Використовується в зрідженому стані. У нормальних умовах -безбарвний газ, що не горить, не вибухає, малотоксичний, без запаху. При температурі вище 400° С розкладається з утворенням високотоксичних сполук.

Балони, наповнені хладоном-23, становлять собою небезпеку як посудини, що працюють під тиском.

ГДК парів в робочій зоні 3000 мг/м3.

Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.3 Кисень (02) (ГОСТ 5583-78 (ИСО 2046-73). Кислород газообразньїй технический и медицинский. Технические условия).

Безбарвний газ без запаху та смаку. Температура кипіння кисню - мінус 182,97° С. Густина газу - 1,43 кг/м .

Кисень не горить, але підтримує горіння. При контакті з маслами та жирами вибухає.

1.12.4 Азот (N2) (ГОСТ 9293-74 (ИСО 2435-73). Азот газообразньїй и жидкий. Технические условия).

Безбарвний газ без запаху та смаку. Температура кипіння азоту - мінус 195,8° С. Густина газу - 1,25 кг/м .

Відносна густина (за повітрям) - 0,97.

Азот не отруйний газ, але наявність його в повітрі понад 84 % спричиняє ядуху.

1.12.5 Спирт етиловий (С2Н5ОН) (ГОСТ 17299-78. Спирт зтиловьій технический. Технические условия).

Прозора безбарвна рідина без нерозчинних домішок, легкозаймиста з характерним запахом. Добре розчинна у воді, бензині та бензолі.

Густина - 0,789 г/см3

Температура плавлення - +114°С

Температура кипіння +78,3° С

Концентраційні межі самозаймання парів суміші з повітрям 3,6-19,0% (за об'ємом).

Температура межі розповсюдження полум'я:

нижня - +11° С

верхня - +41°С

Етиловий спирт відноситься до вибухонебезпечних, легкозаймистих речовин.

ГДК парів у повітрі робочої зони 1000 мг/м3. Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

Етиловий спирт - наркотик, що спричиняє спершу збудження, а потім параліч нервової системи.

1.12.6 Продукти хімічних реакцій:

1.12.6.1 Фтористий водень (НР) - безбарвний газ без запаху при малих концентраціях і з кислим запахом при великих концентраціях, густиною 0,9 г/л, добре розчиняється у воді, не гідролізується, інтенсивно реагує з більшістю елементів та їх окислів, руйнує скло та фарфор, слабо діє на свинець і мідь. Високотоксичний, подразнює верхні дихальні шляхи, слизові оболонки очей і носу, вражає серцево-судинну систему, легені, печінку, руйнує зуби. Ознакою витікання газу є характерний кислий запах у повітрі. В екологічному відношенні дуже небезпечний через високу токсичність.

ГДК у повітрі робочої зони виробничих приміщень 0,1 мг/м3. Клас небезпеки 1 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.2 Кремній чотирифтористий або фторид кремнію (8іР4) -

безбарвний газ з різким ядучим запахом, густиною 4,6 г/л, термічно стійкий. У водних розчинах гідролізується з утворенням фтороводню НР і кремнефтористоводневої кислоти Н28іР6.

За силою кремнефтористоводнева кислота наближається до сірчаної, її солі - кремнефториди або фторосилікати здебільшого розчиняються у воді. Сама кислота та всі фторосилікати отруйні.

Кремній чотирифтористий у вологому повітрі створює густу хмарку, в присутності вологи хімічна активність аналогічна фтористому водню. В екологічному відношенні дуже небезпечний через високу токсичність і створення в атмосфері фтористоводневої кислоти. Ознакою витікання газу є характерний запах і створення білої димної хмарки. Він подразнює

верхні дихальні шляхи, слизові оболонки очей і носа, вражає серцево-судинну систему, легені, печінку, руйнує зуби.

ГДК у повітрі робочої зони 0,1 мг/м3.

Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.3 Фторфосген (карбоніл фтористий) СО¥2 - безбарвний газ з густиною 1,139 г/л, у зрідженому стані розчинний у воді, в етанолі з розкладенням. Токсичний, спричиняє подразнення слизових оболонок очей і носа, верхніх дихальних шляхів і легенів.

ГДК у повітрі робочої зони 0,5 мг/ м . Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.4 Оксид або окис вуглецю (СО) - безбарвний, дуже отруйний газ. Особливо небезпечний тим, що не має запаху, отруєння ним може статися непомітно. Отруйна дія оксиду вуглецю відома під назвою чаду. Він добре горить голубуватим полум'ям з виділенням великої кількості тепла, перетворюючись в СОг- На сонячному світлі або за наявності активованого вугілля (каталізатор) оксид вуглецю безпосередньо сполучається з хлором, утворюючи небезпечний газ - фосген (СОСЬ ).

