---

ДСТУ Б А.1.1-9-94

ДЕРЖАВНИЙ СТАНДАРТ УКРАЇНИ

-----------------------------

МЕТОД ЕЛЕКТРОННОЇ МІКРОСКОПІЇ

МАТЕРІАЛІВ

Терміни та визначення

Видання офіційне

Держкоммістобудування України

Київ

ДСТУ Б А.1.1-9-94

Передмова

1 РОЗРОБЛЕНО

Українським науково-дослідним і

проектно-конструкторським інститутом

будівельних матеріалів та виробів (НДІБМВ

2 ВНЕСЕНО

Управлінням державних нормативів і стандартів

Мінбудархітектури України

3 ЗАТВЕРДЖЕНО ТА НАДАНО ЧИННОСТІ

Наказом Міністерства України в справах

будівництва і архітектури від 12.04.94 р. N83

4 ВВЕДЕНО ВПЕРШЕ

ДСТУ Б В.1.1-9-94

ЗМІСТ

1 Галузь використання .......................... 1

2 Нормативні посилання ......................... 2

3 Основні положення ............................ 2

4 Загальні поняття ............................. 3

4.1 Основні види електронних мікроскопів ..... 3

4.2 Методи одержання зображення в

електронних мікроскопах .................. 5

4.3 Методи досліджень в просвічувальій

електронній мікроскопії .................. 8

Абетковий покажчик українських термінів ........ 17

Абетковий покажчик німецьких термінів .......... 18

Абетковий покажчик англійських термінів ........ 19

Абетковий покажчик французських термінів ....... 20

Абетковий покажчик російських термінів ......... 21

ДСТУ Б А 1.1-9-94

ДЕРЖАВНИЙ СТАНДАРТ УКРАЇНИ

----------------------------------

МЕТОД ЕЛЕКТРОННОЇ МІКРОСКОПІЇ

МАТЕРІАЛІВ

Терміни та визначення

МЕТОД ЭЛЕКТРОННОЙ МИКОРСКОПИИ

МАТЕРИАЛОВ

Термины и определения

METHOD OF ELECTRONIC MICROSCOPY

MATERIALS

Terms and definitions

------------------------------------------------------------

Чинний від 1994-10-01

1 ГАЛУЗЬ ВИКОРИСТАННЯ

1.1 Цей стандарт установлює терміни та визначення понять, ме-

тодів електронної мікроскопії.

1.2 Терміни, регламентовані в цьому стандарті, придатні

для використання в усіх видах нормативної документації, у довідко-

вій та навчально-методичній літературі а також для робіт з питань

стандартизації або при використанні результатів цих робіт, включа-

ючи програмні засоби для комп'ютерних систем.

1.3 Вимоги стандарту чинні для використання в роботі підпри-

ємств установ, організацій, що діють на території України

--------------------------

Видання офіційне

- 2 -

ДСТУ Б А.1.1-9-94

технічних комітетів з стандартизації, науково-технічних та інженер-

них товариств, міністерств (відомств).

2 НОРМАТИВНІ ПОСИЛАННЯ

У цьому стандарті є посилання на такі документи:

ДСТУ 1.2-93 | Державна система стандартизації України.

| Порядок розроблення державних стандартів.

----------------------------------------------------------

ДСТУ 1.5-93 | Державна система стандартизації України.

| Загальні вимоги до побудови, викладу,

| оформлення та змісту стандартів.

----------------------------------------------------------

КНД 50-011-93| Основні положення та порядок розроблення

| стандартів на терміни та визначення.

----------------------------------------------------------

3 ОСНОВНІ ПОЛОЖЕННЯ

3.1 Для кожного поняття встановлено один стандартизований

термін.

3.2 Подані визначення можна в разі необхідності розвивати

шляхом введення до них похідних ознак, які доповнюють значення

термінів що використовуються. Доповнення не можуть порушувати

обсяги і зміст понять, визначених у стандарті.

3.3 У стандарті, як довідкові, подані німецьки (de), англі-

йські en , французькі (fr) і російські (ru) відповідники стандар-

тизованих термінів а також визначення російською мовою.

3.4 У стандарті наведено абетковий покажчик термінів україн-

ською мовою та абеткові покажчики іншомовних відповідників стан-

дартизованих термінів кожною мовою окремо.

