минимально допустимая мощность;

максимально допустимое напряжение в рабочем диапазоне; максимально допустимая разность напряжений между двумя соседними дорожками металлизации на кристалле (например для цифровых схем два соседних входа одного вентиля должны иметь высокий и низкий уровни).

Примечание. Условиями максимальной нагрузки являются нулевое значение мощности, максимально допустимое напряжение между соседними дорожками металлизации на кристалле;

  1. напряжение и (или) токи смещения подают на приборы в течение времени, равного заданной длительности испытания (в пределах принятых допусков);

  2. напряжение (я) смещения продолжают подавать на при­боры до тех пор, пока они не будут охлаждены до комнатной температуры по окончании периода выдержки, если для данных типов приборов и условий испытаний не установлено, что охлаж­дение приборов при снятии смещения не приводит к значитель­ному изменению их характеристик.

5В—2.3.3. Восстановление.

По окончании периода выдержки до проведения заключитель­ных измерений образцы подвергают восстановлению в течение не менее 2 ч и не более 24 ч при температуре (25±3)°С и нормаль­ном атмосферном давлении.

5В—2.3.4. Заключительные измерения.

Измерения допускается проводить в любое время в течение периода восстановления, но все они должны быть завершены в течение 8 ч после периода восстановления.

5В—2.3.5. Условия испытания.

Условия испытания должны быть следующими:

степень жесткости 1 (предпочтительная):

температура (85+2) °С;

относительная влажность (85±5)%;

степень жесткости 2:

температура (55+2)°С;

относительная влажность 90—98%.

Если не оговорено иное, то продолжительность испытания должна быть (1000+96) ч.

5В—2.4. Сведения, которые должны указываться в соответст­вующей НТД:

  1. подаваемое напряжение, при необходимости (см. п. 5В-—2.3.2);

  2. первоначальные и заключительные измерения и условия окружающей среды, если они отличаются от нормальных атмос­ферных условий (см. пп. 5В—2.3.1 и 5В—2.3,4);

  3. длительность испытания, если она не равна 1000 ч (см. и. 5В—2.3.5);

  4. схема подачи смещения (см. п. 5В—2.3.2).

  1. СОСТАВНОЕ ЦИКЛИЧЕСКОЕ ИСПЫТАНИЕ НА ВОЗДЕЙСТВИЕ
    ТЕМПЕРАТУРЫ И ВЛАЖНОСТИ

Ссылка: СТ МЭК 68-2-38 (ГОСТ 28224).

Это испытание соответствует испытанию Z/AD с учетом сле­дующих требований.

Общее описание испытания.

При необходимости следует обеспечить подачу напряжения смещения на изоляцию и (или) электрической нагрузки на при­боры для определения возможности возникновения электрохими* ческой коррозии.

Описание испытательного оборудования.

Примечание. Для периода выдержки в условиях холода при темпе­ратуре минус (10+2) °С относительную влажность в камере не нормируют. Если испытание проводят в отдельной камере, то перемешивание воздуха не требуется.

Методика испытания.

Предварительная сушка.

В целях гарантии того, что первоначальные измерения прово­дят на сухих образцах, может быть предусмотрена предваритель­ная сушка при температуре 50°С в течение 24 ч.

Предварительные механические испытания.

Проведение предварительных механических испытаний необя­зательно.

Если предусмотрены механические испытания, то следует про­водить испытание выводов на изгиб в соответствии с п. 1.2 гла­вы II настоящего стандарта.

Описание 24-часового цикла.

Допуск на временной интервал должен составлять ±10 мин.

При проведении испытания в одной камере температура долж­на понижаться с плюс (25±2)°С до минус (10±2)°С в течение 1,5 ч и поддерживаться на этом низком уровне в течение не ме­нее 3 ч.

Заключительные измерения.

Если предусмотрены измерения в условиях высокой влажно­сти, то они могут проводиться при температуре (25±2)°С и от­носительной влажности (95±4) % с соблюдением специальных мер предосторожности. Измерения в течение 1—2 ч после извлечения образцов из камеры влажности также проводят только в том случае, если они предусмотрены.

Сведения, которые следует указывать в соответствующей НТД: дополнительные методики предварительной выдержки;

  1. указание о необходимости соблюдения установленных выше требований к проведению измерений в условиях высокой влаж­ности.ГЕРМЕТИЧНОСТЬ

    1. Бомбовый метод

Ссылка: СТ МЭК 68-2-17 (ГОСТ 28210).