Оксид вуглецю конденсується в рідину лише при мінус 192°С і твердне при мінус 205° С. У воді він розчиняється мало та не вступає з нею в хімічну взаємодію.

Отруйна дія оксиду вуглецю пояснюється тим, що він легко сполучається з гемоглобіном крові та робить його нездатним переносити кисень від легень до тканин. СО викликає відчуття тяжкості та сильний головний біль, запаморочення, шум у вухах, почервоніння обличчя, лихоманку, відчуття слабкості та страху, нудоту. При тривалій дії -сонливість, заціпеніння, а також уражає центральну нервову систему.

ГДК у повітрі робочої зони 20 мг/м3.

Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.5 Двоокис вуглецю (СО?) - безбарвний газ з кислуватим присмаком і запахом, густиною 2 г/л, хімічно інертний газ, інтенсивно реагує тільки з сильними основами. При високих температурах може відновлюватися до СО деякими металами та вугіллям. Цей газ має наркотичну дію та подразнює шкіру і слизові оболонки. У малих концентраціях збуджує дихальний центр, а в дуже великих - пригнічує, спричиняє центральну судиннозвужуючу та місцеву судиннорозширюючу дію, впливає на обмін речовин.

С02 при концентрації в повітрі від 2,5 % до 5 % спричиняє головний біль, подразнення верхніх дихальних шляхів, а при 7 % концентрації - шум у вухах, серцебиття, пітливість, запаморочення, блювоту, порушення зору, ураження головного та спинного мозку. При концентрації 20 % і більше -

через кілька секунд припиняється дихання. С02 - малотоксичний газ. Ознакою витікання С02 є кислий запах.

ГДК у робочій зоні 9000 мг/м3.

Клас небезпеки 4 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.12.6.6 Діоксид або двоокис азоту (N0^ - бурий отруйний газ з ядучим запахом, густиною 3,3 г/ л, взаємодіє з водою, утворюючи суміші азотної та азотистої кислот. Він легко згущується в червонувату рідину (температура кипіння +21 ° С), яка при охолодженні поступово світлішає, а при температурі мінус 11,2°С - замерзає, утворюючи безбарвну кристалічну масу. При нагріванні газоподібного діоксиду азоту його забарвлення, навпаки, посилюється, а при 140°С - стає майже чорним.

Пари И02 отруйні. Вдихання їх спричиняє сильне подразнення дихальних шляхів, набряк легенів і може призвести до отруєння. Цей газ в екологічному відношенні небезпечний.

ГДК у робочій зоні 2 мг/ м3'.

Клас небезпеки 2 згідно з ГОСТ 12.1.007-76.

1.13 Всі приміщення, де проводяться роботи з отруйними, вибухо- та пожежонебезпечними газовими сумішами, газами і рідинами повинні бути обладнані приладами автоматичного вимірювання концентрації газів і сигналізацією, які сповіщають про порушення припливно-витяжної вентиляційної системи, забезпечені засобами пожежогасіння, а також мати телефоний зв'язок з пожежною охороною та медпунктом.

Витяжні системи місцевих відсосів, які видаляють відпрацьовані технологічні гази, токсичні домішки продуктів згоряння і виключають попадання токсичних газів у робочу зону виробничих приміщень, повинні мати блокування з пусковими пристроями технологічного обладнання (установок) для того, щоб воно не могло працювати при несправній витяжній системі місцевих відсосів.

1.14 Інтенсивність елекромагнітних полів на робочому місці не повинна перевищувати:

для електричної складової в діапазоні частот 100 кГц-30 МГц - 20В/м; для магнітної складової в діапазоні частот 100 кГц-30 МГц - 5 А/м.

1.15 Вимірювання інтенсивності електромагнітних полів на робочих місцях у зоні обслуговування ВЧ установок необхідно проводити:

а) при введенні в експлуатацію нових установок;

б) періодично, не рідше одного разу в 6 місяців, при експлуатуванні;

в) при реконструкції діючих установок, а також після ремонтних робіт;

г) при кожній зміні умов праці під час проведення дослідних робіт.

Вимірювання повинні проводитися при максимально використовуваній у технологічних процесах потужності установки.

1.16 Вимірювання напруженності електромагнітних полів повинні проводитися спеціалістами, з котрими проведено навчання і котрих призначенено керівництвом підприємства.

Забезпечення роботи обладнання в режимах, які відповідають максимально використаним у технологічних процесах, покладається на керівників підрозділів.

1.17 Вимірювання напруженості ВЧ полів рекомендується проводити приладами ВЕМП-1 згідно з інструкцією з експлуатації приладу та методикою, наведеною в Санітарних нормах і правилах № 848-70.

