---

и

заряда

N, см³, вы-

_у— среднее значение ЭДС Холла, В.

6,2510*8

ЧИСЛЯЮТ 'ПО

ормуле

где 1« заряд электрона; /= 1,602 • 10~¹⁹ Кл;

ф

холловский

актор, принимаемый равным 1,

(12)

(14)

^Ul_t3( + Л + в) - Д + В) + Д - В) + U1,3( — I, — В} _t

^U

. (15)

2,4( 4- Д + В) ^U2,4( - Д ₊^U2,4{ + Л - В}+^и2,4( - Д - В)

4

; (16)

(18)

(

н “ т.п

19)

(20)

где I?, 1в~ значения электрического тока, вычисленные по формулам (17) и (18), А;

5

где d— толщина образца, см; а—ширина образца, см;

С7_Р ,и_у — значения напряжений, вычисленные лам (13), 16), В;

В— значение индукции магнитного поля в нита, Т;

по

рорму-

зазоре маг-

—площадь поперечного сечения образца, см²: S = a-d_t

1. расстояние между контактами 1 и 2, 3 и 4, см (черт. 4).

ского сопротивления, характеризующая сходимость результатов измерений, не превышает ±2% с доверительной вероятно­стью 0,95;

величина, вычисленная по формуле (10) или (20).

Значение поправочного коэффициента f в зависимости
от значения коэффициента

1,0

1,5

2,0

2,5

3,0

3,5

4,0

4,5

5,0

5,5

6,0

6,5

7,0

7,5

8,0

8,5

9,0

9,5

10,0

11,0

12,0

13,0

14,0

15,0

16,0

1,000 0,985 0,960 0,932 0,906 0,882 0,860 0,839 0,821 0,804 0,789 0,774

0,761 0,750 0,738 0,727 0,717 0,708 0,699 0,682 0,668 0,655 0,643 0,632 0,622

17,0

18,0

19,0

20,0

22,0

24,0

26,0

28,0

29,0

30,0

32,0

34,0

36,0

38,0

40,0

45.0

50,0

55,0

60,0

65,0

70,0

75,0

80,0

85,0

0,612 0,604 0,596 0,588

0,574 0,562 0,551 0,541

0,536

0,532

0,524

0,516

0,509 0,503 0,496 0,483

0,471

0,461

0,452 0,444 0,436 0,430 0,423

0,418

90,0

95,0

100,0

110,0

120,0

130,0

140,0

150,0

160,0

170,0

180,0

190,0

200,0

250,0

300,0

350,0

400,0

460,0

500,0

600,0

700,0

800,0

900,0

1000,0

0,413 0,408 0,403 0,395 0,388 0,382 0,376 0,371

0,366 0,361 0,357 0,353 0,350 0,335 0,324 0,315 0,307

0,301 0,295 0,286 0,279 0,273 0,268 0,263

Редактор И. В. Виноградская
Технический редактор В. И. Тушева
Корректор В. И. Варенцова

П

Сдано в наб. 11.11.83. 0,58 уч.-изд. д„

0,75 усл. кр.-отт.

Цена 3 коп.

одп. в печ. 21.02.84. 0,75 усл. п. л.

Тир. 8000

Ордена «Знак Почетз» Издательство стандартов, 123840, Москва, ГСП, Новопресненский пер,, 3
Тип. «Московский печатник». Москва, Лялин пер., 6. Зак. 139

5Изменение № 1 ГОСТ 25948—83 Арсенид и фосфид галлия монокристалличес­кие. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла

Утверждено и введено в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 22.03,89 № 606

Дата введения 01.01.90

Вводная часть, пункт 1.3. Заменить слова, «тип проводимости» на «тип электропроводности».

Пункт 1.4. Чертеж 1 под словами «p-тип» дополнить обозначением: (/?_н>0); «/2-тип» — обозначением: (/?_н <0).

Раздел 2 дополнить пунктами — 2.1.1, 2.1.2: «2.1.1. Измерительная установ­ка должна быть аттестована. Основная относительная погрешность установки при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением р<10⁶ Ом-см не должна превышать при измерении удельного электрического сопротивления ±5 % и коэффициента Холла ±8 %; при контроле образцов с удельным элект­рическим сопротивлением р>10⁶ Ом-см не должна превышать соответственно ±12 % и ±15 %.

2.1.2. Допускается проведение измерений и обработка результатов с исполь­зованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящем стан­дарте, в частности использование установок типа «Холл-100», «Холл-200» при условии соблюдения требований п. 2.1.1».

Пункт 2.2.1. Таблицу 1 изложить в новой редакции:

Таблица 1

Наименование
материала

Подвижность основ­ных носителей заря- „I - 1 да р, см² - В -с ) не более

Магнитная индукция в зазоре магнита В, Тл, не более

Допустимая неодно-
родность магнитно-
го поля в области
измерения, %,
не более

Арсенид галлия п-и p-типа электропро­водности

3-Ю³

7-Ю³

1-Ю⁴

1,0

0.7

0,5

Ф

2-Ю²

осфид галлия и- и p-типа электропро­водности

Примечание. Измерение коэффициента Холла в арсениде галлия р-типа электропроводности с концентрацией основных носителей заряда более 1-Ю¹⁹ см~^а выполняют при значении В не менее 0,7 Тл.

