошка
Аппаратура, материалы:
шкаф сушильный вакуумный ВШ-0,035;воронка из молибденового стекла марки С49-2 (см. черт. 1);
штатив лабораторный типа ШЛ;
секундомер СДПпр-1б-2 по ГОСТ 5072—79;
ацетон по ГОСТ 2603—79, ч.;
стакан типа ВН 100 по ГОСТ 10394—72;
ткань^хлопчатобумажная, арт. 325 по ГОСТ 7138—73.
„ (Измененная редакция, Изм. № 1).
Подготовка к испытанию
Воронку и стакан предварительно промывают ацетоном и протирают чистой тканью.
Воронку устанавливают в штативе в вертикальном положении по отвесу, под ней помещают стакан. Расстояние от воронки до стакана не должно превышать 30 мм.
Проведение испытания
Порошок из пакета высыпают в воронку выше верхней отметки и засекают по секундомеру моменты прохождения поверхностью порошка верхней и нижней отметок.. Замеры времени повторяют не менее пяти раз. За результат измерения принимают среднее арифметическое результатов замеров.
Струя высыпающегося порошка должна быть непрерывной. Не допускается постукивать по воронке в момент проведения испытания.
Определение содержания хрома объемным персульфатносеребряным методом в сплавах марок PC-5406, PC-5402, PC-4800, PC-4400, РС-3710 И РС-3001
Сущность метода
Метод основан на окислении хрома надсернокислым аммонием в сернокислой среде до бихромат-иона в присутствии азотнокислого серебра. Бихромат-ион титруют солью Мора с фенилантраниловой кислотой в качестве индикатора.
Относительная погрешность результата измерения должна быть не более 0,5%.
Реактивы, материалы:
чашка ПЛ 118—4 по ГОСТ 6563—75;
крышки типа «часовое стекло» из фторопласта-4 по ГОСТ 10007—80;
аммоний надсернокислый по ГОСТ 20478—75, х. ч.;
вода дистиллированная по ГОСТ 6709—72;
калий двухромовокислый, стандарт—титр, 0,1 н. раствор;
кислота азотная по ГОСТ 4461—77, х. ч.;
кислота серная по ГОСТ 4204—77, х. ч.;
кислота фтористоводородная по ГОСТ 10484—78, х. ч.;
марганец сернокислый по ГОСТ 435—77, ч. д.а., 0,4%-ный раствор ;
натрий углекислый кристаллический по ГОСТ 84—76, х. ч.;натрий хлористый по ГОСТ 4233—77. х. ч., 5%-ный раствор;
серебро азотнокислое по ГОСТ 1277—75, х. ч., 1%-ный раствор;
соль закиси железа и аммония двойная сернокислая (соль Мора) по ГОСТ 4208—72, х. ч., 0,1 н. раствор; готовят следующим образом: 40 г соли Мора растворяют в 200 мл " воды, подкисленной 30 мл серной кислоты, и разбавляют водой до объема 1000 мл. Нормальность этого раствора устанавливают по 0,1 н. раствору двухромовокислого калия в день титрования образца;
кислота N-фенилантраниловая, ч. д. а., 0,2%-ный раствор; готовят следующим образом: 0,2 г N-фенилантраниловой кислоты растворяют при умеренном нагревании в 30—40 мл воды, содержащей 0,6 г углекислого натрия, разбавляют водой до объема 100 мл. Хранят в темной склянке или темном месте.
4.5.2. (Измененная редакция, Изм. № 1).
Проведение испытания
0,1 г анализируемого сплава взвешивают с погрешностью не более 0,0001 г и помещают в платиновую чашку. Добавляют 2 мл дистиллированнрй воды, 5 мл фтористоводородной кислоты, накрывают чашку фторопластовой крышкой и, периодически приподнимая крышку, по каплям добавляют азотную кислоту до растворения сплава.