- 3 -

ДСТУ Б А.1.1-9-94

4 ЗАГАЛЬНІ ПОНЯТТЯ

4.1 OCHOBHI ВИДИ ЕЛЕКТРОННИХ МІКРОСКОПІВ

4.1.1 електронний мікроскоп de Elektronenmikroskop

en electron microscope

fr microscope electro-

nique

ru электронный микроскоп

Микроскоп, який формує Микроскоп, формирующий

зображення об'єкта елек- изображение объекта элек-

тронними пучками i за- тронными пучками и сред-

собами електронної оп- ствами электронной опти-

тики ки

4.1.2 просвічувальний елек- de Durchstrahlungselektronen

тронний мікроскоп mikroskop

en transmission electron

microscope

fr microscope [e2]lectro- *

nique par transmission

ru просвечивающий электронный

микроскоп

Електронний мікроскоп, Электронный микроскоп,

який формує зображен- формирующий изображение

ня об'єкта пучками, що обЬекта электронными пуч-

проходять через цей об'- ками, проходящими сквозь

єкт этот обьект

4.1.3 відбивний електронний de Retlexionselektronen

мікроскоп mikroskop

еn reflection electron micros-

cope

fr microscope [e2]lectro- *

nique рar rеflexion

ru отражательный электронный

микроскоп

Електронний мікроскоп, Электронный микроскоп,

який формує зображен- формирующий изображение

ня об'єкта електронни- объекта электронными пуч-

ми пучками відбитими ками, отраженными обьек-

об'єктом том

4.1.4 eмісійний електронний de Emissionselektronen

мікроскоп mikroskop

en emission microscope

fr microscope [a4] [e2]mis- *

sion

ru эмиссионный электронный

микроскоп

Електронний мікроскоп, Электронный микроскоп,

який формує зображення формирующий изображение

за допомогою вторинного оъекта с помощью вторич-

випромінювання, що утвори- ного излучения, образован-

- 4 -

ДСТУ Б А.1.1-9-94

лось при взаємодії пучка ного при взаимодействии

електронів і об єкта пучка электронов и объекта

4.1.5 дзеркальний електрон- de Elektronenspiegelmikroskop

ний мікроскоп en mirror electron microscope

fr microscope [e2]ltetro- *

nique [а4] mirroir *

ru зеркальный электронный

микроскоп

Електронный міксроскоп Электpонный микроскоп,

який формує зображен- формирующий изображение

ня об'єкта за допомогою обьекта электронным зер-

електронного дзеркала калом

4.1.6 автоелектронний de Fel delektronenmikroskop

мікроскоп en field-emission microscope

fr auto-[e2]lectron projec- *

teur

ru автоэлектронный микроскоп

Електронний мікроскоп, Электронный микроскоп,

який формує зображен- формирующий изображение

ня електронним пучком, электронным пучком из-

що випромінює об'єкт, лучаемым объектом, под

під впливом потенціалу воздействием потенциала

електричного поля поля

4.1.7 електронограф de Elektronenbeugungsapparat

еn electron diffractometer

fr diffractom[e2]tre [e2]le- *

ctronique

ru электронограф

Електронний мікроскоп Электронный микроскоп

або прилад y просвічу- или устройство в просвечи-

вальному електронному вающем электронном мик-

мікроскопі для вивчен- роскопе для изучения струк-

ня структури криста- туры кристаллических фаз

лічних фаз методом диф- дифракции электронов

ракції електронів

4.1.8 тіньовий електронний de Schattenmikroskop

мікроскоп еn shadow electron micros-

cope

fr microscope [e2]lectroni- *

que d'ombre

ru теневой электронный мик-

роскоп

Електронний мікроскоп, Электронный микроскоп,

який формує зображен- формирующий изображение

ня об єкта, що обумов- обьекта, обусловленное по-

лене вбиранням i роз- глощением и расссеиванием

сiюванням електронів в электронов в обЬекте при

об'єкті при зондуванні зондировании его электрон-

його електронними пуч- ными пучками

ками

- 5 -

ДСТУ Б А.1.1-9-94

4.1.9 електронний мікроскоп dе H[o1]сhstspannungelektro- *

надвисокої ннпруги nenmikroskop

en ultrahigh voltage electron

microscope

fr miсrоscoре [e2]lectro- *

nique dе tr[e2]s haute *

tension

ru электронный микроскоп

сверхвысокого напряжения

Пpocвiчувальний елек- Просвечивающий электрон-

тронний мікроскоп з ный микроскоп с ускоряю-

