Страница 8: ДСТУ ISO/TS 21749:2013. Невизначеність вимірювання в метрологічній практиці. Повторні вимірювання та ієрархічні експерименти (62547)

MS_D(_R)— середній квадрат для складової дня для трирівневого ієрархічного експерименту;

MS_E — середній квадрат для випадкових похибок;

MS_inh— середній квадрат для фактора неоднорідності для об’єктів випробування;

MS_inst— середній квадрат для фактора ЗВТ;

MS_item— середній квадрат, обумовлений об’єктами випробування;

MS_R — середній квадрат для складової циклу;

SS — сума квадратів;

SS_D(R) — сума квадратів для складової дня;

SS_e — сума квадратів для випадкових похибок;

SS_R — сума квадратів для складової циклу;

У — вихідна величина, яку можна повторити;

5 — вплив фактора на рівні 2, наприклад, дня;

є — випадкова похибка;

у ■— вплив фактора на рівні 3, наприклад, циклу;

ц — опорне, середнє або середнє арифметичне значення з великої кількості вимірювань;

V — ступені свободи для невизначеності;

ст² — дисперсія випадкових похибок;

о|) — складова дисперсії для складової дня;

— складова дисперсії для складової циклу.

БІБЛІОГРАФІЯ

1. К. A. Brownlee. Statistical Theory and Methodology in Science and Engineering, John Wiley & Sons, Inc., New York, 1960, p. 236.

2. Carroll Croarkin and Ruth Varner. Measurement Assurance for Dimensional Measurements on Integrated-circuit Photomasks, NBS Technical Note 1164, U.S. Dept. Commerce, 1982, 44 pp.

3. J. R. Ehrstein and M. C. Croarkin. Standard Reference Materials: The Certification of 100 mm Diameter Silicon Resistivity SRMs 2541 through 2547 Using Dual-Configuration Four-Point Probe Mea­surement, NIST Special Publication 260—131, 1998, Revised, 84 pp.

4. Churchill Eisenhart. Realistic Evaluation of the Precision and Accuracy of Instrument Calibration Systems J Research National Bureau of Standards-C. Engineering and Instrumentation, 67C (2), 1962, pp. 161—187. *

5. Gerald J. Hahn and William Q. Meeker. Statistical Intervals: A Guide for Practitioners, John Wiley & Sons, Inc., New York, 1991, p. 61.

6. Harry Ku. Notes on the Use of Propagation of uncertainty Formulas. J Research of National Bureau of Standards-C. Engineering and Instrumentation, 70C (4), 1966, pp. 263—273.

7. Samuel Kotz and Norman L. Johnson. Encyclopedia of Statistical Sciences, Vol. 2, John Wiley & Sons, New York, 1982, p. 29.

8. Mary Gibbons Natrella. Experimental Statistics, NBS Handbook 91, US Dept. Commerce. 1963.

9. Stephen Wolfram. Algebraic software, A System of Doing Mathematics by Computer, 2^nd edition, Addison Wesley Publishing Co., New York, 1993.

10. ASTM Method F84-93, Standard Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafers With an In-line Four-point Probe. Annual Book of ASTM Standards, 10.05, West Conshohocken, PA 19428.

11. Measurement Systems Analysis Reference Manual. Chrysler Corp., Ford Motor Corp., General Motors Corp., 2^nd ed., 1995, 120 pp.

12. Determining and Reporting Measurement Uncertainties, National Conference of Standards Laboratories RP-12, 1994, Suite 305B, 1800 30^th St., Boulder, CO 80301.

13. International vocabulary of basic and general terms in metrology (VIM). BIPM, lEC, IFCC, ISO, IUPAC, IUPAP, OIML, 2^nd ed., 1993, 59 pp.

14. ISO Guide 35 Certification of reference materials — General and statistical principles.

15. ISO/TS 21748 Guidance for the use of repeatability, reproducibility and trueness estimates in measurement uncertainty estimation.

НАЦІОНАЛЬНЕ ПОЯСНЕННЯ

16. К. A. Brownlee. Статистична теорія та методологія в науці й техніці. John Wiley & Sons, Inc., Нью-Йорк, 1960 p., с. 236.

17. Carrol! Croarkin та Ruth Varner. Забезпечення лінійно-кутових вимірювань на фотомасках на інтегральних схемах. Технічна записка Національного бюро стандартів (NBS) 1164, Міністерство торгівлі США.— 1982 с.44.

З J. R. Ehrstein та М. С. Croarkin Стандартні зразки: Сертифікація стандартних зразків кремнію з питомим опором 2541-2547 діаметром 100 мм вимірюванням чотириточковим зондом двоїстої конфігурації, NIST Спеціальне видання 260—131, 1998 р., Виправлене, с. 84.

18. Churchill Eisenhart. Реалістичне оцінювання прецизійності та точності систем калібрування засобів вимірювальної техніки, J Дослідження Національного бюро стандартів — С. Машинобу­дування та вимірювальна апаратура, 67С (2), 1962 р., с. 161—187.

19. Gerald J. Hahn та William Q. Meeker. Статистичні інтервали: Посібник для практиків, John Wiley & Sons, Inc., Нью-Йорк, 1991 p., с. 61.

20. Harry Ku. Зауваження про використання формул розподілу невизначеності. J Дослідження Національного бюро стандартів — С. Машинобудування й вимірювальна апаратура, 70С (4), 1966 р., с. 263—273.

