---

ОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ • -. г .mil..

МИКРОСХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ И ПРЖОРЫ ' ' /

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ^/<л ;'

Типовой технологический процесс Д
входного контроля «

• ‘ '■•■'■ * »••'■ .''' ? *4'' ‘,■* •-.•’■■’*■ -■ ■ ■■ "

t ч _1л -^а • ' ; ' <' ‘ .

Всего страниц 58

I Основание: РГИ№ 148 от 30.05.2003

Разослать: 2614,2750,2251,2271,2925,2850

'■'.'J ^;X:’' '• ■ ’ OCT 92-4488-2000

. • ’ ' ' ■ ' ■■

/•<> ДЧ -• > >. ■■•-- . . ■;■

-".чл«* *А‘н . &:>&. Ik.л- . , • Ч - ••• - чл ' , " ----- ■ * г - , ■ ■

<x^;>‘ • 5?-'- .>-⁴ ■' •• ■т-» v'j . Л' ¹

’ . Ч Ї¹’-f ^А - . -.--.''і..-. '■■' ■ '■ ‘ ^: '

">ч > л

'■ . 7 „Л^:3

^Т? -> ' J-, Предисловие

І РАЗРАБОТАН НаучноніроизБОДственнш объединением

-измерительной Техники

‘ 2 УГВЕРда ЩБС ФГУП ЦНИИМАШ •

З ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Информационным указателем отраслевых

НДС«утвержденных в I квартале 2000 г.

4 ВЗАМЕН ОСТ 92-4488-84 /fiC'7

5 ЗАРЕГИОТИРОВАН в ЦКБС ЭТО ЦНИИМАШ » 18494Содержание.

I Область применения. ... . . ... . • • • .. . .. .. .. . I 2 Нормативные ссылки. . . . . . . . . . . . . . . . . ...I 3 Обозначения и сокращения. . . . . • . . . . . . . . • . . 5 4 Технические требования. . . • . ....... . ... • 6 5 Требования безопасности ...... • • .. . .13

б Типовой технологический процесс ......... . . . .15 Приложение А Ведомость регистрации врем єни вскрытия, бескорпусных ИС и ПП на входном контроле. ... ... ♦ . • ... 46 Приложение В СосШ комплекса эдтчеекЫлдездетв

АСВК МС>И ПП... • . **•»*•»** •: .і • • • « •_ .47

Приложение В КИА и оборудование для автономного режима контроля ИС и ПП ....... . . . . . 48

Приложение Г Приспособления и инструмент.. . . ♦ . . . . .50 Приложение Д Материалы. ... .... .......... 51 Приложение Е Библиография .52

V OCT 92-4488-2000

tz, ' - -z , '^,! ■.??/:<...,:-л,л /■■..;■— .. S_V .; •“

лОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ ■ 4 <.,■ ,-_r.— - г ?<;■■ -,-■ . ,_: ■. . - ■ - ,- _: ■ '

МИКРОСХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ И ПРИБОРЫ ПОЛШОВОдаЖОВЫЕ

Типовой технологический процесс входного контроля

' , Дата введения 01.01.2001 г.

I Область применения

Настоящий стандарт распространяется на интегральные микросхемы полупроводниковые приборы, предназначенные для изделий основного производства и устанавливает типовой технологический процесс входного контроля интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

-2 Нормативные ссылки

і В настоящем стандарте использованы ссылки на следующие стандар-

■; V ты И технические условия:

. ГОСТ 12.0.004-90 ССБТ. Организация обучения работающих безопас­ности труда. Общие положения.

і і

' | ГОСТ 12.I.004-91 ССБТ. Пожарная безопасность. Общие требования.

• ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ. Общие санитарно-гигиенические требования

к воздуху рабочей зоны. .

ГОСТ I2.I.019-79 ССБТ. Электробезопасность. Общие требования и номенклатура видов защиты; ■ . . -

ГОСТ 12.2.032-78 ССБТ. Рабочее место при выполнении работ сидя. Общие эргономические требования. •• • ”

ГОСТ 12.2.033-78 ССБТ. Рабочее место при выполнении работ стоя. Общие эргономические требования. .

ГОСТ 12.2.049-80 .ССБТ. Оборудование производственное. Общие эргономические требования. . - .

ГОСТ 12.2.061-81 ССБТ. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам. ’

ГОСТ 12.3.002-75 ССБТ. Процессы, производственное. Общие

7^ ’ ^; •* • • •

ГОСТ І2.3.0І9-80 ССБТ. Испытания и. измерения электрические.