Пункт 2.2.2 дополнить словами: «Погрешность регистрации электрического тока не должна превышать 1 % при измерении материала с удельным электри­ческим сопротивлением р<10⁶ Ом-см и 3 % при измерении полуизолирующего -материала с удельным электрическим сопротивлением р>10⁶ Ом-см»;

таблицу 2 изложить в новой редакции:

(Продолжение см. с. 60

)

Удельное элек­трическое сопро­тивление р, Ом-см, не более

Значение
электричес-
кого тока /,
А, не более

Допустимая не-
стабильность
электрического
тока за время
измерения, %,
не более

Входное электричес-
кое сопротивление
измерительного
прибора Я_вх, Ом,
не менее

Чувствительность
измерительного
прибора, В

5-ю-³ 3-1 о-² ыо° 1-Ю¹ 1-Ю² 1-Ю³ 1-Ю⁴ 1-Ю⁵ ЬЮ⁶ 1-Ю⁷ ью⁸ ью⁹

5-Ю-¹

2-ю-¹ 1-ю-¹ ью-² ью-³ ью-⁴

bio-⁵ bio-⁶ 5-Ю"⁷ 5-ю-⁸ 5-ю-⁹ 5-ю-¹⁰

±1 ±1 ±1 ±1 s:. 1 ±1 “ 1

±1 ±5 zto

і г^- ±0

±5

10⁴

10⁴

10⁴

10⁵

10⁶

10⁷

10⁸

10⁹

IO¹⁰

IO¹¹

IO¹¹

10¹²

io-⁷ io-⁶ io-^s io-⁵

10-5 IO-⁵' io-³ IO^-4* io-³ io-³ io-³ Ю-³

Пункт 2,2.3 изложить в новой редакции: «2.2.3. Прибор для измерения элек­трического напряжения должен удовлетворять требованиям табл. 2.

Погрешность измерения электрического напряжения не должна превышать 1 % при контроле материала с удельным электрическим сопротивлением р<10⁶ Ом-см и 2,5 %—при контроле полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением р>10⁶ Ом-см».

Пункт 2.2.4 после слов «должно обеспечивать» дополнить словами: «при контроле одного образца».

Пункт 2,3.3 исключить.

Пункт 3.1. Заменить слово: «(черт. 3)» на «в форме квадрата (черт. 3) или произвольной формы».

Раздел 3 дополнить пунктом — 3.1.1: «3.1.1. Допускается проводить измере­ния на образцах в форме параллелепипеда, удовлетворяющих требованиям к образцам крестообразной формы (табл. 3)».

Пункт 3.2 дополнить словами: «(либо в форме параллелепипеда)».

Пункт 3.3. Таблица 3. Графа «Длина образца». Заменить значение: Д>За на >0,3.

дополнить абзацем (после табл. 3): «Для пластин произвольной формы по­перечный размер образца должен быть не менее 0,7 см».

Пункт 4.2 после слов «располагая их на» дополнить словами: «торцовой по­верхности или»;

второй абзац исключить.

Раздел 4 дополнить пунктами — 4.4i, 4.4.1, 4.4.2: «4.4. Перед выполнением измерений электрофизических параметров измеряют геометрические размеры об­разца.

Пункт 5.2.1. Заменить слова: «используя одну из двух пар контактов» на «используя соседнюю по периметру образца пару контактов».

(Продолжение см. с. 61}Р

Пункт 6.L1.

ормулБГ 1—4^і изложить в новой редакции:

_ ^3,4(+/‘) ^з,4(-/)+ ^2,3f+J)

Pi 4

_ ^У4,Н+Л ~ + ^1;2(4-7) “Цг,2(-/>

Р²4

_а ^3,4(+7) ~^3,4(-/)
^У2,3(+Л) ^— ^2,3(—Л)

_ ^U*M+l) ~^и4,1(-Г)

д

(О;

(2);

(.3).;

ОТ,

ополнить абзацем (после первого): «При вычислении значений напряже*

и

НИЙ и _Р1, и_рг

коэффициентов' аь а_г алгебраически учитывают знаки вели-

чин, полученных при измерениях».

Пункт 6.1.6. Заменить обозначение: I на е (3 раза).

П

+^3,4(4-/) ^в^3,4(-?)

р 4

(13)

ункт 6.2.1. Формулу 13 изложить в новой редакции:

дополнить абзацем: «При определении значений U, £/_ргалгебраи­чески учитывают знаки величин, полученных при измерениях».

Пункты 6.3' 6.9 исключить.

Раздел 6 дополнить пунктами — 6.2.5—6.2.ГО: «6.2.5. Значения удельного* электрического сопротивления и концентрации основных носителей заряда в полуизолирующих материалах (р>10⁶ Ом*см) могут быть приведены к темпе­ратуре То по формулам

^р(г_с) -Q(?j • Р(Т);

(

(21>

(22).

^ЛГ(Т_О)

'^N(T)>

Продолжение см. с. 62)

(23)

Q_(n =ехр[£/£

еде

К — постоянная Больцмана; £ = 8,62-10-⁵ эВ К—^!

Т — температура измерения, К;

Е — энергия активации глубокого примесного центра, определяющего полу- -изолирующие свойства материала, эВ.

Для GaAs «-типа электропроводности £==0,8 эВ.

Для GaP<Fe<p-THna электропроводности £ = 0,7 эВ.

рами с указанием порядка величины. Результаты измерений и вычислений округ­ляют в соответствии с правилом: если первая (справа налево) из отбрасывае­мых цифр более или равна 5, то последнюю цифру увеличивают на 1; если ме­

н

суммарнои

ее 5, то оставшиеся цифры не изменяют.

-погрешности измерения удельного электрического сопротивления с доверительной -вероятностью Р=0,95, составляет ±5 °/о Для образцов с удельным электричес­ким сопротивлением р<10⁶ Ом-см; ±12 %для образцов с удельным электри­ческим сопротивлением р>10⁶ Ом-см.