---

2. Методы испытаний

   1. Проверку технических требований к диапозитивам таблиц проводят в нормальных климатических условиях по ГОСТ 20.57.406.

   2. Проверку размеров диапозитивов проводят с помощью микроскопа, обес­печивающего измерение линейных размеров ±1 мкм. Ширину черных и белых линий в клиньях измеряют на крайних цифровых отметках, в группах линий — в среднем сечении группы.

При определении ширины черных и белых линий на каждой отметке измеря­ют черную и белую линии в средней части и по краям сечения клина или груп­пы. Измерение проводят в сечении, перпендикулярном к направлению линий.

лей диапозитивов таблиц измеряют с помощью микрофотометра.

Таблица 0577

Тест-объект Т1—84

Тест-объект Т4—84

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Рекомендуемое

ПРИМЕР ЗАПИСИ В ТЕХНИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ УСЛОВИЙ ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА УТЕЧКИ МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ

При измерении тока утечки между одиночным электродом и группой элект­родов в ТУ, ТИ приводят следующую запись:

«Ток утечки между одиночным электродом и остальными электродами, сое­диненными между собой и с подложкой, измеряют в соответствии с разд. 13 методом ... ¹ при подаче на этот электрод напряжения ... ² В».

При измерении тока утечки между группами электродов или между отдель­ными электродами и группой электродов последовательность и условия испытаний приводят в виде табл. 2„

Таблица 2

Номера выводов прибора, соединенных в группы

при

Наименование

при напряжении
на электроде
или группе
лектродов +7,5 В

при напряжении
на электроде
или группе электро-
дов —7,5 В

напряжении
на электроде
или группе
электродов

П

1. Измерение тока утечки на подложку электродов I уровня поликремния

2. Измерение тока утечки на подложку электродов I и II уровней поликремния

3. Измерение тока утечки между электродами I уров­ня и электродами II и III уровней поликремния

2, 5, 8, 20, 23, 26

2, 5, 8, 12, 13, 15, 20, 23, 26, 30, 31, 33

2, 5, 8, 12, 13, 15

29, 23, 26, 30,

31, 33

18,36

18,36

з, 4, 6, 7

10, 11, 17,

21,22, 24, 25, 27,28, 29

РИЛОЖЕНИЕ 5

Справочное

ПРИМЕР АЛГОРИТМА ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ НАСЫЩЕНИЯ

СВЕТОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Установка значения
параметра облучения

Измерение (напряжения или тока) выход­ного сигнала и крутизны световой характе­ристики

Установка последующих значений парамет­ра облучения, измерение выходного сигна­ла и определение его расчетного значения

О

Больше

пределение разности измеренного значения
выходного сигнала с расчетным значением

Меньше

Аппроксимация световой характеристики

Определение значения напряжения насыщенияПРИЛОЖЕНИЕ 6

Справочное

И

ТЕРМИН, ПРИМЕНЯЕМЫЙ

НАСТОЯЩЕМ СТАНДАРТЕ,

ЕГО ПОЯСНЕНИЕ

Погрешность установления — погрешность, вносимая совокупностью пара­метров, характеризующих метрологическое состояние средств измерений, сохра­няющая постоянство значения в межповерочные интервалы.

ПРИЛОЖЕНИЕ 7

Справочное

РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЙ
ВЫХОДНОГО СИГНАЛА

1. Интервал, в котором с установленной вероятностью Р = 0,95 находится погрешность измерения выходного сигнала (o_v ) в процентах вычисляют по фор­муле

9

где — дисперсия і-й частной погрешности измерений;

i= 1 ... п, — номер источника частной погрешности.

2. Источники частных погрешностей и их характеристики приведены в табл. 3.