* Общие требования безопасности. ГОСТ 12.4.009-83 ССБТ. Пожарная техника для защити объектов.

Основные вида. Размещение и обслуживание. -

ГОСТ 12.4.011-89 ' ССБТ. Средства защиты работающих. Общие

7-

ССБТ. Цвета сигнальные и знаки безопасности.

•1алат»^м^Ш.л^снические условия. /

. XWT 1130-88 ооувь Д^иащняял да|К>жная. Общие технические усло^Ы. ' -7/’ •^:7--

ГОСТ 4644-75 Отхода производства текстильные, хлопчатобумажные сортированные. Технические условия. ч

. ГОСТ 8984-75

ГОСТ 10354-82

ГОСТ 18300-87 ническиеусловия.

Пленка полиэтиленовая. Технические условия.

Спирт этиловый ректификованный технический. Тех

■ ч7777'Т>Ш^

. ч7'--- •. ■' ^ч^;7'^л'':

Статистический контроль качества. Метода случай- 7. .7, ' ^-'77^7 ^ч^чтжч

ното отбора выборок

. . ' ■ ГОСТ В 18347-73 Изд(ШИ аЛ<Й»1

обеспечению и контролю качества и правила приемки, . ^;7’ ■ ■^;■ >'■■■4;.. ‘.77-^;-7- •'.'•-•.7ч • ''77»: ^;7 ^?>7

■«

• ⁷ ЧЧ.^. ^:Ч,,

' > . ,„;ч< чч^'Чч.

Общие требования к

ГОСТ В 22468-7? Приборы полупроводниковые. Общие технические Ч ■ ; »’'.М ... ...

условия.

ГОСТ 24297-87

ГОСТ 25706-83 кие требования.

• ГОСТ 28937-91

Входной контроль продукции. Основные положения
Лупы. Типы, основные параметры. Общие техничес-

Ручки автоматические шариковые. Общие технические

требования и методы испытаний.

ГОСТ 29298-92 Ткани хлопчатобумажные и смешанные бытовые. Общиетехнические условия.

ГОСТ РВ 51030-97 - ‘ 1

ГОСТ Р 51232-98 Вода питьевая. Общие требования к организации и методам контроля качества. Л

ОСТ 92-1586-89 Краски маркировочные. Общие требования к выбору, приготовлению и нанесению. -

ОСТ 92-1615-74 Полупроводниковые Приборы и микросхемы. Меры

защиты от статического электричества.

ОСТ 92-3888-85 Ножницы монтажные. Конструкция и размеры.

ОСТ 92-3889-85 Нож монтажный. Конструкция и размеры.

ОСТ 92-3890-85 Пинцеты монтажные. Конструкция и размеры.

ОСТ 92-4662-85 Автоматизированная система контроля элементных средств. Назначение, состав и технические характеристики.

ОСТ 92-4757-87 Автоматизированная система контроля элементных средств. Правила эксплуатации.

ОСТ 92-8605-2000 Помещения производственные для изготовления микроэлектронных изделий и печатных плат. Общие требования.

ОСТ 92-9461-81 Устройства контактные для подключения диодов, транзисторов и микросхем. Типы, конструкция, размеры и технические требования.

ОСТ В 11.0398-87 Микросхемы интегральные. Общие технические условия.

ОСТ В II.073.012-87 Микросхемы интегральные. Специальные общие технические условия.

ОСТ В II.073.041-82 Микросхемы интегральные. Общие технические условия. ¹

ОСТ В 11.073.067-82 Микросхемы интегральные бескорпусные.

Общие технические условия.

ОСТ В II.091.173-77 Изделия электронной техники с индексом ОС.

Общие требования к обеспечению и контролю качества и правила приемки. • • * ■ '•« - ...

.OCT 92-4488-2000

® OCT В ІІ.336.0І8-Й Приборн полупроводниковые бескорпусные.

Л ОСТ 57-1-78 Пента бумажная для печатающих устройств. Техни­ческие условия.

РД 92-0249-89 Методические указания. Порядок проведения работ пометрологическому обеспечению нестаидартизованных средств иэме-

рений. . _Л ‘ ;.

