---

Приложение А
(справочное)

Вычисление показателя преломления воздуха

А.1 Исходные данные

При вычислении показателя преломления воздуха п исходными данными являются следующие параметры окружающей среды:

• температура t, °С;

• атмосферное давление р, Па;

• относительная влажность р, %.

Параметры окружающей среды измеряют до начала и после окончания измерений, при этом разность показа­ний должна быть не более:

• температуры окружающей среды ± 1 °С;

• атмосферного давления ± 300 Па;

• относительной влажности воздуха ± 10 %.

А.2 Константы для вычисления показателя преломления воздуха

При вычислениях используют константы, приведенные в таблице А.1.

Таблица А.1 — Константы для вычисления показателя преломления воздуха

А.З Вычисление вспомогательной величины S

В

4-Ю⁵

спомогательную величину S вычисляют по формуле

(А.1)

где — значения длин волн излучения в вакууме гелий-неоновых лазеров по 9.1 и 9.3, нм, соответственно.

А.4 Вычисление вспомогательной величины п_сО

Вспомогательную величину n_s вычисляют по формуле

в

(А.2)

(А.З)

с

n_s = 1 + 10“⁸[^>A+i30-S ⁺ 385-S_>

где А, В, С — константы по А.2;

S — вспомогательная величина, вычисленная по А.З.

А.5 Вычисление вспомогательной величины X

Вспомогательную величину X вычисляют по формуле

1+10“⁸(E-Ff)P
1+Gf

где Е, F, G — константы по А.2;

t —температура окружающей среды, °С; р —атмосферное давление, Па.

А.6 Вычисление вспомогательной величины п₁

Вспомогательную величину л₁ вычисляют по формуле

_n=1+P(n_s-¹)X (А.4)

1. D

где р — атмосферное давление, Па;

n_s— вспомогательная величина, вычисленная по А.4;

X— вспомогательная величина, вычисленная по А.5; D — константа по А.2.

А.7 Вычисление парциального давления паров воды

Парциальное давление паров воды p_w, Па, вычисляют по формуле ^₽w=100^₽swW’ ^(А5)

где р — относительная влажность воздуха, %;

Psw(t) — давление насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды t, вычисленное по А.8 — А. 14, Па.

А.8 Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара

Для вычисления давления насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды t, °С, использу­ют константы, приведенные в таблице А.2.

Таблица А.2 — Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара

А.9 Вычисление вспомогательной величины £1

Вспомогательную величину Q вычисляют по формуле

Q = t + 273,15 +

(А.6)

t + 273,15-К₁₀ ’

где t — температура окружающей среды, °С;

К₉, К₁₀ — константы по А.8.

А.10 Вычисление вспомогательной величины/^

Вспомогательную величину М вычисляют по формуле

М = & + К^ + К₂, (А.7)

где Q — вспомогательная величина, вычисленная по А.9;

К₂— константы по А.8.

А.11 Вычисление вспомогательной величины N

Вспомогательную величину N вычисляют по формуле

N = K₃& + K₄Q + K₅, (А.8)

где К₃, К₄, К₅— константы по А.8;

Q — вспомогательная величина, вычисленная по А.9.

А.12 Вычисление вспомогательной величины R

Вспомогательную величину R вычисляют по формуле

R = K₆Q²+ K₇Q+ К₈, (А.9)

где К₆, К₇, К₈— константы по А.8;

Q — вспомогательная величина, вычисленная по А.9.

А.13 Вычисление вспомогательной величины IV

Вспомогательную величину И/вычисляют по формуле

W = - N + д/л/² -4A4R, (^А-¹⁰)

где N — вспомогательная величина, вычисленная по А.11;

М—вспомогательная величина, вычисленная по А. 10;

R— вспомогательная величина, вычисленная по А.12.

А.14 Вычисление давления насыщенного водяного пара

Д

(А.11)

(А.12)

авление насыщенного водяного пара p_sw(t), Па, вычисляют по формуле

p_sM = 1 о⁶

где R — вспомогательная величина, вычисленная по А.12;

W—вспомогательная величина, вычисленная по А.13.

А.15 Вычисление показателя преломления воздуха

Показатель преломления воздуха п вычисляют по формуле

„ = „ _ -Iп-ю 292,75(3,7345-0,0401S)p_wII I /и I U

1. t + 273,15

где п₁— вспомогательная величина, вычисленная по А.6;

S — вспомогательная величина, вычисленная по А.З;

p_w— парциальное давление паров воды, вычисленное по А.7, Па; t — температура окружающей среды, °С.Библиография

1. РМГ 29—99 Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Основные термины и определения

У

МКС 17.040.01

ДК 531.711.7.089:006.354

Ключевые слова: рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элемен­тов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика поверки

Редактор Т.А. Леонова
Технический редактор Н.С. Гоишанова
Корректор Т.И. Кононенко
Компьютерная верстка В.И. Гоищенко

Сдано в набор 11.05.2010. Подписано в печать 10.06.2010. Формат 60х84¹/в. Бумага офсетная. Гарнитура Ариал.

Печать офсетная. Усл. печ. л. 1,86 Уч.-изд. л. 1,50. Тираж 109 экз. Зак. 477.

ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ», 123995 Москва, Гранатный пер., 4.
www.gostinfo.ru [email protected]

Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ

Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва, Лялин пер., 6