---

s?

,7

Z^4/ ‘ /ге 6 у

&Є7-£{ - J ; .

. V ‘ ^{4 4} ' ■^h

4 *» X •

л. »

'Ч^;

r Jit

/

J

^отраслевой, стандарт A

її '•■• ‘' ' ‘ < -^{fc if} - ^r »^r і • •t'W. - . . /:

‘ AH ■“ ■ ,

/^,;1Й 4

..A-»! )! ’• .

■ Ґг/ ' ':/’•■■

г - I4>o4v

J.. 4<_f 4 / . ' 4 l4 .ifj "'^; ' ■ if

* •/' ■

V- ■' ^:4>:

■г ■

>

: Л

■

I, -tlr-

' r _t. -^..-'

■Mh *. <*4 ■ ,4'

KjJ 11' ■ ■ '■ "■

J .■■'*
■ tr ■■

L

4j'‘<^r

■Л'.,

44

І’

.4

X, МИКРООМ,™ ‘; ТОЖШЇЕЇЇО'ШЬШ ,''¹’ jhfr: ;!./

> ' ' ПРОЦЕСС^ і /і.

Ы:Й ' шопи Шоков

Л■/»<<i«f <• ’> Ъ Л'■ tr'

>^,?І₄ШІ'92~Іі'07т6О' ‘ Л

-!«»?•' •.•' ■. і г -г Л

7

’U’

v-f,

L /4

■I'

> A

,t ■•’' г

4*.

f ^llr

iH*

<i

Ьі

*.'• ■< : -Г. .V

*■*. її K-t/M'

/С⁽

I^і

* $'.

I'/' 'Л і ' 'J »?.,

'і

st 4 /.'У

1

?!>

.f -’<^!

■ It:

Гу^fж⁴.- .У.’?. HЛйг-^Х;'^:'' -
f А -і ’ v^rW^r

.вЙЙЦКаяы/Л'

' A Ы : A?/■(.■, ■ U !■ ,пЛіі . .і; ■ .-I

'SsP^e

і . .

■■ і. ,

•і?

..V

rf

lift'

rMj

і

■*6

•л

-l. ЬллМй?/• ■ о^Ье*х>й»ЛвП тАжЛЇі^ІлімЯЯ. і

•V'

_ fi І* . »І‘‘| ,f і if

■А /И

j»j _f j. ’ .

M'^r л .^rJ

£WWt

игр.мНІ_>й»_>І^^ш.*ч^йніі»и»»"«4«

'V "⁽Ї1/_Ґ ■■
r">f‘ ’I

¹■ ;■. 'L.u
,.r^r-/

‘.'І

'Г

'I^і

Лі

і'ї '

■M*

«ПЛИНИИ*»йц<Н***|Є*і*і

■ '

УДК, б^/. 382- 002

*-. 'I г

'І

^+*»-T»^-^**^**^b****ⁱ^

^1,1t > >¹' ' ■'■’ ’'fl ? *■ ’ i|- r ■■ !=^l*" : {<¹■ ^:-^l-P

W’i Ж'’ f.<

"./j ■ . ■’

'Ї

.. Л

' .ГОТрАСЛЕЙрй;СТАНДАРТ .

'■Jr

МИКРОСБОРКИ тaffiOTIШOЧHUE•^:•^;’<_^’■₁f^,_|■• ' ?’ OCT/9?-I707”&) .■' ТИПОВЫЕ ТЄХНІМОІИЧЕСКИЕ ПРОЦЕС®‘ ' ’.’і f ¹, ¹.: .

изготовления прецизионных' '•

ФОТОШАБЛОНОВ- ;. . : ‘ ¹_; '' *,,'

і‘ ■ ■ -; , " ■ > .. . ■' ' • , ,1 *

>. 'ГІ'іЬ,-..

'I' ■IHi.-J—..-..^... и;.*'

5-?.

:. !■

•■>

і : <HY *:<'

Взамен. 0CT _t.92_;^697_r75i

^:r

"" * '^Г' ■''' " ^г'^;^"^{>тгтгтттГ} ■ «f---Т-Т’' uj гад ил,. j Письмом, Министерства ^,r- ^; v/:’;', ¹ ■

от ІЗ января і9?2І-ДИПйІ5 f . срок введения установлен ’’ /. ^: ' с_і_иапя—I9&I: г... J..', .»■>.,

? - ■'

.4 ■ ; , . , г'/^,Ти? -■ ■ • Л

■<• Настоящий стандарт распространяется На прецизиоинне^ фотошаблоны> применяемые дая изготовления тонкопленочных микросборок, выполненных на подложках ИЗ ^ИТАЛЛАа. ванного алюмичм я.

• . -ІІ , ■ ^г * * *

Стандарт устанавливает типовые, 'технологические процессы изготов­

Перепечатка воспрещена ‘ ■ I^і’ .

Издание официальное гр л£в 5575 if-II. 83

ления прецизионный эмульсионных ж металлизированных фотошаблонов. ¹

1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

   1. Общие технические требования - по ОСТ 92-1698-60 .

Ї.З. Материалы, используемые при изготовлении-оригиналов и фото- шаблонов, указанные в настоящем стандарте, должны соответствовать стандартам илй техническим условиям на них. , ", -

„ Эмалевое покрытие На основаниях оригиналов не долдао иметь *
' Пузырьков, царапин и инородных яклхменни» видимых, невооруженным, гла-

^30М<■ ґ Z