У--. РД 92-0256-89 Методические указания.Организация складского > хозяйства. ^; '

РД 92-0290-90 НормаТивы. Порядок нормирования расхода этило- ' / ■ - /■ • - :^:: вого спирта. / «

, ; / И 50-680-88 .Методические указании. .Автомаявированвае симе- ^г -* • „ . 1 . ' _и ' . М ’ • . >••<••• --■■ ■

І рИш#" ЯЛлЯЇЧгЛФЦЖЧ* •. ЛЛМ*Л4Кл*М^ОЛг*.< ■ _;/V. ...... 1..;^ '' •

ТУ $-3-1210*78 Микроскопы стереоскопические МБС-2, МБС-9. Технические условия.

ТУ 6*15-433-78 Клей силикатный конторский. Технические условия.

ТУ 17*15-07-89 Кисти художественные^ и для клеения. Общие -■’^^теяйиеские..;^^ ■

ТУ 17-626-79 Лента склеивающая ЛТ. Технические условия. . ТУ 25-1801*205-86 Часы электрические первичные. Общие техяи* ' адсяже условия. ■' ’ д-'Л . <.€'■■>

_t ту 38,401-67-108-92 Бензин-растворитель для резиновой промыш­ленности. Технические условия. *

ЦДК 92-004-88 'Методические рекомендации. Система управления качеством труда. Основные положения.Y[у -

- 5 ’ .■■. ¹' ' ■ .■' ..¹ ■ у„_: :" ■ ;>л л , '< y ' ■"

З Обозначения и сокращения К

г . • • <- ... . ; ■ ■ ■ -г ■■ ' ■ ■. • --В-

В настоящем стандарте использованы ел едущие обозначения и сокра­щения:

ИС - интегральные микросхемы

ПП - полупроводниковые приборы

< ОТУ -общие технические условия ‘

ТУ - технические условия ■

РЭС - радиоэлектронные средства

КИА - контрольно-измерительная аппаратура

АСВК - автоматизированная система входного контроля

ДСКЭС - автоматизированная система контроля элементных средств

ДНК - диагностический неразрушающий контроль

ЭВМ - электронно-вычислительная машина

. ЭРЭ - электрорадиоэлементы •

ОТК - отдел технического контроля4 Технические требования

••...*■ • ' » “ «.*.*.-»■. . . «і'

. .. "-Н,- .. ■ 'ГА.. ' .. ■- у. , ■ - '

.. .. . , ; ” ' .. . ' . ' ■: - -.....-і- ■' 'Л'.... ¹ . . - , ' >.■ Z . ' Л.'-'', ■

Контроль качества ИС и ПП в процессе входного контроля должен соответствовать ГОСТ В 18347,.МДК.92-004,ОСТ ВП.091.173.■ У- 4.2 Требования к обращению с ИС и ПП ї І

Форма ведомости приведена в приложении А. .

• повреждение корпуса и выводов ИС и ПП;

• нарушение маркировки и покрытий ИС и ПП;

• попадание на поверхность ИС и ПП пыли,жиров и других загрязне­

ний

4.3 Требования к КИА., технологическому ’оборудованию, инструменту

4.3Л КИА должна соответствовать конструкторско-эксплуатацион­ной документации и обеспечивать измерение электрических параметров, установленных в ТУ на, конкретную серию- и тип ИС и ПП.

4.3.2 КИА и технологическое оборудование должны быть аттестова­ны и паспортизованы в соответствии с РД-92-0249’.. и эксплуатационной документацией на КИА.

4.3.3 Допускается применение КИА разработки главного конструкто­ра РЭА или стандартной КИА,не указанной в ТУ на ИС и ПП,согласованной с разработчиком ТУ на ИС и ПП.если ее схемы измерения не соответству­ют ТУ. ' *■' •'

OCT 92-4468-2000 •

• '■ <■^>! ■ * ? ' ' ■ •' ",

' с ОСТ 92-1615.

Г Требования кАСВК ЙО и ПП ' .

’’ 4.4.1 АСВК ИС и ПП, АСКЭС должна соответствовать РД 50^680, .. ОСТ 92-4757. ./

4.4.2 Состав АСВК ИС и ПП приведен в приложении Б. Состав АСКЭС - по ОСТ 92-4662.

.... 4.4.3 АСВК должна обеспечивать;

■'/ - проведение автоматизированного входного контроля ИС и ПП в

соответствии с ТУ на них;

; - проведение дополнительного диагностического контроля ИС и ПП

^rL? по методикам’ Головной организЩш-разработчііка да;

. - контроль стабильности качества партий ИС, ПП, проверенных ста*

тистическими методами;

- централизованное хранение программ контроля элементов в памяти ЭВМ верхнего уровнями выдачу их по запросу ЭВМ рабочего места.