Результати вимірювань необхідно заносити в Журнал вимірювань електромагнітних та іонізуючих випромінювань і доводити до відома керівництво, службу охорони праці та профспілки.

На введені в експлуатацію нові установки або ті, які пройшли модернізацію, складається протокол.

1.18 Елементи установок, які є джерелом ВЧ випромінювання, повині бути екрановані.

1.19 Викиди форвакуумних насосів повинні бути виведені за межі виробничого приміщення. На виході в атмосферу повинні бути поставлені фільтри для очистки видалених газів від небезпечних домішок.

1.20 Все електрообладнання повинно бути надійно заземленим.

1.21 Балони з газами необхідно встановлювати в спеціальних шафах для балонів з постійно діючою витяжною вентиляцією, обладнаних пристроями для кріплення балонів, а також приладами для управління та контролю тиску газів. Шафи з балонами повинні бути забезпечені:

триразовим обміном повітря; аварійною витяжною вентиляцією.

Аварійна вентиляція разом із системою основної вентиляції повинна забезпечувати щонайменше восьмиразовий обмін повітря.

1.22 Розміщення балонів під тиском або з вибухонебезпечними газами в середині установок або поряд з ними безпосередньо у виробничих приміщеннях не дозволяється.

1.23 Використовувати балони з газами треба до залишкового тиску не нижчого, ніж 0,5-2 атм., щоб запобігти попаданню повітря та вологи в балон.

1.24 Згідно зі ст.44 Закону за порушення законів та інших правових актів з охорони праці, створення перешкод у діяльності посадових осіб органів держнагляду за охороною праці, а також представників профспілок, їх організацій та об'єднань винні особи притягуються до

дисциплінарної, адміністративної, матеріальної та кримінальної відповідальності.

2 ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПЕРЕД ПОЧАТКОМ РОБОТИ

Перед початком роботи необхідно:

2.1 Перевірити належний стан і надягти необхідні засоби індивідуального захисту.

2.2 Включити загальнообмінну та витяжну вентиляції установок за ЗО хвилин до початку роботи.

2.3 Перевірити справність приладів та обладнання, їх герметичність.

2.4. Зробити зовнішній огляд обладнання та впевнитися у відсутності видимих пошкоджень.

2.5. Перевірити роботу пристроїв блокування та сигналізації на панелях установок.

2.6 Перевірити надійність приєднання балонів з технологічними газами до газової системи установок.

2.6.1 Герметичність приєднання балона до газової системи перевірити шляхом обмилювання різьбових з'єднань балона з редуктором і редуктора з газовою системою 3-5 % розчином мила.

2.6.2 Герметичність газової системи технологічної установки перевірити шляхом опресування інертним газом.

2.7 Необхідно перевірити:

наявність та справність заземлення установки (установок) та надійність його кріплення;

відсутність оголених дротів і відкритих струмовідних частин;

наявність захисних обшивок та екранів установок;

наявність технологічних газів;

наявність засобів пожежогасіння;

склад медичної аптечки та наявність засобів для надання першої (долікарської) допомоги;

роботу установок обезпилення;

терміни атестації вимірювальних приладів;

заміну фільтруючих матеріалів в утримувачах фільтру магістралей робочих газів (із записом у журналі);

роботу вакуумного насоса;

наявність освітлення на робочому місці.

готовність обладнання до роботи, про що зробити відповідний запис у журналі підготовки обладнання;

2.8 Підготувати робоче місце, інструмент, оснащення.

2.9 Протерти перед початком роботи зовнішню поверхню установки бязевою серветкою, змоченою у воді.

2.10 Протерти пристрій перевантаження пластин та блок пилезахисту батистовою серветкою, змоченою в етиловому спирті.

2.11* При двозмінній роботі та безперервному технологічному процесі працююче технологічне обладнання передавати зі зміни в зміну за журналом підготовки обладнання та журналом проведення технологічних процесів із відповідним записом.

2.12 У разі відсутності якогось із засобів індивідуального захисту, виявлення несправностей або інших недоліків на робочому місці, сповістити керівника роботи (відповідального за проведення даної роботи). До роботи стати тільки після усунення всіх несправностей і недоліків.

З ВИМОГИ БЕЗПЕКИ ПІД ЧАС ВИКОНАННЯ РОБОТИ

3.1 Операторами виконуються такі роботи: очищення робочої камери; включення та виключення установок; виставлення тиску робочих газів; включення та відключення вакуумної системи; проведення технологічних процесів

3.2 Налагоджувальники, котрі обслуговують установки плазмо-хімічного витравлювання, виконують такі роботи:

приєднують (від'єднують) балони з газами до газової магістралі установок;