Данное испытание соответствует испытанию Q1 с учетом сле­дующих специфических требований:

испытательная жидкость: смесь из 95% метилового спирта и 5% воды с добавлением смачивающего агента;

температура испытательной жидкости: (25±5)°С;

давление: 450 кПа (4,5 бар);

длительность выдержки: 16 ч;

очищающая жидкость: деионизированная вода;

восстановление: от 2 дней до 2 недель.

Примечание. Применять данный метод для полупроводниковых прибо­ров не рекомендуется (см. приложение F СТ МЭК 68-2-17) (ГОСТ 28210, при­ложение F).

  1. Метод с применением проникающего красителя

Ссылка: Исходных документов нет.

  1. Цель

Обнаружение и определение больших течей в корпусах полу­проводниковых приборов.

Это испытание неприменимо для приборов без внутренние полостей.

  1. Общее описание испытания

Прибор опрессовывают раствором красителя, а затем проверя­ют на проникновение красителя в прибор или на его выделение из прибора.

  1. Описание испытательного оборудования

Камера высокого давления должна обеспечивать поддержание

установленного давления в течение заданного времени и должна быть достаточно вместительной для того, чтобы все приборы бы­

л

люоресцент-

и погружены в раствор нефлюоресцентного или ного красителя, к которому добавлен ионизированный смачиваю­щий агент.
  1. Методика испытания

Прибор помещают в сосуд для опрессовки, в котором нахо­дится раствор красителя, и выдерживают под давлением не ме­нее 500 кПа (5 бар) в течение не менее 1 ч.

В конце этого периода давление снимают, прибор промыва­ют растворителем, подходящим для данного типа красителя, и высушивают в течение не менее 1 ч.

  1. Проверка

Прозрачные приборы проверяют визуально на попадание кра­сителя внутрь прибора, а непрозрачные проверяют на выделение красителя из прибора.

Приборы осматривают при 3—10-кратном увеличении с источ­ником видимого или ультрафиолетового света в зависимости от типа раствора красителя.

* 7.2.6. Критерий отказа

Проникновение красителя (для прозрачных приборов) или вы­деление красителя (для непрозрачных приборов).

7.2.7. Сведения, которые следует указывать в

•соответствующей НТД:

  1. раствор красителя;

  2. тип источника света;

  3. давление и время опрессовки, если они отличаются от 500 кПа (5 бар) и 1 ч минимум.

  1. Обнаружение малых течей: метод с применением радио­активного криптона

Ссылка: Исходных документов нет.

  1. Цель

Определение скорости утечки в полупроводниковом приборе •измерением уровня радиации прибора после опрессовки в камере высокого давления с использованием соответствующего радио­активного газа-индикатора.

Этот метод предназначен для приборов, которые заключены в герметичные стеклянные, металлические или керамические кор­пуса (или в корпуса, состоящие из комбинации этих материалов), и пригоден для определения скорости утечки менее 10"5 бар*см3/с.

  1. Общее описание

    1. Приведенные числовые значения применимы для крип­тона-85, используемого в качестве газа-индикатора, и для пре­дельной скорости утечки примерно 5ХЮ"8 бар-см3/с. При исполь­зовании других газов требуются другие числовые значения.

    2. Оборудование

Оборудование для этого испытания состоит из активационной камеры и счетного устройства с достаточной чувствительностью для определения уровня радиации газа-индикатора внутри при­бора.

Оборудование работает на смеси газа-индикатора криптона-85 и сухого азота, имеющего заданную радиоактивность (минимум 100 мк1<и/см3) в нормальных атмосферных условиях.

При калибровке испытательного оборудования для обнаруже­ния течи и работе с ним следует соблюдать выпускаемые изгото­вителем инструкции по использованию подобного оборудования. Результаты испытания в условиях, отличных от предпочтительных, можно сравнить с результатами, полученными в предпочтитель­ных условиях, преобразованием их с помощью соответствующей формулы, приведенной в инструкции.