Таблица

3

Источники частных
погрешностей

1. Погрешность установ­ления параметров облуче­ния фоточувствительного поля прибора сГ1 при Р=

ния

0,95

2. Погрешность _ t 1 ~

коэффициента

измере- усиле-

ния усилителя сг₂

3. Погрешность из-за не­линейности амплитудной ха­

рактеристики усилителя (Уз

Допуск

20

5

5

Коэффициент,
зависящий
от закона
распредел ен ия
и установлен-
ной
вероятности,

Сроднее
квадратическое
отклонение

10

Дисперсия
°*

100

Продолжение табл. $

Источники частных
погрешностей

Допуск

S, %

Коэффициент
зависящий
от закона
распределения
и установлен-
ной
вероятности,

*1

Таблица 4>

і

1 Погрешность измерения выход­ного сигнала:

при оптическом вводе сигнала с из­мерением осциллографом

то же, с помощью АЦП

ОД О2; Оз; сц; О5 од о₃; 05; о₆;

07

23

22,3

2. Погрешность измерения выход­ного сигнала:

при электрическом вводе сигнала, измеряемого осциллографом

то же, с помощью АЦП

3. Погрешность измерения выход­ного сигнала без учета погрешности установления параметров облучения:

при оптическом вводе сигнала из­

меряемого осциллогра

ом:

то же с помощью АЦП

02; Оз; о₄; оз

0$; 03; оз; 07; Оз

О2*» о₃; о₄

02; Оз*, о₆; о?

10

9,6

5.5

4,5

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством электронной промы­шленности СССР

■ г f

РАЗРАБОТЧИКИ

г

А. Ф. Векслер (руководитель темы); С. Л. Курапеева;

Е. Б. Кирсанова, Т. В. Бондарькова

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Го­сударственного комитета СССР по управлению качеством про­дукции и стандартам от 29.03.91 № 401

Срок первой проверки — 1996 г.

3. ВЗАМЕН ОСТ 11 0290.0—86; ОСТ 11 0290.1—86; ОСТ 11 0290.2 —87; ОСТ 11 0290.3—87; ОСТ И 0290.4—87; ОСТ 11 0290.5—87; ОСТ 11 0290.6—87; ОСТ 11 0290.7—87

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУ­МЕНТЫ

О

Номер пункта, приложения

бозначение НТД, на который
дана ссылка

ГОСТ 12.0,004—90

ГОСТ 12.1.004—85

ГОСТ 12.1.010—76

ГОСТ 12.1.019—79

ГОСТ 12.1.030—81

ГОСТ 12.2.007.0—75

ГОСТ 12.2.032—78

ГОСТ 12.2.091—83

ГОСТ 12.3.019—80

ТОСТ 20.57.406—81

ТОСТ 14872—82

ГОСТ 20466—75

ГОСТ 25532—82

1.1.1, приложение 3

1.2,2.4, приложение 3 Приложение 3 Всодная часть

Редактор А. И. Ломана
Технический редактор В. И, Прусакова
Корректор Т. А. Васильева

•Сдано в набор 21.05.91 Подп. в печ.. 12.07.91 3,0 усл. печ. л. 3,0 усл, кр.-отт. 2,90 уч.-изд л.
Тир. 30CQ Цена Г^: р¹. ГО к.

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123557, Москва, ГСП,
Новопресненский пер., 3.

Калужская типография стандартов, ул. Московская, 256. Зак. 942* Допускаемое отклонение не нормируется.

2.5. Погрешность измерений линейных размеров рабочей части фоточувстви­тельной поверхности фотоприемника или части диафрагмы, ограничивающих участки его фоточувствительной поверхности, должна быть в пределах ±1 %;

при измерении неравномерности освещенности диафрагма, ограничивающая участок фоточувствительной поверхности фотоприемника, должна иметь диаметр (диагональ), не превышающий 0,1 максимального размера фотометрируемого поля, но не менее 1 мм.

2.6. Погрешность измерителя фототока фотоприемника, обеспечивающего из­мерение постоянного тока в цепи фоточувствительной поверхности фотоприем- ника или его выходной цепи не должна превышать ±10 % для значений токов от 10-⁹ до 10-⁾³ А.

2.7. При установлении рабочих значений параметров облучения фоточувстви- тельного поля прибора с использованием неселективных поглотителей света коэф­фициент пропускания последних должен быть измерен с погрешностью не более ±1'0 % для одиночных поглотителей света и групп таких поглотителей, калибру­емых как одиночный поглотитель.

При использовании диапозитивов испытательных таблиц и тест-объектов ра­бочее значение параметров облучения определяют с учетом коэффициентов про­пускания их белых полей.

1 Указывают конкретный метод измерения 1 или 2.

2 Указывают конкретное значение и знак напряжения на отдельном элект­роде относительно подложки.

Вывод данных