---

Ы Й

СТАНДАРТ

Цена 3 коп.

СОЮЗА ССР

ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ.
УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ
ИМПЛАНТАЦИИ

ОБЩИЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

ГОСТ 25196-82
(СТ СЭВ 2760-80)

Издание официально

е

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ

Москв

а

Группа Э71

УДК 621.52:621.38,00X5 : 006.354

АРСТВЕННЫЙ

СОЮЗА

ССР

О

ГОСТ 25196-82 (СТ СЭВ 2760—80)

БОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ.
УСТАНОВКИ ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Общие технические требования

Vacuum equipement. Apparatus for ion implantation.

General technical requirement

ОКП 62 7335

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 31 марта 1982 г. № 1383 срок действия установлен

с 01.07 1983 г.

до 01.07 1988 г.

Несоблюдение стандарта преследуется по закону

1. Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации (далее — установки), предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,660 57-10~²⁷ до 217,534 67 -10~²⁷ кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цин­ка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6-10“¹⁵ до 1,6-10"¹³ Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изде­лий микроэлектроники.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2760—80.

2. Технические требования к установкам — по ГОСТ 24686—81.

3. Установки должны обеспечивать один из режимов обра­ботки изделий:

поштучный;

групповой;

комбинированный.

4. Ч

   Издание официальное

   исло пластин, обрабатываемых за один цикл на установке, должно быть кратным 25.

Перепечатка воспрещена

Стр. 2 ГОСТ 25196—82

5. Предельное остаточное давление в установке должно быть не более 1,3-10^-4 Па.

6. Минимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,01; 0,1; 1; 10; 100; 500; 1000 мкА.

7. Максимальный ионный ток следует выбирать из ряда: 0,03; 0,1; 0,5; 1; 2; 5; 10 мА.

8. Неравномерность дозы имплантации следует выбирать из ря­да: 0,5; 1; 2; 4%.

9. Показатели надежности установок следует определять нара­боткой на отказ, средним временем восстановления и средним ресурсом в соответствии с ГОСТ 24786—81.

Наработку на отказ следует выбирать из ряда: 100, 125, 160, 200, 250, 400, 500, 630, 800, 1000 ч.

Среднее время восстановления должно быть не более 4 ч.

Средний ресурс следует выбирать из ряда: 5000, 5600, 6300, 7100, 8000, 9000, 10000 ч.

Редактор Е. И. Глазкова
Технический редактор В. Н. Малькова
Корректор Г. М. Фролова

Сдано в наб. 13.04.82 Подп. к печ. 04.05.82 0,25 п. л. 0,11 уч.-изд. л. Тир. 10000 Цена 3 коп.

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123557, Москва, Новопресненский пер., 3 Тип. «Московский печатник». Москва, Лялин пер., 6. Зак. 517