21. Samuel Kotz та Norman L. Johnson. Енциклопедія статистичних наук, Т. 2, John Wiley & Sons, Нью-Йорк, 1982 р., с. 29.

22. Mary Gibbons Natrella. Експериментальна статистика, Посібник NBS 91, Міністерство тор­гівлі США. 1963 р.

23. Stephen Wolfram. Алгебраїчне програмне забезпечення, Система математичних обчислень комп’ютером, 2-е видання, В-во «Addison Wesley Publishing Co.», Нью-Йорк, 1993 p.

24. Метод ASTM F84-93 Стандартний метод випробування для вимірювання питомого опору кремнієвих пластин лінійним чотириточковим зондом. Щорічна книга стандартів ASTM, 10.05, West Conshohocken, PA 19428.

25. Довідковий посібника аналізу систем вимірювання. Chrysler Corp., Ford Motor Corp., Ge­neral Motors Corp., 2-е видання, 1995 p., c. 120.

26. Визначення та вираження невизначеностей вимірювання, Національна конференція ме­трологічних лабораторій RP-12, 1994, Suite 305В, 1800 30^th St., Boulder, CO 80301.

27. Міжнародний словник основних і загальних термінів (VIM). BIPM, ІЕС, IFCC, ISO, IUPAC, IUPAP, OIML, 2-е видання, 1993 p., с. 59.

28. ISO Guide 35 Сертифікація стандартних зразків. Загальні та статистичні принципи.

ISO/TS 21748 Настанова для використання оцінок повторюваності, відтворюваності та правильності під час оцінювання невизначеності вимірювання.ДОДАТОК НА
(довідковий)
ПЕРЕЛІК НАЦІОНАЛЬНИХ СТАНДАРТІВ,
ЗГАРМОНІЗОВАНИХ ІЗ МІЖНАРОДНИМИ НОРМАТИВНИМИ ДОКУМЕНТАМИ,
НА ЯКІ Є ПОСИЛАННЯ В ЦЬОМУ СТАНДАРТІ

1. ДСТУ ISO 3534-1:2008 Статистика. Словник термінів і познаки. Частина 1. Загальні стати­стичні терміни та терміни теорії ймовірностей (ISO 3534-1:2006, IDT)

2. ДСТУ ISO 3534-3:2005 Статистика. Словник термінів і позначення. Частина 3. Планування експерименту (ISO 3534-3:1999, IDT).

З ДСТУ ГОСТ ИСО 5725-1:2005 Точність (правильність і прецизійність) методів та результатів вимірювання. Частина 1. Основні положення та визначення (ГОСТ ИСО 5725-1:2003, IDT)

4. ДСТУ ГОСТ ИСО 5725-2:2005 Точність (правильність і прецизійність) методів та результатів вимірювання. Частина 2. Основний метод визначення повторюваності і відтворюваності стандарт­ного методу вимірювання (ГОСТ ИСО 5725-2:2003, IDT)

5. ДСТУ ГОСТ ИСО 5725-3:2005 Точність (правильність і прецизійність) методів та результатів вимірювання. Частина 3. Проміжні показники прецизійності стандартного методу вимірювання (ГОСТ ИСО 5725-3:2003, IDT)

6. ДСТУ ГОСТ ИСО 5725-4:2005 Точність (правильність і прецизійність) методів та результатів вимірювання. Частина 4. Основні методи визначення правильності стандартного методу вимірю­вання (ГОСТ ИСО 5725-4:2003, IDT)

7. ДСТУ ГОСТ ИСО 5725-5:2005 Точність (правильність і прецизійність) методів та результатів вимірювання. Частина 5. Альтернативні методи визначення прецизійності стандартного методу вимірювання (ГОСТ ИСО 5725-5:2003, IDT)

8. ДСТУ ГОСТ ИСО 5725-6:2005 Точність (правильність і прецизійність) методів та результатів вимірювання. Частина 6. Використання значень точності на практиці (ГОСТ ИСО 5725-6:2003, IDT).

Код УКНД 17.020

Ключові слова: вимірювана величина, засоби вимірювальної техніки, ієрархічні експери­менти, контрольний еталон, невизначеність, оцінювання невизначеності, повторні вимірювання, статистичні методи.Редактор С. Мельниченко
Технічний редактор О. Касіч
Коректор Т. Калита

Верстальник Т. Олексюк

Підписано до друку 30.06.2015. Формат 60 х 84 1/8.

Ум. друк. арк. 4,65. Зам. ///У Ціна договірна.

Виконавець

Державне підприємство «Український науково-дослідний і навчальний центр
проблем стандартизації, сертифікації та якості» (ДП «УкрНДНЦ»)

вул. Святошинська, 2, м. Київ, 03115

Свідоцтво про внесення видавця видавничої продукції до Державного реєстру видавців,
виготівників і розповсюджувачів видавничої продукції від 14.01.2006 серія ДК № 1647

1 е2 , JdfYdf} ₂

^1ZdXJdZJ ^Х-

де S_x — стандартна невизначеність, пов’язана з X;

S_z — стандартна невизначеність, пов’язана з Z;

Sxz —коваріація, пов'язана з Хта Z;

df/dX — частинна похідна функції f відносно X, оціненого за х, z,..., що є найкращими оцінками X, Zтощо.

7.1.5 Елементи коваріації важко оцінити, якщо вимірювання не проводять попарно. Іноді ці елементи опускають із формули. Нижче наведено інформацію щодо того, коли ця практика є при­йнятною.

а) Якщо вимірювання X, Z — незалежні, то відповідний елемент коваріації дорівнює нулю.