прискорювальною на- щим напряжением свыше

пругою понад 25 кВ 25 кВ

4.1.10 високотемпературний de Hochtemperaturelectronen-

електронний мікроскоп mikroskop

en high temperature eleсtrоn

microscope

fr microsсоре [e2]lectroni- *

que de haute temp[e2]ra- *

ture

ru высокотемпературный

электронный микроскоп

Просвічувальний елек- Просвечивающий электронный

тронний мікроскоп з на- микроскоп с нагреванием

гріванням об'єкта понад обьекта свыше 300 оС

300 оС

4.1.11 растровий електронний dе Rasterelektronenmikroskop

мікроскоп en scanning electron micros-

cope

fr microscope [e2]lectro- *

nique [а4] trame *

ru растровый электронный

микроскоп

Електронний мікроскоп, Электронный микроскоп,

який формує зображен- формирующий изображение

ня о6 єкта при скануван- объекта при сканировании

нi його поверхнi eлек- его поверхности электрон-

тронним зондом ным зондом

4.2 МЕТОДИ ОДЕРЖАННЯ ЗОБРАЖЕННЯ

В ЕЛЕКТРОННИХ МІКРОСКОПАХ

4.2.1 світлофонове зобра- de Hellichtbild

ження еn bright-tield image

fr inage de camp claire

ru светлопольное изображе-

ние

Зображення, сформова- Изображение, сформиро-

не у просвiчувальному ванное в просвечивающем

мікроскопі електронни- микроскопе электронными

ми пучками, які містять пучками, содержащими не-

- 6 -

ДСТУ Б А.1.1-9-94

нepoзcіяні в об єкті елек- рассеянные в обЬекте элек-

трони i електрони, роз- троны и энектроны, рас-

сіяні в межах апертурно- сеянные в пределах апер-

го кута об'єктивної турного угла объективной

лінзи линзы

4.2.2 темнофонове зобра- de Dunkellichtbild

ження en dark-field image

fr image de champ sombre

ru темнопольное изображе-

ние

Зображення, сформова- Изображение, сформиро-

не у просвiчувальному ванное в просвечивающем

електронному мiкроско- электронном микроскопе

пі тільки розсіяними в только рассеянными в обЬ-

об'єкті електронними екте электронными пучка-

пучка ми

4.2.3 мiкродифракцiя de Mikrobeugung

en microdefraction

fr microdiffraction

ru микродифракция

Дифракційне зображен- Дифракционное изобра-

ня малої ділянки об'є- жение малого участка

кта, сформоване у задній обьекта, сформированное

фокальній площині в задней фокальной плос-

об'єктивної лінзи збіль- кости обьективной линзы

шене електронними лін- и увеличенное электронными

зами линзами

4.2.4 зображення у вторин- de Sekund[a1]relelectronen- *

них електронах при bild beim lonenbeschuss

іонному бомбардуванні en image in secondary elec-

trons atan ion bombarde-

ment

fr image еn [e2]Iectrons *

secondaires au bombarde-

ment ionique

ru изображение во вторичных

электронах при вторичной

бомбардировке

3ображення, сформова- Изображение, сформиро-

не в емісiйному елек- ванное в эмиссионном элек-

тричному мікроскопі тронном микpоскопе вто-

вторинними електрона- ричными електронами, воз-

ми які виникають при никающими при бомбарди-

бомбардуванні об'єкта ровке обЬекта ионами

іонами

4.2.5 зображення у вторин- de Secund[a1]relelectronen- *

них електронах при bild beim Elektronenbes-

електронному бомбар- chuss

дуванні en image in secondary elec-

trons at an electron bom-

bardement

- 7 -

ДСТУ Б А.1.1-9-94

fr image en [e2]lectrons *

secondaires au bombardement

ru изображение, во вторичных

электронах при электронной

бомбардировке

Зображення, сформова- Изображение, сформиро-

не в емісійному елек- ванное в эмиссионном элек-

тронному мікроскопi тронном микроскопе вто-

вторинними електрона- ричными электронами, воз-

ми які виникають при никающими при бомбарди-

бомбардуванні об'єкта ровке обьекта электрона-

електронами ми

4.2.6 зображення у термое- de Gl[u1]helektronenbild *

лектронах en image in thermoelectrons

fr image en thermo[e2]lect- *

rons

ru изображение в термоэлек-

тронах

Зображення, сформова- Изображение, сформиро-

не в емісiйному елек- ванное в змиссионном элек-

тронному мiкроскопі тронном микроскопе тер-

термоелектронами, що моэлектронами, испускае-