  1. Параметры активации

Д

следующей формулы

(1>

авление при активации и время опрессовки определяют из* Л» 1 _

ЗбОО^РГ ’

где Qs максимально допустимая скорость утечки для испытуе­мого прибора, бар'См3/с;

J?=1200 единиц (импульсов) в минуту выше нормального фонового уровня после активации, если скорость утечки из прибора точно равна Q5. Это количество единиц яв­ляется критерием отбраковки прибора, причем его от­считывают от уровня наведенной радиоактивности счет­чика плюс уровень наведенной радиоактивности изме­ряемого прибора, если он ранее подвергался испытаниям* на течь с применением радиоактивных методов;

$ — удельная радиоактивность криптона-85, мккюри/см3,, в системе активации;

k общий КПД счета сцинтилляционного кристалла в еди­ницах (импульсах) в минуту на один микрокюри крип- тона-85 во внутренней полости испытуемого прибора. Эта величина зависит от конфигурации испытуемого прибо­ра и размеров сцинтилляционного кристалла. КПД сче­та определяют, как указано в п. 7.3.2.4;

Т — время опрессовки, в течение которого приборы должньг подвергаться активации, ч;

Р— давление при активации;

( 2)

где Ре абсолютное давление при активации в барах;

Pi исходное абсолютное давление во внутренней полости прибора в барах. Давление при активации Ре может быть установлено в соответствующей НТД или, если установлено приемлемое время опрессовки Т, то Ре может быть отрегулировано таким образом, чтобы удовлетворять условиям формулы (1).

Примечание. Формула (1) в своей полной форме содержит в числи­теле выражение P2q(ДР)2, которое является поправочным коэффициентом на- высоту над уровнем моря, где Ро— абсолютное значение, давления на уровне моря в барах, а ДР — разность давлений в барах между действительным дав­лением на испытательной станции и давлением на уровне моря. При данном

испытании этот коэ


рициент не учитывают.



  1. Определение КПД счета k

КПД счета k в формуле (1) определяют следующим образом: а) к образцу испытуемого типа прибора подсоединяют трубку, с помощью которой внутреннюю полость прибора заполняют га­зом-индикатором криптоном-85 с заданной радиоактивностью, за­тем трубку запаивают;

Ь) количество единиц (импульсов) в минуту непосредственно считывают с помощью сцинтилляционного кристалла счетчика, в котором испытывают приборы.

  1. Определение поверхностной сорбции

Прежде чем устанавливать значения параметров герметично •сти приборов, испытываемых на обнаружение течи, для каждого типа испытываемых корпусов проводят испытания покрытий и внешних уплотнений на определение поверхностной сорбции крип­тона-85. Образцы приборов подвергают воздействию заданного давления в течение времени, установленного для приборов раз­личной конструкции, как указано в пп. 7.3.2.2 и 7.3.2.3. Затем каждые 10 мин записывают значение скорости утечки до тех пор, пока она не станет постоянной. Регистрируют общее время выте­кания, которое и является «временем ожидания», указанным в п. 7.3.4.

  1. Меры предосторожности для обслуживаю­щего персонала

Следует придерживаться действующих НТД по работе с ра­диоактивным газом.

  1. Методика испытания

Приборы помещают в активационную камеру. Давление в ка­мере понижают, по крайней мере, до 50 Па (0,5 мбар). Значения давления и времени опрессовки устанавливают в соответствии с п. 7.3.2.3.

Приборы подвергают воздействию смеси криптона-85 и сухого азота при абсолютном давлении не менее 2 бар в течение не ме­нее 12 мин. Смесь криптона-85 и сухого азота удаляют до тех пор, пока в активационной камере не установится давление ме­нее 0,5 мбар. Откачка должна быть выполнена в течение времени, не превышающего 5 мин.

Затем активационную камеру вновь наполняют воздухом (воз­душное промывание); приборы извлекают из активационной ка­меры и испытывают на обнаружение течи в течение 2 ч после воз­действия газа.

Время ожидания, указанное в п. 7.3.2.5, контролируют, при этом время с момента извлечения приборов из активационной ка­меры до начала испытания не должно ни в коем случае превы­шать 2 ч.

Если на тех же образцах проводят повторное испытание, то, прежде чем эти образцы вновь подвергают воздействию давления, их следует дезактивировать в вакууме в течение 8 ч.

Действительную скорость утечки (Q), бар • см3/с, рассчитыва­ют по формуле

(

(3)

Действительное количество импульсов в минуту)XQ

где Qs и J? — см. п. 7.3.2.3.

    1. Заданные условия Предельные значения скорости утечки

  1. Обнаружение малых течей: метод с применением газа-ин-

икатора и масс-спектрометра

Ссылка: СТ МЭК 68-2-17 (ГОСТ 28210).

Данное испытание соответствует испытанию Qk с учетом сле­дующих специфических требований: