ГОСТ 25661-83
Безкоштовно, без реєстрації
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
|
УСТАНОВКИ ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ВОДЫ Общие технические требования Installations for final water treatment. |
ГОСТ |
Дата введения 01.01.84
1. Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды (далее - установки), предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции.
Пояснения терминов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в приложении. (Измененная редакция, Изм. № 1).
3. В установку следует подавать предварительно деионизованную воду с параметрами, указанными ниже:
|
удельное сопротивление воды при температуре (20±2) °С, МОм · см, не менее |
1,0 |
|
содержание органических веществ по КМnО4, мг/л, не более |
1,5 |
|
давление воды, МПа |
0,1-0,25 |
4. При подаче предварительно деионизованной воды установка должна обеспечивать производительность не менее 0,5 м3/ч.
Для получения деионизованной воды производительностью свыше 0,5 м3/ч следует устанавливать несколько установок и включать их параллельно.
1 - блок подачи; 2 - расходомер; 3, 5 и 10 - манометры; 4 - блок фильтров; 4.1 и 4.2 - ионообменные фильтры; 4.3 - фильтр предварительной очистки от микрочастиц; 6 и 14 - приборы для измерения удельного сопротивления воды; 7 и 13 - датчики удельного сопротивления воды; 8 - блок ультрафиолетовой стерилизации; 9 - фильтр тонкой очистки от микрочастиц; - потребитель; 12 - блок возврата
Примечание. При отсутствии требований к содержанию в деионизованной воде микроорганизмов и микрочастиц из схемы установки следует исключить поз. 8-10.
5. Установка должна обеспечивать получение деионизованной воды с параметрами, указанными ниже:
|
удельное сопротивление воды при температуре (20±2) °С, МОм · см, не менее |
18 |
|
содержание электролитов, мг/л, не более |
0,02 |
|
содержание органических веществ по КмnO4, мг/л, не более |
1 |
|
число микрочастиц размером более 0,5 мкм в 1 мл, не более |
150 |
|
число микроорганизмов, колоний в 1 мл, не более |
2 |
6. Все детали установки, соприкасающиеся непосредственно с деионизованной водой, должны быть выполнены из материалов, не ухудшающих ее параметров.
7. В ионообменных фильтрах в качестве ионитов следует применять смесь сильноосновных анионитов и сильнокислотных катионитов в соотношении, обеспечивающем получение необходимого удельного сопротивления воды.
10. Качество деионизированной воды по удельному сопротивлению следует контролировать непрерывно.
11. Качество деионизованной воды на содержание микроорганизмов следует контролировать раз в неделю.
12. Регенерацию отработанных ионитов в ионообменных фильтрах следует проводить на отдельном рабочем месте.
13. Отработанный фильтр предварительной очистки от микрочастиц и фильтр тонкой очистки следует заменять при увеличении гидравлического сопротивления и уменьшении производительности фильтров.
Предварительно деионизованная вода - вода, прошедшая очистку методом коагуляции, электродианализа или обратного осмоса с последующей деионизацией методом ионного обмена.
Финишная очистка воды - очистка предварительно деионизованной воды методом ионного обмена с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте потребления.
Органические вещества - вещества, присутствующие в деионизованной воде и окисляющиеся в присутствии перманганата калия КМnО4 в кислой среде.
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 № 1066
2. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3406-83
3. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
4. Ограничение срока действия снято по протоколу № 3-93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 5-6-93)
5. ИЗДАНИЕ с Изменением № 1, утвержденным в июне 1988 г. (ИУС 11-88)
Побачили розбіжність з офіційним текстом?
Збірник із 154 стандартів